맞춤기술찾기
이전대상기술
집적형 박막 태양전지 및 그 제조 방법
- 기술번호 : KST2015113063
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 집적형 박막 태양전지 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 집적형 박막 태양전지의 제조방법은 (a)기판 상에 하나의 절연 둑과 이와 이웃하는 타 절연 둑이 소정 간격 이격되도록 복수개의 절연 둑 패턴들을 형성하는 단계, (b)상기 소정 간격 상에 제1 도전성물질로 제1 전극층을 형성하는 단계, (c)상기 (b)단계에 의한 기판 상의 전면에 태양전지층을 형성하는 단계, (d)상기 태양전지층 상에 제2 도전성물질을 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계, (e)상기 제1 전극층의 일부가 노출되도록 상기 태양전지층을 식각하는 단계 및 (f)하나의 소정 간격 상에 형성된 제1 전극층과 이와 이웃하는 타 소정 간격 상에 형성된 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질을 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계를 포함한다. 집적형, 절연 둑, 경사증착, 버스바 영역 |
|---|---|
| Int. CL | H01L 31/0445 (2014.01) H01L 31/0224 (2014.01) |
| CPC | H01L 31/0463(2013.01) H01L 31/0463(2013.01) H01L 31/0463(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020080063146 (2008.06.30) |
| 출원인 | 한국과학기술원, 한국철강 주식회사 |
| 등록번호/일자 | 10-1000380-0000 (2010.12.06) |
| 공개번호/일자 | 10-2010-0003048 (2010.01.07) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20101213) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2008.06.30) |
| 심사청구항수 | 64 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 2 | 한국철강 주식회사 | 대한민국 | 경상남도 창원시 성산구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 임굉수 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 2 | 김성훈 | 대한민국 | 경기도 수원시 영통구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김성호 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동,미진빌딩 *층)(KNP 특허법률사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국철강 주식회사 | 대한민국 | 경상남도 창원시 성산구 |
| 2 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.06.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0473567-15 |
| 2 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2010.02.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0056294-25 |
| 3 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2010.03.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0179931-61 |
| 4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2010.05.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0297598-94 |
| 5 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2010.05.10 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0297608-63 |
| 6 | [출원인변경]권리관계변경신고서 [Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status |
2010.08.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0535655-15 |
| 7 | 등록결정서 Decision to grant |
2010.09.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0414157-87 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 (a)기판 상에 하나의 절연 둑과 이와 이웃하는 타 절연 둑이 소정 간격 이격되도록 복수개의 절연 둑 패턴들을 형성하는 단계; (b)상기 소정 간격 상에 제1 도전성물질로 제1 전극층을 형성하는 단계; (c)상기 (b)단계에 의한 기판 상의 전면에 태양전지층을 형성하는 단계; (d)상기 태양전지층 상에 제2 도전성물질을 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계; (e)상기 제1 전극층의 일부가 노출되도록 상기 태양전지층을 식각하는 단계; 및 (f)하나의소정 간격 상에 형성된 제1 전극층과 이와 이웃하는 타 소정 간격 상에 형성된 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질을 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계; 를 포함하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서, 상기 제2 및 3 도전성물질은 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr)으로 이루어지거나 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 3 |
