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측정대상 시료 표면에 유체를 분사시키는 단계와,
상기 시료 표면에 유체가 충돌되면서 발생하는 유동저항의 가변 값을 환산하여 시료 표면의 지형을 분석하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유체의 유동저항을 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법
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제 1항에 있어서,
상기 유체 분사 단계이후,
상기 시료 표면에 충돌되는 유체의 유동저항 값이 최적의 시료 표면 지형 측정 구현을 가능하게 하는 유동저항 값인지 확인하여 구하는 단계가 더 포함됨을 특징으로 하는 유체의 유동저항을 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 유동저항 값을 구하는 단계 이후,
확인된 유동저항 값을 기준 값으로 셋팅하고, 유체를 통해 시료 표면 전체를 스캐닝하도록 시료를 X,Y축으로 이동시키는 단계가 더 포함됨을 특징으로 하는 유체의 유동저항을 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법
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제 1항 또는 제 3항에 있어서,
상기 시료를 이동시키는 단계 이후,
스캐닝이 진행되는 동안 시료 표면의 불규칙한 지형에 따라 가변되는 유동저항값이 셋팅된 유동저항 값으로 유지시킬 수 있도록 X,Y축 이동과 병행하여 Z축으로 시료의 위치를 가변시키는 단계가 더 포함됨을 특징으로 하는 유체의 유동저항을 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법
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제 4항에 있어서,
상기 시료를 Z축으로 이동시키는 단계 이후,
상기 시료의 X,Y,Z축 이동 범위를 수치로 환산하여 컴퓨터의 화면에 밝기로 나타내 시료 표면의 지형을 외부로 표시하는 단계가 더 포함됨을 특징으로 하는 유체의 유동저항을 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법
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제 2항에 있어서,
상기 최적의 유동저항 값을 구하기 위한 단계는, 유체가 분사되는 Z축 방향으로 시료를 단계적으로 이동시켜 각 이동수치에 대해 컴퓨터 화면 밝기로 시료 표면의 확대 화상을 구현하여 이중 최적의 확대 화상을 갖는 수치에 해당되는 유동저항 값이 최적의 값으로 셋팅될 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 유체의 유동저항을 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법
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제 1항에 있어서,
상기 유체는 변형이 쉽고 흐르는 성질을 갖는 액체나 기체로 이루어진 것을 특징으로 하는 유체의 유동저항을 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법
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표면 분석 측정 방법을 이용한 원자현미경에 있어서,
측정 대상인 시료가 안착되는 스테이지와,
시료의 표면에 유체를 분사시키는 노즐과,
상기 유체가 시료 표면으로 분사 후 충돌되어 발생하는 유동저항이 시료 표면의 지형에 따라 가변되는데, 이때 변화된 유동저항 값을 센싱하는 압력센서와,
상기 압력센서의 신호를 인가받아 가변되는 유동저항 값을 일정하기 유지시키기 위하여 노즐에서 유체가 분사되는 단부와 시료의 표면 사이 간격의 조절 및 스캐닝 작업을 가능하도록 시료를 안착한 스테이지를 X,Y,Z 방향으로 이동시키는 구동기와,
상기 구동기의 동작 수치를 컴퓨터 화면에 밝기로 나타내 시료의 표면의 형상, 부분의 굴곡도, 단면도, 입체도 및 각종 통계자료를 얻을 수 있도록 하는 출력부로 구성한 것을 특징으로 하는 유체의 유동저항을 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법을 이용한 원자현미경
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제 8항에 있어서,
상기 노즐은 구조물에 의해 수직으로 지지되어 스테이지 상부에 위치되고, 상기 노즐은 유량밸브에 의해 일정한 유량으로 제공되는 유체를 인가받아 시료 표면으로 유체를 분사시킬 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 유체의 유동저항을 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법을 이용한 원자현미경
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제 8항에 있어서,
상기 노즐은,
상기 유량밸브를 통해 제공되는 유체를 안내하는 라인과 직접 연결되는 중공의 연결부와,
상기 중공의 연결부 끝단에 연통되게 장착되어 유체를 미세한 범위로 분사 하도록 내부에 구멍이 형성된 노즐팁이 마련되어 구성한 것을 특징으로 하는 유체의 유동저항을 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법을 이용한 원자현미경
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제 8항에 있어서,
상기 노즐은 연결부 외주연에 연결관을 분기시켜 기능성 액체를 공급할 수 있도록 하고, 상기 기능성 액체는 유량밸브를 통해 공급되는 유체와 합류되어 노즐팁의 구멍을 통해 시료 표면의 특정 위치에 제한된 범위로 제공됨을 더 포함한 것을 특징으로 하는 유체의 유동저항을 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법을 이용한 원자현미경
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