요약 | 본 발명은 집적형 박막 태양전지 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 태양전지의 제조방법은 (a)기판 상에 제1 도전성물질로 제1 전극층을 형성하는 단계, (b)상기 제1 전극층 상에 태양전지층을 형성하는 단계, (c)상기 태양전지층 상에 제2 도전성물질로 제2 전극층을 형성하는 단계, (d)상기 제1 전극층, 태양전지층, 제2 전극층을 관통하며 소정 간격 이격된 다수의 제1 트렌치를 형성하여 인접하고 있는 상호간 소정 간격 이격된 다수의 단위 박막 태양전지를 형성하는 단계, (e)상기 제1 트렌치의 양 측벽면 중 상기 태양전지층 및 제2 전극층의 측벽면을 더 식각하여 상기 제1 트렌치의 폭보다 더 넓은 폭을 갖는 제2 트렌치를 형성하는 단계, (f)상기 단위 박막 태양전지 각각의 일 측면에 절연물질로 절연체를 형성하는 단계, (g)상기 단위 박막 태양전지의 제2 전극층과 상기 단위 박막 태양전지에 인접한 타 단위 박막 태양전지의 제1 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질로 도전체를 형성하는 단계를 포함한다. 집적형, 박막 태양전지, 절연체, 도전성물질, 인쇄, |
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Int. CL | H01L 31/0445 (2014.01) H01L 31/0224 (2014.01) |
CPC | H01L 31/0463(2013.01) H01L 31/0463(2013.01) H01L 31/0463(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020080063147 (2008.06.30) |
출원인 | 한국과학기술원, 한국철강 주식회사 |
등록번호/일자 | 10-1000383-0000 (2010.12.06) |
공개번호/일자 | 10-2010-0003049 (2010.01.07) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20101213) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2008.06.30) |
심사청구항수 | 54 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
2 | 한국철강 주식회사 | 대한민국 | 경상남도 창원시 성산구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 임굉수 | 대한민국 | 대전 유성구 |
2 | 홍윤호 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 김성호 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동,미진빌딩 *층)(KNP 특허법률사무소) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
2 | 한국철강 주식회사 | 대한민국 | 경상남도 창원시 성산구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
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1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.06.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0473568-50 |
2 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2010.02.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0056295-71 |
3 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2010.03.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0179979-41 |
4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2010.04.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0246587-18 |
5 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2010.04.19 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0246595-73 |
6 | [출원인변경]권리관계변경신고서 [Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status |
2010.08.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0535660-44 |
7 | 등록결정서 Decision to grant |
2010.09.16 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0412021-30 |
8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
번호 | 청구항 |
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1 |
1 (a)기판 상에 제1 도전성물질로 제1 전극층을 형성하는 단계; (b)상기 제1 전극층 상에 태양전지층을 형성하는 단계; (c)상기 태양전지층 상에 제2 도전성물질로 제2 전극층을 형성하는 단계; (d)상기 제1 전극층, 태양전지층, 제2 전극층을 관통하며 소정 간격 이격된 다수의 제1 트렌치를 형성하여 인접하고 있는 상호간 소정 간격 이격된 다수의 단위 박막 태양전지를 형성하는 단계; (e)상기 제1 트렌치의 양 측벽면 중 상기 태양전지층 및 제2 전극층의 측벽면을 더 식각하여 상기 제1 트렌치의 폭보다 더 넓은 폭을 갖는 제2 트렌치를 형성하는 단계; (f)상기 단위 박막 태양전지 각각의 일 측면에 절연물질로 절연체를 형성하는 단계; (g)상기 단위 박막 태양전지의 제2 전극층과 상기 단위 박막 태양전지에 인접한 타 단위 박막 태양전지의 제1 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질로 도전체를 형성하는 단계; 를 포함하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
2 |
2 제 1 항에 있어서, 상기 제1 및 2 트렌치는 레이저 스크라이빙 공정에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
3 |
3 제 1 항에 있어서, 상기 제1 도전성물질은 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 또는 산화인듐주석(ITO)으로 이루어지거나, 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 및 산화인듐주석(ITO) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