3 제 1 항에 있어서, 상기 절연 둑패턴 들은 잉크젯(ink jet), 스크린 인쇄(screen printing), 요판 인쇄, 평판 인쇄, 철판 인쇄, 오프셋 인쇄, 그라비어 인쇄, 나노 임프린트(nano imprint) 또는 스탬핑(stamping) 중 어느 하나의 방법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 4 |
4 제 1 항에 있어서, 상기 제1 전극층은 인쇄(printing)법에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 5 |
5 제 1 항에 있어서, 상기 제1 도전성물질은 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 또는 산화인듐주석(ITO)으로 이루어지거나, 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 및 산화인듐주석(ITO) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 6 |
6 제 1 항에 있어서, 상기 절연 둑 패턴들은 무기계 세라믹인 금속 산화물, 질화물, 실리콘 산화물, 질화물, 탄화물 및 에나멜(enamel) 또는 유기계 폴리머, 유무기 복합계인 하이브리머(hybrimer)이거나, 상기 물질 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 7 |
7 제 1 항에 있어서, 상기 (e) 단계는 상기 (d) 단계에서 형성된 상기 제2 전극층을 마스크로 사용하여 상기 태양전지층을 식각하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 8 |
8 (a)기판 상에 제1 도전성물질로 소정 간격 이격된 다수의 제1 전극층 패턴을 형성하는 단계; (b)상기 소정 간격 상에 절연 둑을 형성하는 단계; (c)상기 (b)단계에 의한 기판 상의 전면에 태양전지층을 형성하는 단계; (d)상기 태양전지층 상에 제2 도전성물질을 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계; (e)상기 제1 전극층 패턴의 일부가 노출되도록 상기 태양전지층을 식각하는 단계; 및 (f)하나의 제1 전극층 패턴과 상기 하나의 제1 전극층 패턴에 인접한 하나의 타 제1 전극층 패턴 상에 형성된 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질을 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계; 를 포함하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 9 |
9 제 8 항에 있어서, 상기 제2 및 3 도전성물질은 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr)으로 이루어지거나 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 10 |
10 제 8 항에 있어서, 상기 절연 둑은 잉크젯(ink jet), 스크린 인쇄(screen printing), 요판 인쇄, 평판 인쇄, 철판 인쇄, 오프셋 인쇄, 그라비어 인쇄, 나노 임프린트(nano imprint) 또는 스탬핑(stamping) 중 어느 하나의 방법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 11 |
11 제 8 항에 있어서, 상기 제1 전극층 패턴은 인쇄(printing)법에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 12 |
12 제 8 항에 있어서, 상기 제1 도전성물질은 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 또는 산화인듐주석(ITO)으로 이루어지거나, 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 및 산화인듐주석(ITO) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 13 |
13 제 8 항에 있어서, 상기 절연 둑은 무기계 세라믹인 금속 산화물, 질화물, 실리콘 산화물, 질화물, 탄화물 및 에나멜(enamel) 또는 유기계 폴리머, 유무기 복합계인 하이브리머(hybrimer)이거나, 상기 물질 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 14 |
14 제 8 항에 있어서, 상기 (e) 단계는 상기 (d) 단계에서 형성된 상기 제2 전극층을 마스크로 사용하여 상기 태양전지층을 식각하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 15 |
15 (a)기판 상에 제1 도전성물질로 소정 간격 이격된 다수의 제1 전극층 패턴을 형성하는 단계; (b)상기 제1 전극층 패턴 상에 절연 둑을 형성하는 단계; (c)상기 (b)단계에 의한 기판 상의 전면에 태양전지층을 형성하는 단계; (d)상기 태양전지층 상에 제2 도전성물질을 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계; (e)상기 제1 전극층 패턴의 일부가 노출되도록 상기 태양전지층을 식각하는 단계; 및 (f)하나의 제1 전극층 패턴과 상기 하나의 제1 전극층 패턴에 인접하는 하나의 타 제1 전극층 패턴 상에 형성된 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질을 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계; 를 포함하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 16 |
16 제 15 항에 있어서, 상기 제2 및 3 도전성물질은 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr)으로 이루어지거나 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 17 |
