1 |
1
경사면을 갖는 개구부를 구비하는 제1 전극;
상기 제1 전극의 상기 개구부 상에서 상기 경사면에 대하여 소정의 각도를 갖도록 탄성적으로 지지되며, 상기 개구부를 차단하는 제1 위치 및 상기 개구부를 개방하는 제2 위치 사이에서 회전이동 가능한 제2 전극; 및
제1 및 제2 전극들에 연결되며, 상기 제1 및 제2 전극들 사이에 상기 제2 전극의 공진을 일으킬 수 있는 입력 주파수를 갖는 교류 전압을 인가하여 상기 제2 전극을 상기 제1 전극으로 진동하면서 이동시키는 전원 공급부를 포함하고,
상기 제2 전극은 상기 제1 위치에서 상기 경사면에 대하여 제1 각도를 가지며, 상기 제2 위치에서 상기 경사면에 대하여 상기 제1 각도보다 작은 제2 각도를 갖는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동기
|
2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 입력 주파수는 상기 제2 전극의 공진 주파수 또는 상기 공진 주파수의 절반인 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동기
|
3 |
3
삭제
|
4 |
4
제 1 항에 있어서,
상기 제1 전극 상에서 상기 개구부의 상부에 인접하게 위치하는 지지 패턴; 및
상기 지지 패턴 및 상기 제2 전극을 탄성적으로 연결시키는 적어도 하나의 탄성체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동기
|
5 |
5
제 4 항에 있어서, 상기 탄성체는 비틀림 탄성체 또는 굽힘 탄성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동기
|
6 |
6
제 1 항에 있어서, 상기 제1 전극의 상기 경사면 상에는 절연막 또는 절연 스페이서가 형성되는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동기
|
7 |
7
제 1 항에 있어서, 상기 제2 전극의 하부면 상에는 절연막 또는 절연 스페이서가 형성되는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동기
|
8 |
8
제 1 항에 있어서, 상기 전원 공급부는
상기 제1 및 제2 전극들 사이에 직류 전압을 인가하는 제1 전원부; 및
상기 제1 및 제2 전극들 사이에 상기 입력 주파수를 갖는 교류 전압을 인가하는 제2 전원부를 포함하는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동기
|
9 |
9
제 8 항에 있어서, 상기 제1 전원부는 상기 제1 전극에 연결되어 상기 제1 전극에 직류 전압을 인가하고, 상기 제2 전원부는 상기 제2 전극에 연결되어 상기 제2 전극에 교류 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동기
|
10 |
10
제 8 항에 있어서, 상기 제1 전원부는 상기 제2 전극에 연결되어 상기 제2 전극에 직류 전압을 인가하고, 상기 제2 전원부는 상기 제1 전극에 연결되어 상기 제1 전극에 교류 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동기
|
11 |
11
제 8 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 전원부들은 상기 제2 전극에 연결되어 상기 제2 전극에 직류 전압과 교류 전압을 인가하고, 상기 제1 전극은 접지되는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동기
|
12 |
12
제 8 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 전원부들은 상기 제1 전극에 연결되어 상기 제1 전극에 직류 전압과 교류 전압을 인가하고, 상기 제2 전극은 접지되는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동기
|
13 |
13
제 1 항에 있어서, 상기 제1 전극의 개구부는 적어도 2개의 경사면들을 갖고, 상기 제2 전극은 적어도 2개가 구비되며, 상기 2개의 제2 전극들 각각은 대응하는 상기 2개의 경사면들 각각에 대하여 소정의 각도를 갖도록 탄성적으로 지지되는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동기
|
14 |
14
제 13 항에 있어서, 상기 2개의 경사면들은 서로 마주보도록 배치되는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동기
|
15 |
15
제 1 항에 있어서, 상기 제1 전극 상에 형성되며 상기 제2 전극이 공진 이동할 때 공간을 확보하기 위한 버퍼 패턴을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동기
|
16 |
16
제 1 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 전극들 상부에 위치하는 제1 기판; 및
상기 제1 전극 하부에 위치하는 제2 기판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동기
|
17 |
17
경사면을 갖는 개구부를 각각 구비하며, 다수개의 셀들을 형성하기 위하여 매트릭스 형태로 배열되는 다수개의 제1 전극들;
상기 제1 전극의 상기 개구부 상에서 상기 경사면에 대하여 소정의 각도를 갖도록 탄성적으로 각각 지지되며, 상기 개구부를 차단하는 제1 위치와 상기 개구부를 개방하는 제2 위치 사이에서 회전이동 가능한 다수개의 제2 전극들; 및
상기 제2 전극들에 연결되며, 상기 셀들 중에서 선택된 셀의 상기 제2 전극들에 어드레스 신호를 제공하기 위한 연결 라인들을 포함하며,
상기 제1 및 제2 전극들 사이에는 상기 제2 전극의 공진을 일으킬 수 있는 입력 주파수를 갖는 교류 전압이 인가되어 상기 제2 전극이 상기 제1 전극으로 진동하면서 이동하고,
상기 제2 전극은 상기 제1 위치에서 상기 경사면에 대하여 제1 각도를 가지며, 상기 제2 위치에서 상기 경사면에 대하여 상기 제1 각도보다 작은 제2 각도를 갖는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동 어레이
|
18 |
18
제 17 항에 있어서, 상기 연결 라인 상에 형성되며, 특정 셀 영역에 가해지는 소정의 정보를 검출하기 위한 센싱 구조물을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동 어레이
|
19 |
19
제 18 항에 있어서, 상기 센싱 구조물은 저항 센서, 정전용량 센서 또는 광 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동 어레이
|
20 |
20
제 17 항에 있어서, 상기 제1 전극들 상에 형성되며 상기 제2 전극이 공진 이동할 때 공간을 확보하기 위한 다수개의 버퍼 패턴들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동 어레이
|
21 |
21
제 20 항에 있어서, 상기 버퍼 패턴 상에 형성되며, 특정 셀 영역에 가해지는 소정의 정보를 검출하기 위한 센싱 구조물을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동 어레이
|
22 |
22
제 21 항에 있어서, 상기 센싱 구조물은 저항 센서, 정전용량 센서 또는 광 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동 어레이
|
23 |
23
제 17 항에 있어서, 상기 제1 전극들 및 상기 제2 전극들 상부에 위치하는 제1 기판; 및
상기 제1 전극들 하부에 위치하는 제2 기판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동 어레이
|
24 |
24
제 23 항에 있어서, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이의 압력은 대기압보다 낮은 저진공 또는 진공 상태인 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동 어레이
|
25 |
25
제 23 항에 있어서, 상기 제1 기판의 하부면 상에 형성되며, 특정 셀 영역에 가해지는 소정의 정보를 검출하기 위한 센싱 구조물을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동 어레이
|
26 |
26
제 25 항에 있어서, 상기 센싱 구조물은 저항 센서, 정전용량 센서 또는 광 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 공진형 회전이동 구동 어레이
|