4 |
4 제 1 항에 있어서, 상기 제2 및 3 도전성 물질은 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn), 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr)으로 이루어지거나 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn), 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
5 |
5 제 1 항에 있어서, 상기 절연체는 잉크젯(ink jet), 스크린 인쇄(screen printing), 요판 인쇄, 평판 인쇄, 철판 인쇄, 오프셋 인쇄, 그라비어 인쇄, 나노 임프린트(nano imprint) 또는 스탬핑(stamping) 중 어느 하나의 방법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
6 |
6 제 1 항에 있어서, 상기 도전체는 잉크젯(ink jet), 스크린 인쇄(screen printing), 요판 인쇄, 평판 인쇄, 철판 인쇄, 오프셋 인쇄, 그라비어 인쇄, 나노 임프린트(nano imprint) 또는 스탬핑(stamping) 중 어느 하나의 방법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
7 |
7 제 1 항에 있어서, 상기 절연물질은 무기계 세라믹인 금속 산화물, 질화물, 실리콘 산화물, 질화물, 탄화물 및 에나멜(enamel) 또는 유기계 폴리머, 유무기 복합계인 하이브리머(hybrimer)이거나, 상기 물질 중 적어도 2개 이상을 포함한 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
8 |
8 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 의해 제조된 집적형 박막 태양전지 |
9 |
9 (a)기판 상에 제1 도전성물질로 제1 전극층을 형성하는 단계; (b)상기 제1 전극층 상에 태양전지층을 형성하는 단계; (c)상기 태양전지층 상에 제2 도전성물질로 제2 전극층을 형성하는 단계; (d)상기 제1 전극층, 태양전지층, 제2 전극층을 관통하며 소정 간격 이격된 다수의 제1 트렌치를 형성하여 인접하고 있는 상호간 소정 간격 이격된 다수의 단위 박막 태양전지를 형성하는 단계; (e)상기 제1 트렌치의 양 측벽면 중 상기 태양전지층 및 제2 전극층의 측벽면을 더 식각하여 상기 제1 트렌치의 폭보다 더 넓은 폭을 갖는 제2 트렌치를 형성하는 단계; (f)상기 단위 박막 태양전지 각각의 양 측면에 절연물질로 절연체를 형성하되, 상기 단위 박막 태양전지 각각의 일 측에서 제1 전극층이 노출되도록 상기 절연체를 형성하는 단계; (g)상기 단위 박막 태양전지의 제2 전극층과 상기 단위 박막 태양전지에 인접한 타 단위 박막 태양전지의 제1 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질로 도전체를 형성하는 단계; 를 포함하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
10 |
10 제 9 항에 있어서, 상기 제1 및 2 트렌치는 레이저 스크라이빙 공정에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
11 |
11 제 9 항에 있어서, 상기 제1 도전성물질은 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 또는 산화인듐주석(ITO)으로 이루어지거나, 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 및 산화인듐주석(ITO) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
12 |
12 제 9 항에 있어서, 상기 제2 및 3 도전성 물질은 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn), 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr)으로 이루어지거나 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn), 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
13 |
13 제 9 항에 있어서, 상기 절연체는 잉크젯(ink jet), 스크린 인쇄(screen printing), 요판 인쇄, 평판 인쇄, 철판 인쇄, 오프셋 인쇄, 그라비어 인쇄, 나노 임프린트(nano imprint) 또는 스탬핑(stamping) 중 어느 하나의 방법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
14 |
14 제 9 항에 있어서, 상기 도전체는 잉크젯(ink jet), 스크린 인쇄(screen printing), 요판 인쇄, 평판 인쇄, 철판 인쇄, 오프셋 인쇄, 그라비어 인쇄, 나노 임프린트(nano imprint) 또는 스탬핑(stamping) 중 어느 하나의 방법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
15 |
15 제 9 항에 있어서, 상기 절연물질은 무기계 세라믹인 금속 산화물, 질화물, 실리콘 산화물, 질화물, 탄화물 및 에나멜(enamel) 또는 유기계 폴리머, 유무기 복합계인 하이브리머(hybrimer)이거나, 상기 물질 중 적어도 2개 이상을 포함한 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
16 |
16 제 9 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 의해 제조된 집적형 박막 태양전지 |
17 |
17 (a)기판 상에 제1 도전성물질로 제1 전극층을 형성하는 단계; (b)상기 제1 전극층 상에 태양전지층을 형성하는 단계; (c)상기 태양전지층 상에 제2 도전성물질로 제2 전극층을 형성하는 단계; (d)상기 제1 전극층, 태양전지층, 제2 전극층을 관통하며 소정 간격 이격된 다수의 제1 트렌치를 형성하여 인접하고 있는 상호간 소정 간격 이격된 다수의 단위 박막 태양전지를 형성하는 단계; (e)상기 제1 트렌치의 양 측벽면 중 상기 태양전지층 및 제2 전극층의 측벽면을 더 식각하여 상기 제1 트렌치의 폭보다 더 넓은 폭을 갖는 제2 트렌치를 형성하는 단계; (f)상기 단위 박막 태양전지 각각의 상기 태양전지층 및 제2 전극층을 식각하여 제3 트렌치를 형성하는 단계; (g)상기 단위 박막 태양전지 각각의 일 측면에 절연물질로 절연체를 형성하는 단계; (h)상기 단위 박막 태양전지의 제2 전극층과 상기 단위 박막 태양전지에 인접한 타 단위 박막 태양전지의 제1 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질로 도전체를 형성하는 단계; 를 포함하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