17 제 15 항에 있어서, 상기 절연 둑은 잉크젯(ink jet), 스크린 인쇄(screen printing), 요판 인쇄, 평판 인쇄, 철판 인쇄, 오프셋 인쇄, 그라비어 인쇄, 나노 임프린트(nano imprint) 또는 스탬핑(stamping) 중 어느 하나의 방법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 18 |
18 제 15 항에 있어서, 상기 제1 전극층 패턴은 인쇄(printing)법에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 19 |
19 제 15 항에 있어서, 상기 제1 도전성물질은 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 또는 산화인듐주석(ITO)으로 이루어지거나, 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 및 산화인듐주석(ITO) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 20 |
20 제 15 항에 있어서, 상기 절연 둑은 무기계 세라믹인 금속 산화물, 질화물, 실리콘 산화물, 질화물, 탄화물 및 에나멜(enamel) 또는 유기계 폴리머, 유무기 복합계인 하이브리머(hybrimer)이거나, 상기 물질 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 21 |
21 제 15 항에 있어서, 상기 (e) 단계는 상기 (d) 단계에서 형성된 상기 제2 전극층을 마스크로 사용하여 상기 태양전지층을 식각하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 22 |
22 (a)기판 상에 제1 도전성물질로 소정 간격 이격된 다수의 제1 전극층 패턴을 형성하는 단계; (b)상기 소정 간격 상에 제1 절연 둑을, 상기 제1 전극층 패턴 상에 제2 절연 둑을 형성하는 단계; (c)상기 (b)단계에 의한 기판 상의 전면에 태양전지층을 형성하는 단계; (d)상기 태양전지 상에 제2 도전성물질을 일측과 타측에서 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계; (e)상기 제1 전극층 패턴의 일부가 노출되도록 상기 태양전지층을 식각하는 단계; 및 (f)하나의 제1 전극층 패턴과 상기 하나의 제1 전극층 패턴에 인접하는 하나의 타 제1 전극층 패턴 상에 형성된 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질을 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계; 를 포함하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 23 |
23 제 22 항에 있어서, 상기 제2 및 3 도전성물질은 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr)으로 이루어지거나 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 24 |
24 제 22 항에 있어서, 상기 절연 둑은 잉크젯(ink jet), 스크린 인쇄(screen printing), 요판 인쇄, 평판 인쇄, 철판 인쇄, 오프셋 인쇄, 그라비어 인쇄, 나노 임프린트(nano imprint) 또는 스탬핑(stamping) 중 어느 하나의 방법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 25 |
25 제 22 항에 있어서, 상기 제1 전극층 패턴은 인쇄(printing)법에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 26 |
26 제 22 항에 있어서, 상기 제1 도전성물질은 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 또는 산화인듐주석(ITO)으로 이루어지거나, 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 및 산화인듐주석(ITO) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 27 |
27 제 22 항에 있어서, 상기 절연 둑은 무기계 세라믹인 금속 산화물, 질화물, 실리콘 산화물, 질화물, 탄화물 및 에나멜(enamel) 또는 유기계 폴리머, 유무기 복합계인 하이브리머(hybrimer)이거나, 상기 물질 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 28 |
28 제 22 항에 있어서, 상기 (e) 단계는 상기 (d) 단계에서 형성된 상기 제2 전극층을 마스크로 사용하여 상기 태양전지층을 식각하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 29 |
29 (a)기판 상에 제1 도전성물질로 소정 간격 이격된 다수의 제1 전극층 패턴을 형성하는 단계; (b)상기 (a)단계에 의한 기판 상의 전면에 태양전지층을 형성하는 단계; (c)상기 소정 간격에 대응되는 태양전지층 상에 제1 절연 둑을, 상기 제1 전극층 패턴의 소정 영역에 대응되는 태양전지층 상에 제2 절연 둑을 형성하는 단계; (d)상기 태양전지층 상에 제2 도전성물질을 일측과 타측에서 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계; (e)상기 제1 전극층 패턴의 일부가 노출되도록 상기 태양전지층을 식각하는 단계; 및 (f)하나의 제1 전극층 패턴과 상기 하나의 제1 전극층 패턴에 인접하는 하나의 타 제1 전극층 패턴 상에 형성된 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질을 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계; 를 포함하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 30 |
30 제 29 항에 있어서, 상기 제2 및 3 도전성물질은 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr)으로 이루어지거나 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 31 |
