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십자형 구조 조명 선형 패턴을 이용한 구조 조명 공초점 현미경

  • 기술번호 : KST2015113965
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 선형(linear)의 광이 서로 수직 교차되는 조명광을 출사하는 광생성부, 상기 광생성부에서 출사된 광을 분리하는 빔스플리터, 상기 빔스플리터를 통과한 서로 수직 교차되는 조명광을 스캐닝 미러를 통해 스캐닝하고, 이를 대물렌즈를 통해 측정대상물에 조사한 후 반사 및 산란되는 광을 다시 전달하는 측정부 및 상기 측정부로부터 반사되는 광을 획득하여 대상물을 측정하는 검출부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 시편 또는 패턴의 회전 없이 한번에 조명하고, 복수개의 스캐닝 미러가 독립적으로 스캐닝함으로써 고속으로 영상을 획득할 수 있는 이점이 있다.
Int. CL G02B 21/00 (2006.01) G02B 21/06 (2006.01) G01B 9/04 (2006.01)
CPC G02B 21/0032(2013.01) G02B 21/0032(2013.01) G02B 21/0032(2013.01) G02B 21/0032(2013.01)
출원번호/일자 1020100013238 (2010.02.12)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1117501-0000 (2012.02.10)
공개번호/일자 10-2011-0093291 (2011.08.18) 문서열기
공고번호/일자 (20120307) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.02.12)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권대갑 대한민국 대전광역시 유성구
2 안명기 대한민국 서울특별시 동작구
3 김영덕 대한민국 울산광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 공인복 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로**길*-**, 대송빌딩 *층(특허법인 대한(서초분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2010-0096090-09
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.05.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.06.16 수리 (Accepted) 9-1-2011-0050353-33
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.07.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0404982-83
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.09.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0731418-99
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0731416-08
7 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0678077-81
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
선형(linear)의 광이 서로 수직 교차되는 조명광을 출사하는 광생성부;상기 광생성부에서 출사된 광을 분리하거나 측정대상물에서 반사되는 광을 분리하는 빔스플리터;상기 빔스플리터를 통과한 서로 수직 교차되는 조명광을 스캐닝 미러를 통해 스캐닝하고, 이를 대물렌즈를 통해 측정대상물에 조사한 후 반사 및 산란되는 광을 다시 전달하는 측정부; 및상기 측정부로부터 반사되는 광을 획득하여 대상물을 측정하는 검출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 십자형 구조 조명 선형 패턴을 이용한 구조 조명 공초점 현미경
2 2
제 1항에 있어서, 상기 광생성부는,광을 출사하는 광소자;상기 광소자 선단으로 구비되어 출사되는 광의 편광을 무작위(randomization)로 변화시키는 감극제(depolarizer);상기 감극제를 통과한 광을 회절시키기 위해 격자형상을 갖는 회절격자;상기 회절격자에서 회절된 광을 푸리에 변환을 통해 포커싱하는 푸리에 변환렌즈;0차 빔은 차단하고 ±1차 빔만 통과시키는 공간필터;상기 공간필터를 통과한 광을 평행광으로 생성하는 이미징 렌즈; 및상기 이미징 렌즈를 통과한 광을 선형(linear)의 광이 서로 수직 교차되도록 십자형 광을 생성하는 십자형 공간필터;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 십자형 구조 조명 선형 패턴을 이용한 구조 조명 공초점 현미경
3 3
제 2항에 있어서, 상기 광생성부는,상기 이미징 렌즈 후단으로 구비되어 S파 편광을 생성하는 제 1편광판과 제 2편광판;상기 제 1편광판과 제 2편광판 후단에 구비되어 편광판을 통과한 조명광을 선형(linear) 조명으로 생성하는 제 1실린더 렌즈와 제 2실린더 렌즈;상기 이미징 렌즈 후단으로 구비되어 P파 편광을 생성하는 제 3편광판과 제 4편광판; 및상기 제 3편광판과 제 4편광판 후단에 구비되어 편광판을 통과한 조명광을 선형(linear) 조명으로 생성하는 제 3실린더 렌즈와 제 4실린더 렌즈;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 십자형 구조 조명 선형 패턴을 이용한 구조 조명 공초점 현미경
4 4
제 1항에 있어서, 상기 스캐닝 미러는,상기 광생성부에서 출사된 직교하는 선형 조명을 독립적으로 스캐닝 하기 위해 독립적으로 구비되는 것을 특징으로 하는 십자형 구조 조명 선형 패턴을 이용한 구조 조명 공초점 현미경
5 5
제 2항에 있어서, 상기 측정부는,상기 콜리메이팅 렌즈에 의해서 포커싱된 빔을 다시 평행빔으로 만들고, 상기 스캐닝 미러의 구동에 의해 발생되는 광학 수차를 보정하는 스캔 렌즈;와,상기 스캔 렌즈를 통과한 평행빔을 상기 대물렌즈의 후구경(Back Apeture)에 2개의 선(line) 형태로 포커싱 해주며, 상기 스캐닝 미러의 구동에 의해 발생되는 광학 수차를 보정하는 튜브렌즈;를 포함하는 것을 특징으로 하는 십자형 구조 조명 선형 패턴을 이용한 구조 조명 공초점 현미경
6 6
제 1항에 있어서, 상기 검출부는,상기 빔스플리터에서 반사되는 광을 입사받아 S파 측정광과 P파 측정광으로 분리하는 편광 빔스플리터;상기 편광 빔스플리터에서 분리된 S파 측정광을 포커싱하는 제 1포커싱렌즈;상기 제 1포커싱렌즈에서 포커싱된 S파 측정광을 입사받아 검출하는 제 1CCD;상기 편광 빔스플리터에서 분리된 P파 측정광을 포커싱하는 제 2 포커싱렌즈; 및상기 제 2포커싱렌즈에서 포커싱된 P파 측정광을 입사받아 검출하는 제 2CCD;를 포함하는 것을 특징으로 하는 십자형 구조 조명 선형 패턴을 이용한 구조 조명 공초점 현미경
7 7
제 6항에 있어서, 상기 제 1CCD와 제 2CCD는,라인 CCD카메라인 것을 특징으로 하는 십자형 구조 조명 선형 패턴을 이용한 구조 조명 공초점 현미경
8 8
제 2항에 있어서, 상기 광소자는,레이저 다이오드인 것을 특징으로 하는 십자형 구조 조명 선패턴을 이용한 구조 조명 공초점 현미경
9 9
제 2항에 있어서, 상기 공간필터는,±1차 빔만 통과하도록 4개의 홀이 형성된 것을 특징으로 하는 십자형 구조 조명 선패턴을 이용한 구조 조명 공초점 현미경
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.