18 |
18 제 17 항에 있어서, 상기 제1, 2 및 3 트렌치는 레이저 스크라이빙 공정에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
19 |
19 제 17 항에 있어서, 상기 제1 도전성물질은 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 또는 산화인듐주석(ITO)으로 이루어지거나, 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 및 산화인듐주석(ITO) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
20 |
20 제 17 항에 있어서, 상기 제2 및 3 도전성 물질은 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn), 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr)으로 이루어지거나 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn), 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
21 |
21 제 17 항에 있어서, 상기 절연체는 잉크젯(ink jet), 스크린 인쇄(screen printing), 요판 인쇄, 평판 인쇄, 철판 인쇄, 오프셋 인쇄, 그라비어 인쇄, 나노 임프린트(nano imprint) 또는 스탬핑(stamping) 중 어느 하나의 방법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
22 |
22 제 17 항에 있어서, 상기 도전체는 잉크젯(ink jet), 스크린 인쇄(screen printing), 요판 인쇄, 평판 인쇄, 철판 인쇄, 오프셋 인쇄, 그라비어 인쇄, 나노 임프린트(nano imprint) 또는 스탬핑(stamping) 중 어느 하나의 방법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
23 |
23 제 17 항에 있어서, 상기 절연물질은 무기계 세라믹인 금속 산화물, 질화물, 실리콘 산화물, 질화물, 탄화물 및 에나멜(enamel) 또는 유기계 폴리머, 유무기 복합계인 하이브리머(hybrimer)이거나, 상기 물질 중 적어도 2개 이상을 포함한 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
24 |
24 제 17 항 내지 제 23 항 중 어느 한 항에 의해 제조된 집적형 박막 태양전지 |
25 |
25 (a)기판 상에 제1 도전성물질로 소정 간격 이격된 다수의 제1 전극층 패턴을 형성하는 단계; (b)상기 (a)단계에 의한 기판 상의 전면에 태양전지층을 형성하는 단계; (c)상기 (b)단계에 의한 기판 상의 전면에 제2 도전성물질로 제2 전극층을 형성하는 단계; (d)단위 제1 전극층 패턴 각각의 일 측이 노출되도록 상기 태양전지층 및 제2 전극층을 식각하여 다수의 단위 박막 태양전지를 형성하는 단계; (e)상기 단위 박막 태양전지의 제1 전극층과 상기 단위 박막 태양전지에 인접하는 타 단위 박막 태양전지의 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질로 상기 단위 박막 태양전지 각각의 일 측에 도전체를 형성하는 단계; 를 포함하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
26 |
26 제 25 항에 있어서, 상기 (d)단계의 식각 공정은 레이저 스크라이빙 공정인 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
27 |
27 제 25 항에 있어서, 상기 제1 도전성물질은 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 또는 산화인듐주석(ITO)으로 이루어지거나, 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 및 산화인듐주석(ITO) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
28 |
28 제 25 항에 있어서, 상기 제2 및 3 도전성 물질은 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn), 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr)으로 이루어지거나 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn), 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
29 |
29 제 25 항에 있어서, 상기 제1 전극층 패턴은 인쇄(printing)법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
30 |
30 제 25 항에 있어서, 상기 도전체는 잉크젯(ink jet), 스크린 인쇄(screen printing), 요판 인쇄, 평판 인쇄, 철판 인쇄, 오프셋 인쇄, 그라비어 인쇄, 나노 임프린트(nano imprint) 또는 스탬핑(stamping) 중 어느 하나의 방법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
31 |
31 제 25 항 내지 제 30 항 중 어느 한 항에 의해 제조된 집적형 박막 태양전지 |
32 |
32 (a)기판 상에 제1 도전성물질로 소정 간격 이격된 다수의 제1 전극층 패턴을 형성하는 단계; (b)상기 (a)단계에 의한 기판 상의 전면에 제1 태양전지층을 형성하는 단계; (c)상기 (b)단계에 의한 기판 상의 전면에 절연물질 또는 제2 도전성물질로 중간층을 형성하는 단계; (d)단위 제1 전극층 패턴 각각의 일 측이 노출되도록 상기 제1 태양전지층 및 중간층을 식각하는 단계; (e)상기 (d)단계에 의한 기판 상의 전면에 제2 태양전지층을 형성하는 단계; (f)상기 (e)단계에 의한 기판 상의 전면에 제3 도전성물질로 제2 전극층을 형성하는 단계; (g)상기 단위 제1 전극층 패턴 각각의 일 측이 노출되도록 상기 제2 태양전지층 및 제2 전극층을 식각하여 다수의 단위 박막 태양전지를 형성하는 단계; (h)상기 단위 박막 태양전지의 제1 전극층과 상기 단위 박막 태양전지에 인접하는 타 단위 박막 태양전지의 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제4 도전성물질로 상기 단위 박막 태양전지 각각의 일 측에 도전체를 형성하는 단계; 를 포함하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
33 |
33 제 32 항에 있어서, 상기 (d)단계 및 (g)단계의 식각 공정은 레이저 스크라이빙 공정인 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