31 제 29 항에 있어서, 상기 제1 및 2 절연 둑은 잉크젯(ink jet), 스크린 인쇄(screen printing), 요판 인쇄, 평판 인쇄, 철판 인쇄, 오프셋 인쇄, 그라비어 인쇄, 나노 임프린트(nano imprint) 또는 스탬핑(stamping) 중 어느 하나의 방법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 32 |
32 제 29 항에 있어서, 상기 제1 전극층 패턴은 인쇄(printing)법에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 33 |
33 제 29 항에 있어서, 상기 제1 도전성물질은 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 또는 산화인듐주석(ITO)으로 이루어지거나, 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 및 산화인듐주석(ITO) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 34 |
34 제 29 항에 있어서, 상기 제1 및 2 절연 둑은 무기계 세라믹인 금속 산화물, 질화물, 실리콘 산화물, 질화물, 탄화물 및 에나멜(enamel) 또는 유기계 폴리머, 유무기 복합계인 하이브리머(hybrimer)이거나, 상기 물질 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 35 |
35 제 29 항에 있어서, 상기 (e) 단계는 상기 (d) 단계에서 형성된 상기 제2 전극층을 마스크로 사용하여 상기 태양전지층을 식각하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 36 |
36 (a)기판 상에 제1 도전성물질로 소정 간격 이격된 다수의 제1 전극층 패턴을 형성하는 단계; (b)상기 제1 전극층 패턴 상에 절연 둑을 형성하는 단계; (c)상기 (b)단계에 의한 기판 상의 전면에 태양전지층을 형성하는 단계; (d)상기 태양전지층 상에 제2 도전성물질을 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계; (e)상기 제1 전극층 패턴의 일부가 노출되도록 상기 태양전지층을 식각하는 단계; 및 (f)하나의 제1 전극층 패턴과 상기 하나의 제1 전극층 패턴에 인접하는 하나의 타 제1 전극층 패턴 상에 형성된 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질로 도전체를 형성하는 단계; 를 포함하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 37 |
37 제 36 항에 있어서, 상기 도전체는 인쇄(printing)법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 38 |
38 제 36 항에 있어서, 상기 제2 및 3 도전성물질은 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr)으로 이루어지거나 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 39 |
39 제 36 항에 있어서, 상기 절연 둑은 잉크젯(ink jet), 스크린 인쇄(screen printing), 요판 인쇄, 평판 인쇄, 철판 인쇄, 오프셋 인쇄, 그라비어 인쇄, 나노 임프린트(nano imprint) 또는 스탬핑(stamping) 중 어느 하나의 방법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 40 |
40 제 36 항에 있어서, 상기 제1 전극층 패턴은 인쇄(printing)법에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 41 |
41 제 36 항에 있어서, 상기 제1 도전성물질은 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 또는 산화인듐주석(ITO)으로 이루어지거나, 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 및 산화인듐주석(ITO) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 42 |
42 제 36 항에 있어서, 상기 절연 둑은 무기계 세라믹인 금속 산화물, 질화물, 실리콘 산화물, 질화물, 탄화물 및 에나멜(enamel) 또는 유기계 폴리머, 유무기 복합계인 하이브리머(hybrimer)이거나, 상기 물질 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 43 |
43 제 36 항에 있어서, 상기 (e) 단계는 상기 (d) 단계에서 형성된 상기 제2 전극층을 마스크로 사용하여 상기 태양전지층을 식각하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 44 |
44 (a)기판 상에 하나의 절연 둑과 이와 이웃하는 타 절연 둑이 소정 간격 이격되도록 복수개의 절연 둑 패턴들을 형성하는 단계; (b)상기 소정 간격 상에 제1 도전성물질로 제1 전극층을 형성하는 단계; (c)상기 (b)단계에 의한 기판 상의 전면에 태양전지층을 형성하는 단계; (d)상기 태양전지층 상에 제2 도전성물질을 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계; (e)상기 제1 전극층의 일부가 노출되도록 상기 태양전지층을 식각하는 단계; (f)하나의 소정 간격 상에 형성된 제1 전극층과 이와 이웃하는 타 소정 간격 상에 형성된 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질을 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계; 및 (g)상기 절연 둑 패턴 중 상기 기판 상의 양측 외곽에 형성된 각 절연 둑과 인접한 타 절연 둑 사이에 도전성 페이스트를 매립하여 버스바 영역을 형성하는 단계; 를 포함하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 45 |
45 제 44 항에 있어서, 상기 도전성 페이스트는 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr)으로 이루어지거나 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 46 |
