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블록공중합체의 나노패터닝 방법 및 이를 이용한 편광자제조방법
- 기술번호 : KST2015112715
- 담당센터 :
- 전화번호 :
| 요약 | 블록공중합체 나노패터닝방법 및 이를 이용한 편광자 제조방법이 개시된다. 개시된 블록공중합체 나노패터닝방법은 하부기판 위에 블록공중합체를 소정두께로 도포하는 단계, 블록공중합체를 패터닝하여 소정 종횡비를 가지도록 두께구배를 주는 단계 및 두께구배가 형성된 블록공중합체를 열처리하여 자기조립된 블록공중합체를 그 두께구배방향으로 정렬시키는 단계를 포함한다. |
|---|---|
| Int. CL | G03F 7/00 (2006.01) G02B 5/30 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020070065688 (2007.06.29) |
| 출원인 | 삼성디스플레이 주식회사, 한국과학기술원 |
| 등록번호/일자 | 10-1346687-0000 (2013.12.24) |
| 공개번호/일자 | 10-2009-0001371 (2009.01.08) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20140115) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2012.05.31) |
| 심사청구항수 | 32 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 삼성디스플레이 주식회사 | 대한민국 | 경기 용인시 기흥구 |
| 2 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김상욱 | 대한민국 | 대전광역시 서구 |
| 2 | 이수미 | 대한민국 | 경기도 화성시 융건로 **, |
| 3 | 이문규 | 대한민국 | 경기도 수원시 영통구 |
| 4 | 김봉훈 | 대한민국 | 서울특별시 구 |
| 5 | 신동옥 | 대한민국 | 서울특별시 강서구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 리앤목특허법인 | 대한민국 | 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 삼성디스플레이 주식회사 | 경기 용인시 기흥구 | |
| 2 | 한국과학기술원 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 Patent Application |
2007.06.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0479811-56 |
| 2 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination) |
2012.05.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0436151-41 |
| 3 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.06.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5132663-40 |
| 4 | [출원인변경]권리관계변경신고서 [Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status |
2012.09.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0739131-12 |
| 5 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 6 | 등록결정서 Decision to grant |
2013.09.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0656932-78 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.08.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5104722-59 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.01.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5016605-77 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 (a) 하부기판 위에 블록공중합체를 소정두께로 도포하는 단계;(b) 상기 블록공중합체를 패터닝하여 소정 종횡비를 가지도록 두께구배를 주는 단계; 및(c) 두께구배가 형성된 블록공중합체를 열처리하여 자기조립된 블록공중합체를 그 두께구배방향으로 정렬시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 블록공중합체 나노패터닝방법 |
| 2 |
2 제 1항에 있어서,상기 (b)단계는상기 블록공중합체의 상측에 상부기판을 접촉시킨 다음, 상기 상부기판을 소정속도로 이동하였다가 멈춤을 반복하여 상기 블록공중합체에 두께구배를 주는 것을 특징으로 하는 블록공중합체 나노패터닝방법 |
| 3 |
3 제 2항에 있어서,상기 블록공중합체에 두께구배를 형성하는 방향으로 상기 상부기판을 이동시키는 것을 특징으로 하는 블록공중합체 나노패터닝방법 |
| 4 |
4 제 1항에 있어서,상기 (b)단계는상기 블록공중합체에 두께구배의 패턴들이 성형된 모듈을 나노임프린트하여 두께구배를 주는 것을 특징으로 하는 블록공중합체 나노패터닝방법 |
| 5 |
5 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 (b)단계에서, 종횡비는 1:200 ~ 1:1 인 것을 특징으로 하는 블록공중합체 나노패터닝방법 |
| 6 |
6 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 (c)단계에서,열처리는 유리전이온도 이하로 하는 것을 특징을 하는 블록공중합체 나노패터닝방법 |
| 7 |
7 (a) 하부기판위에 희생층을 도포하는 단계;(b) 포토마스크를 이용하여 상기 희생층에 다수의 격벽과 채널을 패터닝하는 단계;(c) 상기 희생층을 식각하여 다수의 격벽과 채널을 형성하는 단계;(d) 상기 다수의 격벽을 감싸도록 소수층을 형성하는 단계;(e) 상기 다수의 채널에 블록공중합체를 채워 넣어 소정 종횡비를 가지도록 두께구배를 주는 단계와;(f) 두께구배가 형성된 블록공중합체를 열처리하여 자기조립된 블록공중합체를 그 두께구배방향으로 정렬시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 블록공중합체 나노패터닝방법 |