34 |
34 제 32 항에 있어서, 상기 제1 및 2 도전성물질은 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 또는 산화인듐주석(ITO)으로 이루어지거나, 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 및 산화인듐주석(ITO) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
35 |
35 제 32 항에 있어서, 상기 절연물질은 절연성 금속 산화물, 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 및 실리콘 탄화물 중 적어도 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
36 |
36 제 32 항에 있어서, 상기 제1 전극층 패턴은 인쇄(printing)법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
37 |
37 제 32 항에 있어서, 상기 제2 및 3 도전성 물질은 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn), 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr)으로 이루어지거나 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn), 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
38 |
38 제 32 항에 있어서, 상기 도전체는 잉크젯(ink jet), 스크린 인쇄(screen printing), 요판 인쇄, 평판 인쇄, 철판 인쇄, 오프셋 인쇄, 그라비어 인쇄, 나노 임프린트(nano imprint) 또는 스탬핑(stamping) 중 어느 하나의 방법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
39 |
39 제 32 항 내지 제 38 항 중 어느 한 항에 의해 제조된 집적형 박막 태양전지 |
40 |
40 (a)기판 상에 제1 도전성물질로 제1 전극층을 형성하는 단계; (b)상기 제1 전극층 상에 태양전지층을 형성하는 단계; (c)상기 태양전지층 상에 제2 도전성물질로 제2 전극층을 형성하는 단계; (d)상기 제1 전극층, 태양전지층, 제2 전극층을 관통하며 소정 간격 이격된 다수의 제1 트렌치를 형성하여 인접하고 있는 상호간 소정 간격 이격된 다수의 단위 박막 태양전지를 형성하는 단계; (e)상기 제1 트렌치의 양 측벽면 중 상기 태양전지층 및 제2 전극층의 측벽면을 더 식각하여 상기 제1 트렌치의 폭보다 더 넓은 폭을 갖는 제2 트렌치를 형성하는 단계; (f)상기 제1 트렌치 및 제2 트렌치에 절연물질을 매립하여 절연 둑을 형성하는 단계; (g)상기 단위 박막 태양전지의 제1 전극층의 일부가 노출되도록 상기 절연 둑을 식각하는 단계; (h)상기 단위 박막 태양전지의 제1 전극층과 상기 단위 박막 태양전지에 인접한 타 단위 박막 태양전지의 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질을 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계; 를 포함하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
41 |
41 제 40 항에 있어서, 상기 제1 및 2 트렌치는 레이저 스크라이빙 공정에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
42 |
42 제 40 항에 있어서, 상기 절연 둑을 식각하는 공정은 레이저 스크라이빙 공정 또는 포토리소그라피 공정인 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
43 |
43 제 40 항에 있어서, 상기 제1 도전성물질은 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 또는 산화인듐주석(ITO)으로 이루어지거나, 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 및 산화인듐주석(ITO) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
44 |
44 제 40 항에 있어서, 상기 제2 및 3 도전성물질은 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn), 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr)으로 이루어지거나 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn), 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
45 |
45 제 40 항에 있어서, 상기 절연 둑은 잉크젯(ink jet), 스크린 인쇄(screen printing), 요판 인쇄, 평판 인쇄, 철판 인쇄, 오프셋 인쇄, 그라비어 인쇄, 나노 임프린트(nano imprint) 또는 스탬핑(stamping) 중 어느 하나의 방법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
46 |
46 제 40 항에 있어서, 상기 절연물질은 무기계 세라믹인 금속 산화물, 질화물, 실리콘 산화물, 질화물, 탄화물 및 에나멜(enamel) 또는 유기계 폴리머, 유무기 복합계인 하이브리머(hybrimer)이거나, 상기 물질 중 적어도 2개 이상을 포함한 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
47 |
47 제 40 항 내지 제 46 항 중 어느 한 항에 의해 제조된 집적형 박막 태양전지 |
48 |
48 (a)기판 상에 제1 도전성물질로 제1 전극층을 형성하는 단계; (b)상기 제1 전극층 상에 태양전지층을 형성하는 단계; (c)상기 태양전지층 상에 제2 도전성물질로 제2 전극층을 형성하는 단계; (d)상기 제1 전극층, 태양전지층, 제2 전극층을 관통하며 소정 간격 이격된 다수의 제1 트렌치를 형성하여 인접하고 있는 상호간 소정 간격 이격된 다수의 단위 박막 태양전지를 형성하는 단계; (e)상기 제1 트렌치의 양 측벽면 중 상기 태양전지층 및 제2 전극층의 측벽면을 더 식각하여 상기 제1 트렌치의 폭보다 더 넓은 폭을 갖는 제2 트렌치를 형성하는 단계; (f)상기 단위 박막 태양전지 각각의 양 측면에 절연물질로 절연체를 형성하되, 상기 단위 박막 태양전지 각각의 일 측에서 제1 전극층이 노출되도록 상기 절연체를 형성하는 단계; (g)상기 단위 박막 태양전지의 제1 전극층과 상기 단위 박막 태양전지에 인접한 타 단위 박막 태양전지의 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질을 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계; 를 포함하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
