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회전형 단면 시편 제조 장치

기술번호 : KST2015114889
담당센터 : 대전기술혁신센터
전화번호 : 042-610-2279

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 주사 전자현미경(SEM: Scanning Electron Microscope) 분석용 시편을 제조할 수 있는 회전형 단면 시편 제조 장치에 관한 것으로서, 내부에 수용 공간이 형성되는 챔버; 상기 챔버에 설치되고, 회전축을 기준으로 방사선상에 복수개의 시편이 등각 배치되어 상기 시편이 상기 수용 공간 안에서 상기 회전축을 중심으로 회전 경로를 따라 여러 각도로 회전 이동될 수 있도록 상기 시편을 지지하는 회전 장치; 및 상기 회전 경로를 따라 회전 이동된 복수개의 시편의 일면에 각각 빔을 조사할 수 있도록 상기 챔버에 설치되는 복수개의 밀링기;를 포함할 수 있다.
Int. CL	G01N 1/28 (2006.01) G01N 1/06 (2006.01)
CPC	G01N 1/286(2013.01) G01N 1/286(2013.01) G01N 1/286(2013.01)
출원번호/일자	1020140034002 (2014.03.24)
출원인	한국과학기술원
등록번호/일자	10-1551339-0000 (2015.09.02)
공개번호/일자
공고번호/일자	(20150908) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2014.03.24)
심사청구항수	9

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	한국과학기술원	대한민국	대전광역시 유성구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	손우식	대한민국	대전광역시 유성구
2	유정호	대한민국	대전광역시 유성구
3	양준모	대한민국	대전광역시 유성구
4	현문섭	대한민국	대전광역시 유성구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	김남식	대한민국	서울특별시 서초구 남부순환로**길 -, 층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2	한윤호	대한민국	서울특별시 강남구 테헤란로길 (삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
3	양기혁	대한민국	서울특별시 강남구 테헤란로길 (삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
4	이인행	대한민국	서울특별시 서초구 남부순환로**길 -, 층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	한국과학기술원	대한민국	대전광역시 유성구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2014.03.24	수리 (Accepted)	1-1-2014-0279321-92
2	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5157993-01
3	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5157968-69
4	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5158129-58
5	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2015.03.10	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
6	[출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment	2015.04.07	수리 (Accepted)	1-1-2015-0339802-72
7	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2015.04.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2015-0027043-65
8	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2015.05.14	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2015-0317403-00
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2015.05.22	수리 (Accepted)	1-1-2015-0495909-73
10	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2015.05.22	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2015-0495908-27
11	등록결정서 Decision to grant	2015.08.17	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2015-0549104-83
12	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.04.24	수리 (Accepted)	4-1-2019-5081392-49
13	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.05.15	수리 (Accepted)	4-1-2020-5108396-12
14	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.06.12	수리 (Accepted)	4-1-2020-5131486-63