| 8 |
8 제 7항에 있어서,상기 (e)단계에서,종횡비는 1:200 ~ 1:1 인 것을 특징으로 하는 블록공중합체 나노패터닝방법 |
| 9 |
9 제 7항에 있어서,상기 (f)단계에서,열처리는 유리전이온도 이하로 하는 것을 특징을 하는 블록공중합체 나노패터닝방법 |
| 10 |
10 (a) 소정금속입자와 결합된 블록을 포함하는 블록공중합체를 기판 위에 도포하는 단계;(b) 상기 블록공중합체를 패터닝하여 소정 종횡비를 가지도록 두께구배를 주는 단계;(c) 두께구배가 형성된 블록공중합체를 열처리하여 자기조립된 블록공중합체를 그 두께구배방향으로 정렬시키는 단계;와(d) 소정금속입자와 결합된 블록을 제외하고 나머지 블록을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 편광자 제조방법 |
| 11 |
11 제 10항에 있어서,상기 (b)단계는상기 블록공중합체의 상측에 상부기판을 접촉시킨 다음, 상기 상부기판을 소정속도로 이동하였다가 멈춤을 반복하여 상기 블록공중합체에 두께구배를 주는 것을 특징으로 하는 편광자 제조방법 |
| 12 |
12 제 10항에 있어서,상기 (b)단계는상기 블록공중합체에 두께구배의 패턴들이 성형된 모듈을 나노임프린트하여 두께구배를 주는 것을 특징으로 하는 편광자 제조방법 |
| 13 |
13 제 10항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 (b)단계에서, 종횡비는 1:200 ~ 1:1 인 것을 특징으로 하는 편광자 제조방법 |
| 14 |
14 제 10항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 (c)단계에서,열처리는 유리전이온도 이하로 하는 것을 특징을 하는 편광자 제조방법 |
| 15 |
15 (a) 적어도 두 개의 블록이 결합된 블록공중합체를 기판 위에 도포하는 단계;(b) 상기 블록공중합체를 패터닝하여 소정 종횡비를 가지도록 두께구배를 주는 단계;(c) 두께구배가 형성된 블록공중합체를 열처리하여 자기조립된 블록공중합체를 그 두께구배 방향으로 정렬시키는 단계;(d) 상기 블록공중합체를 이루는 소정 블록하나를 제거하는 단계;(e) 상기 블록이 제거된 블록공중합체 위 에 금속재료층을 소정두께로 도포하는 단계;(f) 리프트오프공정을 이용하여 상기 금속재료층을 패터닝하는 단계;와(g) 나머지 블록을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 편광자 제조방법 |
| 16 |
16 제 15항에 있어서,상기 (b)단계는상기 블록공중합체의 상측에 상부기판을 접촉시킨 다음, 상기 상부기판을 소정속도로 이동하였다가 멈춤을 반복하여 상기 블록공중합체에 두께구배를 주는 것을 특징으로 하는 편광자 제조방법 |
| 17 |
17 제 15항에 있어서,상기 (b)단계는상기 블록공중합체에 두께구배의 패턴들이 성형된 모듈을 나노임프린트하여 두께구배를 주는 것을 특징으로 하는 편광자 제조방법 |
| 18 |
18 제 15항 내지 제 17항 중 어느 한 항에 있어서,상기 (b)단계에서, 종횡비는 1:200 ~ 1:1 인 것을 특징으로 하는 편광자 제조방법 |
| 19 |
19 제 15항 내지 제 17항 중 어느 한 항에 있어서,상기 (c)단계에서,열처리는 유리전이온도 이하로 하는 것을 특징을 하는 편광자 제조방법 |
| 20 |
20 (a) 적어도 두 개의 블록이 결합된 블록공중합체를 기판 위에 도포하는 단계;(b) 상기 블록공중합체를 패터닝하여 소정 종횡비를 가지도록 두께구배를 주는 단계;(c) 두께구배가 형성된 블록공중합체를 열처리하여 자기조립된 블록공중합체를 그 두께구배 방향으로 정렬시키는 단계;(d) 상기 블록공중합체를 이루는 소정 블록하나를 제거하는 단계;와(e) 상기 블록이 제거된 부분을 전기도금하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 편광자 제조방법 |
| 21 |
21 제 20항에 있어서,상기 (b)단계는상기 블록공중합체의 상측에 상부기판을 접촉시킨 다음, 상기 상부기판을 소정속도로 이동하였다가 멈춤을 반복하여 상기 블록공중합체에 두께구배를 주는 것을 특징으로 하는 편광자 제조방법 |
| 22 |
22 제 20항에 있어서,상기 (b)단계는상기 블록공중합체에 두께구배의 패턴들이 성형된 모듈을 나노임프린트하여 두께구배를 주는 것을 특징으로 하는 편광자 제조방법 |
| 23 |
23 제 20항 내지 제 22항 중 어느 한 항에 있어서,상기 (b)단계에서, 종횡비는 1:200 ~ 1:1 인 것을 특징으로 하는 편광자 제조방법 |
| 24 |
24 제 20항 내지 제 22항 중 어느 한 항에 있어서,상기 (c)단계에서,열처리는 유리전이온도 이하로 하는 것을 특징을 하는 편광자 제조방법 |
| 25 |
25 (a) 기판 위에 블랙매트릭스를 형성하는 단계;(b) 상기 블랙매트릭스를 감싸도록 소수층을 형성하는 단계;(c) 상기 블랙매트릭스에 의하여 구획된 다수의 공간 내에 블록공중합체를 도포하여 소정 종횡비를 가지도록 두께구배를 주는 단계와;(d) 두께구배가 형성된 블록공중합체를 열처리하여 자기조립된 블록공중합체를 그 두께구배방향으로 정렬시키는 단계;(f) 상기 블록공중합체를 구성하는 블록 중 어느 하나를 제거하고 편광자를 형성하는 단계;와(g) 상기 편광자가 형성된 다수의 공간 내에 컬러잉크를 채우는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 제조방법 |
| 26 |
26 제 25항에 있어서,상기 (f)단계는소정금속입자와 결합된 블록을 제외한 나머지 블록을 제거하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 제조방법 |
| 27 |
27 제 25항에 있어서,상기 (f)단계는상기 블록이 제거된 부분에 금속재료층을 채워 넣는 것을 특징으로 하는 컬러필터 제조방법 |
| 28 |
28 제 27항에 있어서,전기도금을 이용하여 상기 금속재료층을 상기 블록이 제거된 부분에 채워 넣는 것을 특징으로 하는 컬러필터 제조방법 |
| 29 |
29 제 25항에 있어서,상기 (b)단계는상기 블록공중합체의 상측에 상부기판을 접촉시킨 다음, 상기 상부기판을 소정속도로 이동하였다가 멈춤을 반복하여 상기 블록공중합체에 두께구배를 주는 것을 특징으로 하는 컬러필터 제조방법 |
| 30 |