49 |
49 제 48 항에 있어서, 상기 제1 및 2 트렌치는 레이저 스크라이빙 공정에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
50 |
50 제 48 항에 있어서, 상기 제1 도전성물질은 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 또는 산화인듐주석(ITO)으로 이루어지거나, 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2) 및 산화인듐주석(ITO) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
51 |
51 제 48 항에 있어서, 상기 제2 및 3 도전성물질은 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn), 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr)으로 이루어지거나 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 아연(Zn), 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr) 중 적어도 2개 이상을 포함하는 조합으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
52 |
52 제 48 항에 있어서, 상기 절연체는 잉크젯(ink jet), 스크린 인쇄(screen printing), 요판 인쇄, 평판 인쇄, 철판 인쇄, 오프셋 인쇄, 그라비어 인쇄, 나노 임프린트(nano imprint) 또는 스탬핑(stamping) 중 어느 하나의 방법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
53 |
53 제 48 항에 있어서, 상기 절연물질은 무기계 세라믹인 금속 산화물, 질화물, 실리콘 산화물, 질화물, 탄화물 및 에나멜(enamel) 또는 유기계 폴리머, 유무기 복합계인 하이브리머(hybrimer)이거나, 상기 물질 중 적어도 2개 이상을 포함한 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조방법 |
54 |
54 제 48 항 내지 제 53 항 중 어느 한 항에 의해 제조된 집적형 박막 태양전지 |
지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
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국가 R&D 정보가 없습니다. |
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특허 등록번호 | 10-1000383-0000 |
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표시번호 | 사항 |
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1 |
출원 연월일 : 20080630 출원 번호 : 1020080063147 공고 연월일 : 20101213 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20100916 청구범위의 항수 : 54 유별 : H01L 31/042 발명의 명칭 : 집적형 박막 태양전지 및 그 제조 방법 존속기간(예정)만료일 : 20151207 |
순위번호 | 사항 |
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1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
1 |
(권리자) 한국철강 주식회사 경상남도 창원시 성산구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 2,151,000 원 | 2010년 12월 07일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 1,228,000 원 | 2013년 11월 29일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 1,228,000 원 | 2014년 11월 27일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
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1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.06.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0473568-50 |
2 | 의견제출통지서 | 2010.02.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0056295-71 |
3 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2010.03.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0179979-41 |
4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2010.04.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0246587-18 |
5 | [명세서등 보정]보정서 | 2010.04.19 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0246595-73 |
6 | [출원인변경]권리관계변경신고서 | 2010.08.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0535660-44 |
7 | 등록결정서 | 2010.09.16 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0412021-30 |
8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1415101041 |
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세부과제번호 | 20093020010070 |
연구과제명 | 플렉서블 시스루 박막 태양전지 모듈 제작 원천 기술 개발 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2009 |
연구기간 | 200904~201203 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
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심판사항 정보가 없습니다 |
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