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유체의 유동저항을 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법을 이용한 원자현미경

  • 기술번호 : KST2015113277
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 유체의 유동저항을 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법을 이용한 원자현미경은 측정 대상인 시료가 안착되는 스테이지와, 외부에서 제공되는 유체를 중공의 연결부로 안내하여 상기 연결부 끝단부에 장착된 노즐팁을 통해 유체를 미세한 범위로 분사토록 하되, 상기 연결부 외주연에 연결관을 분기시켜 기능성 액체를 공급할 수 있도록 하고, 상기 기능성 액체는 외부에서 제공되는 유체와 합류시켜 노즐팁의 구멍을 통해 시료 표면의 특정 위치에 제한된 범위로 제공하거나, 상기 연결관에 설치한 펌프를 통해 진공압을 발생시켜 노즐팁의 구멍으로 시료의 특정 위치에 존재하는 대상을 흡입력으로 추출할 수 있도록 하는 노즐과, 상기 유체가 시료 표면으로 분사 후 충돌되어 발생하는 유동저항이 시료 표면의 지형에 따라 가변되는데, 이때 변화된 유동저항 값을 센싱하는 압력센서와, 상기 압력센서의 신호를 인가받아 가변되는 유동저항 값을 일정하기 유지시키기 위하여 노즐에서 유체가 분사되는 단부와 시료의 표면 사이 간격의 조절 및 스캐닝 작업을 가능하도록 시료를 안착한 스테이지를 X,Y,Z 방향으로 이동시키는 구동기와, 상기 구동기의 동작 수치를 컴퓨터 화면에 밝기로 나타내 시료의 표면의 형상, 부분의 굴곡도, 단면도, 입체도 및 각종 통계자료를 얻을 수 있도록 하는 출력부로 구성한다. 원자, 현미경, 유체, 유량, 유동저항
Int. CL G01Q 60/24 (2010.01) G02B 21/00 (2006.01) G01B 13/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020080119103 (2008.11.27)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0956165-0000 (2010.04.27)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20100519) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020090119289;
심사청구여부/일자 Y (2008.11.27)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성진 대한민국 대전광역시 유성구
2 김태영 대한민국 인천광역시 부평구
3 김동권 대한민국 서울특별시 동작구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 이노 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 ***, *층 (서초동, 신한국빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2008-0820231-20
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2009.04.21 수리 (Accepted) 1-1-2009-0241477-19
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.05.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.05.27 수리 (Accepted) 9-1-2009-0032632-07
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.06.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0239260-52
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.08.03 수리 (Accepted) 1-1-2009-0475252-19
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.09.03 수리 (Accepted) 1-1-2009-0542283-85
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.10.05 수리 (Accepted) 1-1-2009-0609735-14
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2009-0676445-38
10 지정기간연장관련안내서
Notification for Extension of Designated Period
2009.11.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0083346-67
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.12.03 수리 (Accepted) 1-1-2009-0748296-43
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.12.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0748258-18
13 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2009.12.03 수리 (Accepted) 1-1-2009-0748311-41
14 등록결정서
Decision to grant
2010.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0042411-10
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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표면 분석 측정 방법을 이용한 원자현미경에 있어서, 측정 대상인 시료가 안착되는 스테이지와, 외부에서 제공되는 유체를 중공의 연결부로 안내하여 상기 연결부 끝단부에 장착된 노즐팁을 통해 유체를 미세한 범위로 분사토록 하되, 상기 연결부 외주연에 연결관을 분기시켜 기능성 액체를 공급할 수 있도록 하고, 상기 기능성 액체는 외부에서 제공되는 유체와 합류시켜 노즐팁의 구멍을 통해 시료 표면의 특정 위치에 제한된 범위로 제공하거나, 상기 연결관에 설치한 펌프를 통해 진공압을 발생시켜 노즐팁의 구멍으로 시료의 특정 위치에 존재하는 대상을 흡입력으로 추출할 수 있도록 하는 노즐과, 상기 유체가 시료 표면으로 분사 후 충돌되어 발생하는 유동저항이 시료 표면의 지형에 따라 가변되는데, 이때 변화된 유동저항 값을 센싱하는 압력센서와, 상기 압력센서의 신호를 인가받아 가변되는 유동저항 값을 일정하기 유지시키기 위하여 노즐에서 유체가 분사되는 단부와 시료의 표면 사이 간격의 조절 및 스캐닝 작업을 가능하도록 시료를 안착한 스테이지를 X,Y,Z 방향으로 이동시키는 구동기와, 상기 구동기의 동작 수치를 컴퓨터 화면에 밝기로 나타내 시료의 표면의 형상, 부분의 굴곡도, 단면도, 입체도 및 각종 통계자료를 얻을 수 있도록 하는 출력부로 구성한 것을 특징으로 하는 유체의 유동저항을 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법을 이용한 원자현미경
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2 US8316693 US 미국 DOCDBFAMILY
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