46 제 44 항에 있어서, 상기 도전성 페이스트의 매립은 인쇄(printing)법에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 47 |
47 제 44 항에 있어서, 상기 외곽은 최외곽인 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 48 |
48 (a)기판 상에 제1 도전성물질로 소정 간격 이격된 다수의 제1 전극층 패턴을 형성하는 단계; (b)상기 소정 간격 상 및 상기 기판 상의 양측 외곽에 형성된 상기 제1 전극층 패턴 상에 절연 둑을 형성하는 단계; (c)상기 (b)단계에 의한 기판 상의 전면에 태양전지층을 형성하는 단계; (d)상기 태양전지층 상에 제2 도전성물질을 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계; (e)상기 제1 전극층 패턴의 일부가 노출되도록 상기 태양전지층을 식각하는 단계; (f)하나의 제1 전극층 패턴과 상기 하나의 제1 전극층 패턴에 인접한 하나의 타 제1 전극층 패턴 상에 형성된 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질을 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계; 및 (g)상기 기판 상의 양측 외곽에 형성된 상기 제1 전극층 패턴 상의 절연 둑과 인접한 타 절연 둑 사이에 도전성 페이스트를 매립하여 버스바 영역을 형성하는 단계; 를 포함하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 49 |
49 제 48 항에 있어서, 상기 도전성 페이스트는 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr)으로 이루어지거나 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 50 |
50 제 48 항에 있어서, 상기 도전성 페이스트의 매립은 인쇄(printing)법에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 51 |
51 제 48 항에 있어서, 상기 외곽은 최외곽인 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 52 |
52 (a)기판 상에 제1 도전성물질로 소정 간격 이격된 다수의 제1 전극층 패턴을 형성하는 단계; (b)상기 제1 전극층 패턴 상에 절연 둑을 형성하는 단계; (c)상기 (b)단계에 의한 기판 상의 전면에 태양전지층을 형성하는 단계; (d)상기 태양전지층 상에 제2 도전성물질을 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계; (e)상기 제1 전극층 패턴의 일부가 노출되도록 상기 태양전지층을 식각하는 단계; (f)하나의 제1 전극층 패턴과 상기 하나의 제1 전극층 패턴에 인접하는 하나의 타 제1 전극층 패턴 상에 형성된 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질을 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계; 및 (g)상기 절연 둑 중 상기 기판 상의 양측 외곽에 형성된 각 절연 둑과 인접한 타 절연 둑 사이에 도전성 페이스트를 매립하여 버스바 영역을 형성하는 단계; 를 포함하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 53 |
53 제 52 항에 있어서, 상기 도전성 페이스트는 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr)으로 이루어지거나 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 54 |
54 제 52 항에 있어서, 상기 도전성 페이스트의 매립은 인쇄(printing)법에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 55 |
55 제 52 항에 있어서, 상기 외곽은 최외곽인 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 56 |
56 (a)기판 상에 제1 도전성물질로 소정 간격 이격된 다수의 제1 전극층 패턴을 형성하는 단계; (b)상기 소정 간격 상에 제1 절연 둑을, 상기 제1 전극층 패턴 상에 제2 절연 둑을 형성하는 단계; (c)상기 (b)단계에 의한 기판 상의 전면에 태양전지층을 형성하는 단계; (d)상기 태양전지 상에 제2 도전성물질을 일측과 타측에서 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계; (e)상기 제1 전극층 패턴의 일부가 노출되도록 상기 태양전지층을 식각하는 단계; (f)하나의 제1 전극층 패턴과 상기 하나의 제1 전극층 패턴에 인접하는 하나의 타 제1 전극층 패턴 상에 형성된 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성 물질을 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계; 및 (g)상기 기판 상의 양측 외곽에 형성된 제1 절연 둑 및 제2 절연 둑 사이에 도전성 페이스트를 매립하여 버스바 영역을 형성하는 단계; 를 포함하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 57 |
57 제 56 항에 있어서, 상기 도전성 페이스트는 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr)으로 이루어지거나 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 58 |
58 제 56 항에 있어서, 상기 도전성 페이스트의 매립은 인쇄(printing)법에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 59 |
59 제 56 항에 있어서, 상기 외곽은 최외곽인 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 60 |
