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다축 구동이 가능한 구동체;
상기 구동체에 연결되고 그 내부에 전류가 흐르는 탄성체;
상기 탄성체의 상부 또는 하부 또는 상하부에 위치하여 탄성체의 주위에 자기장을 형성하는 도체 코일이 형성된 코일기판을 포함하되,
상기 코일기판의 중앙부에 관통공을 갖고, 상기 도체 코일은 상기 관통공 주위의 상기 코일기판의 표리양면에 스파이럴(나선)상으로 형성되며 상기 관통공을 통해 코일기판 표리면의 도체 코일이 서로 접속되는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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청구항 1에 있어서,
상기 탄성체는 상기 구동체를 중심으로 다수 개가 대칭 또는 비대칭으로 연결되는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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3
청구항 1에 있어서,
상기 탄성체가 고정되는 지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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삭제
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5
청구항 1에 있어서,
상기 탄성체는 상기 구동체의 움직임으로 인해 발생하는 정전용량의 차이를 측정하는 정전 용량형 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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6
청구항 1에 있어서,
상기 탄성체에 인가되는 전류의 순서를 조절하여 상기 구동체의 움직임을 조절하는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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7 |
7
청구항 1에 있어서,
상기 탄성체에 인가되는 전류의 크기를 조절하여 상기 구동체의 구동변위를 조절하는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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8
청구항 1에 있어서,
상기 탄성체에 인가되는 전류의 방향을 조절하여 상기 구동체의 구동방향을 조절하는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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9
청구항 1에 있어서,
상기 탄성체는 양극 산화 방법 또는 화학적 식각 방법으로 부분적으로 절연시켜 전류가 흐르는 통로를 나누는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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10
청구항 1에 있어서,
상기 탄성체는 기계적 가공 방법, 화학적 식각 방법, 광학적인 가공 방법, 전기 화학적인 도금 방법 중 하나로 제작되는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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11
청구항 1에 있어서,
상기 코일기판에 인가되는 전류의 크기를 조절하여 상기 구동체의 구동변위를 조절하는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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12
청구항 1에 있어서,
상기 코일기판에 인가되는 전류의 방향을 조절하여 상기 구동체의 구동방향을 조절하는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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13
청구항 1에 있어서,
상기 코일기판에 인가되는 전류의 순서를 조절하여 상기 구동체의 움직임을 조절하는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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14
청구항 1에 있어서,
상기 도체 코일은 상기 코일기판의 관통공을 중심으로 하여 다수 개가 원형 또는 다각형의 형태로 배열될 수 있는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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15
청구항 1에 있어서,
상기 도체 코일은 상기 관통공을 중심으로 각 사분면에 배열될 수 있는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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16
청구항 1에 있어서,
상기 도체 코일은 잉크젯 프린팅, 스크린 프린팅, 리소그래피 방법, 양극 산화 방법, 광학적인 가공방법, 전기화학적인 도금 방법 중의 하나로 제작되는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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17
청구항 1에 있어서,
상기 코일기판은 유리가 주성분인 세라믹 재료를 사용하는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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18
청구항 1에 있어서,
상기 코일 기판은 하나 이상의 코일기판이 수직으로 적층되는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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19
청구항 18에 있어서,
상기 코일 기판은 이웃하는 타 코일 기판과 비아홀을 통해 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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20
청구항 1에 있어서,
상기 코일기판은 자성체 물질을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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21
청구항 20에 있어서,
상기 자성체 물질은 철(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni), 망간(Mn), 마그네슘(Mg), 아연(Zn), 구리(Cu)로 이루어진 그룹 중 적어도 2개 이상을 함유하는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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22
청구항 20에 있어서,
상기 자성체 물질은 철(Fe), 코발트(Co)이 포함된 합금을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전자기력을 이용한 다축 구동기
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