30 제 25항에 있어서,상기 (b)단계는상기 블록공중합체에 두께구배의 패턴들이 성형된 모듈을 나노임프린트하여 두께구배를 주는 것을 특징으로 하는 컬러필터 제조방법 |
| 31 |
31 제 25항 내지 제 30항 중 어느 한 항에 있어서,상기 (b)단계에서, 종횡비는 1:200 ~ 1:1 인 것을 특징으로 하는 컬러필터 제조방법 |
| 32 |
32 제 25항 내지 제 30항 중 어느 한 항에 있어서,상기 (c)단계에서,열처리는 유리전이온도 이하로 하는 것을 특징을 하는 컬러필터 제조방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US07842337 | US | 미국 | FAMILY |
| 2 | US20090004375 | US | 미국 | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US2009004375 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 2 | US7842337 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1346687-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20070629 출원 번호 : 1020070065688 공고 연월일 : 20140115 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20130924 청구범위의 항수 : 32 유별 : G03F 7/00 발명의 명칭 : 블록공중합체의 나노패터닝 방법 및 이를 이용한 편광자제조방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
| 1 |
(권리자) 삼성디스플레이 주식회사 경기 용인시 기흥구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 1,293,000 원 | 2013년 12월 26일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 744,000 원 | 2016년 11월 30일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 744,000 원 | 2017년 11월 29일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 744,000 원 | 2018년 11월 26일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 1,316,000 원 | 2019년 12월 02일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 | 2007.06.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0479811-56 |
| 2 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 | 2012.05.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0436151-41 |
| 3 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.06.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5132663-40 |
| 4 | [출원인변경]권리관계변경신고서 | 2012.09.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0739131-12 |
| 5 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 6 | 등록결정서 | 2013.09.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0656932-78 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.08.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5104722-59 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.01.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5016605-77 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1355048408 |
|---|---|
| 세부과제번호 | kaist27 |
| 연구과제명 | 생체모방성유무기나노복합구조제어및응용 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 과학기술부 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2007 |
| 연구기간 | 200701~200712 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1355049831 |
|---|---|
| 세부과제번호 | R01-2005-000-10456-0 |
| 연구과제명 | 블록공중합체-무기물질하이브리드를이용한고효율/고밀도광기능성소자개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2007 |
| 연구기간 | 200504~200802 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
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| [KST2016010002][한국과학기술연구원] | 화학적 기상증착법에 의한 3차원 나노구조체의 제조방법(Method for manufacturing three-dimensional nanostructure by using CVD) | 새창보기 |
| [KST2015067441][LG그룹] | 유기 절연막용 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조된 유기 절연막 | 새창보기 |
| [KST2016009050][광주과학기술원] | 액상마스크층을 이용한 산화아연 나노구조체의 제조방법(METHOD OF FABRICATING ZINC OXIDE NANOSTRUCTURES USING LIQUID MASKING LAYER) | 새창보기 |
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