60 (a)기판 상에 제1 도전성물질로 소정 간격 이격된 다수의 제1 전극층 패턴을 형성하는 단계; (b)상기 (a)단계에 의한 기판 상의 전면에 태양전지층을 형성하는 단계; (c)상기 소정 간격에 대응되는 태양전지층 상에 제1 절연 둑을, 상기 제1 전극층 패턴의 소정 영역에 대응되는 태양전지층 상에 제2 절연 둑을 형성하는 단계; (d)상기 태양전지층 상에 제2 도전성물질을 일측과 타측에서 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계; (e)상기 제1 전극층 패턴의 일부가 노출되도록 상기 태양전지층을 식각하는 단계; (f)하나의 제1 전극층 패턴과 상기 하나의 제1 전극층 패턴에 인접하는 하나의 타 제1 전극층 패턴 상에 형성된 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질을 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계; 및 (g)상기 기판 상의 양측 외곽에 형성된 제1 절연 둑 및 제2 절연 둑 사이에 도전성 페이스트를 매립하여 버스바 영역을 형성하는 단계; 를 포함하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 61 |
61 제 60 항에 있어서, 상기 도전성 페이스트는 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr)으로 이루어지거나 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn) 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 62 |
62 제 60 항에 있어서, 상기 도전성 페이스트 매립은 인쇄(printing)법에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 63 |
63 제 60 항에 있어서, 상기 외곽은 최외곽인 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
| 64 |
64 제 1 항 내지 제 63 항 중 어느 한 항에 의해 제조된 집적형 박막 태양전지 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1000380-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20080630 출원 번호 : 1020080063146 공고 연월일 : 20101213 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20100917 청구범위의 항수 : 64 유별 : H01L 31/042 발명의 명칭 : 집적형 박막 태양전지 및 그 제조 방법 존속기간(예정)만료일 : 20151207 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국철강 주식회사 경상남도 창원시 성산구... |
| 1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 2,541,000 원 | 2010년 12월 07일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 1,448,000 원 | 2013년 11월 29일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 1,448,000 원 | 2014년 11월 27일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.06.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0473567-15 |
| 2 | 의견제출통지서 | 2010.02.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0056294-25 |
| 3 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2010.03.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0179931-61 |
| 4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2010.05.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0297598-94 |
| 5 | [명세서등 보정]보정서 | 2010.05.10 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0297608-63 |
| 6 | [출원인변경]권리관계변경신고서 | 2010.08.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0535655-15 |
| 7 | 등록결정서 | 2010.09.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0414157-87 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제정보가 없습니다 |
|---|
중요키워드
| [KST2015113028][한국과학기술원] | 복합형 태양 전지의 제조 방법 | 새창보기 |
|---|---|---|
| [KST2014046758][한국과학기술원] | 박막 태양전지 및 그의 제조방법 | 새창보기 |
| [KST2015111846][한국과학기술원] | 미세결정 실리콘 박막 형성방법 및 이를 이용한 박막형실리콘 태양전지 제조방법 | 새창보기 |
| [KST2015113097][한국과학기술원] | 집적형 박막 태양전지 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
| [KST2015117818][한국과학기술원] | 박막 태양전지의 박막 형성장치 | 새창보기 |
| [KST2015113901][한국과학기술원] | 실리콘 구립체를 이용한 태양전지 제조방법 및 이에 의하여 제조된 태양전지 | 새창보기 |
| [KST2014011571][한국과학기술원] | ＣＩＧＳ 광흡수층 제조 방법 및 ＣＩＧＳ 광흡수층을 포함하는 태양전지 | 새창보기 |
| [KST2015112350][한국과학기술원] | 집적형 박막 태양전지용 투명전극의 가공 방법과 그 구조,그 투명전극이 형성된 투명기판 | 새창보기 |
| [KST2014047236][한국과학기술원] | 태양전지용 금속 그리드 라인 형성 방법 | 새창보기 |
| 심판사항 정보가 없습니다 |
|---|