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 내부에 수용 공간이 형성되는 챔버;상기 챔버에 설치되고, 회전축을 기준으로 방사선상에 복수개의 시편이 등각 배치되어 상기 시편이 상기 수용 공간 안에서 상기 회전축을 중심으로 회전 경로를 따라 여러 각도로 회전 이동될 수 있도록 상기 시편을 지지하는 회전 장치; 및상기 회전 경로를 따라 회전 이동된 복수개의 시편의 일면에 각각 빔을 조사할 수 있도록 상기 챔버에 설치되는 복수개의 밀링기;를 포함하고,상기 회전 장치는,상기 챔버의 외부에 설치되고, 상기 회전축을 회전시키는 회전 모터;상기 챔버의 내부에 설치되고, 위에서 볼 때, 상기 회전축을 기준으로 상기 회전축으로부터 방사선상으로 120도 등각 돌출되는 3개의 회전암들;상기 회전암들의 선단에 각각 설치되는 마운트들;상기 마운트들에 설치되고, 상기 시편들이 각각 안착되는 마운트 헤드들; 및상기 시편과 상기 밀링기 사이에 설치되도록 상기 마운트 헤드에 고정되는 마스크들;을 포함하는, 회전형 단면 시편 제조 장치
2	2 제 1 항에 있어서,상기 밀링기는,제 1 전압 또는 제 1 전류로 구동되어 제 1 밀링 속도를 갖는 제 1 밀링기;제 2 전압 또는 제 2 전류로 구동되어 제 2 밀링 속도를 갖는 제 2 밀링기; 및제 3 전압 또는 제 3 전류로 구동되어 제 3 밀링 속도를 갖는 제 3 밀링기;를 포함하는, 회전형 단면 시편 제조 장치
3	3 제 2 항에 있어서,상기 제 1 밀링기는, 1 내지 8 kV 이상의 고전압 또는 고전류로 구동되는 적어도 하나의 고속 러프 밀링기이고,상기 제 2 밀링기는, 1 내지 10kV 미만의 중전압 또는 중전류로 구동되는 적어도 하나의 중속 일반 밀링기이고,상기 제 3 밀링기는, 100 V 내지 8kV 미만의 저전압 또는 저전류로 구동되는 적어도 하나의 저속 정밀 밀링기인, 회전형 단면 시편 제조 장치
4	4 제 2 항에 있어서,상기 제 1 밀링기는, 상기 제 1 시편에 제 1 빔을 조사하고,상기 제 2 밀링기는, 상기 제 2 시편에 제 2 빔을 조사하며,상기 제 3 밀링기는, 상기 제 3 시편에 제 3 빔을 조사하고,상기 제 1 밀링기의 상기 제 1 빔의 조사 각도를 조절하는 제 1 각도 조절 장치;상기 제 2 밀링기의 상기 제 2 빔의 조사 각도를 조절하는 제 2 각도 조절 장치; 및상기 제 3 밀링기의 상기 제 3 빔의 조사 각도를 조절하는 제 3 각도 조절 장치;를 더 포함하는, 회전형 단면 시편 제조 장치
5	5 제 2 항에 있어서,상기 제 1 밀링기는, 상기 제 1 시편에 제 1 빔을 조사하고,상기 제 2 밀링기는, 상기 제 2 시편에 제 2 빔을 조사하며,상기 제 3 밀링기는, 상기 제 3 시편에 제 3 빔을 조사하고,상기 제 1 밀링기의 상기 제 1 빔의 조사 높이를 조절하는 제 1 높이 조절 장치;상기 제 2 밀링기의 상기 제 2 빔의 조사 높이를 조절하는 제 2 높이 조절 장치; 및상기 제 3 밀링기의 상기 제 3 빔의 조사 높이를 조절하는 제 3 높이 조절 장치;를 더 포함하는, 회전형 단면 시편 제조 장치
6	6 제 2 항에 있어서,상기 제 1 밀링기, 상기 제 2 밀링기 및 상기 제 3 밀링기는, 이온 빔 밀링기 또는 레이져 밀링기인, 회전형 단면 시편 제조 장치
7	7 삭제
8	8 제 1 항에 있어서,상기 마운트 헤드들은, 옆에서 볼 때, 상기 시편들이 아래를 향하여 기울임 각도로 경사지도록 설치되는 것인, 회전형 단면 시편 제조 장치
9	9 제 1 항에 있어서,상기 마운트 헤드들은 고정구를 이용하여 상기 마운트들에 착탈가능하게 고정되고, 높이조절이 가능하도록 높이조절장치가 설치되는 것인, 회전형 단면 시편 제조 장치
10	10 제 1 항에 있어서,상기 회전 장치에 제 1 각도 회전 제어 신호를 인가하고, 이어서 상기 밀링기에 1차 구동 제어 신호를 인가하며, 상기 회전 장치에 제 2 각도 회전 제어 신호를 인가하고, 이어서 상기 밀링기에 2차 구동 제어 신호를 인가하며, 상기 회전 장치에 제 3 각도 회전 제어 신호를 인가하고, 이어서 상기 밀링기에 3차 구동 제어 신호를 인가하는 제어부;를 더 포함하는 회전형 단면 시편 제조 장치

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	KR101522875	KR	대한민국	FAMILY
2	WO2015122713	WO	세계지적재산권기구(WIPO)	FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다

순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	미래창조과학부	나노종합기술원	한국과학기술원 부설 나노종합기술원 지원	공정고도화 지원(nnfc-o-01)

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-1551339-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20140324 출원 번호 : 1020140034002 공고 연월일 : 20150908 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20150817 청구범위의 항수 : 9 유별 : G01N 1/06 발명의 명칭 : 회전형 단면 시편 제조 장치 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	198,000 원	2015년 09월 03일	납입
제 4 년분	금 액	119,000 원	2018년 08월 03일	납입
제 5 년분	금 액	119,000 원	2019년 06월 25일	납입
제 6 년분	금 액	119,000 원	2020년 07월 03일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2014.03.24	수리 (Accepted)	1-1-2014-0279321-92
2	출원인정보변경(경정)신고서	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5157993-01
3	출원인정보변경(경정)신고서	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5157968-69
4	출원인정보변경(경정)신고서	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5158129-58
5	선행기술조사의뢰서	2015.03.10	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
6	[출원서등 보정]보정서	2015.04.07	수리 (Accepted)	1-1-2015-0339802-72
7	선행기술조사보고서	2015.04.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2015-0027043-65
8	의견제출통지서	2015.05.14	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2015-0317403-00
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2015.05.22	수리 (Accepted)	1-1-2015-0495909-73
10	[명세서등 보정]보정서	2015.05.22	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2015-0495908-27
11	등록결정서	2015.08.17	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2015-0549104-83
12	출원인정보변경(경정)신고서	2019.04.24	수리 (Accepted)	4-1-2019-5081392-49
13	출원인정보변경(경정)신고서	2020.05.15	수리 (Accepted)	4-1-2020-5108396-12
14	출원인정보변경(경정)신고서	2020.06.12	수리 (Accepted)	4-1-2020-5131486-63

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