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자외선램프가장착된유도결합플라즈마구리식각장치

  • 기술번호 : KST2015114913
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 자외선램프가 장착된 유도결합 플라즈마 구리식각장치에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 낮은 온도에서의 구리의 식각율을 높일 수 있으며 대면적의 웨이퍼에도 효과적으로 사용할 수 있도록 유도결합 플라즈마 장치에 자외선 방사수단을 장착한 구리식각장치 및 전기 장치를 이용하여 구리를 식각하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 구리식각장치는 공정쳄버 내에 유전체창, 안테나 및 라디오파 차단모가 형성되고 할로겐가스와 구리의 반응생성물을 탈착하여 웨이퍼의 구리를 식각하는 유도결합 플라즈마 구리식각장치에 있어서, 웨이퍼에 자외선을 방사하기 위한 자외선램프 ; 전기한 유전체창을 자외선투과가 가능하도록 구성한 투사유전체창 ; 전기한 유전체창을 자외선투과가 가능하도록 구성한 투사유전체창 ; 및, 전기한 자외선램프에서 방사된 빛의 최대량을 웨이퍼에 입사시키기 위한 평행광용 자외선거울로 구성된 자외선 방사수단이 장착된 것을 특징으로 하며, 본 발명의 구리식각방법은 할로겐가스와 구리의 반응생성물을 탈착하여 웨이퍼의 구리를 식각하는 유도결합 플라즈마에 의한 구리식각시, 전기 구리식각장치의 자외선 방사수단에 의해 자외선을 입사하여 반응생성물의 탈착에 필요한 에너지를 인가하는 과정을 포함한다.
Int. CL H01J 37/32 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01)
CPC H01J 37/32321(2013.01) H01J 37/32321(2013.01) H01J 37/32321(2013.01) H01J 37/32321(2013.01)
출원번호/일자 1019950002234 (1995.02.08)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0149772-0000 (1998.06.09)
공개번호/일자 10-1996-0032634 (1996.09.17) 문서열기
공고번호/일자 (19981201) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1995.02.08)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 허성회 대한민국 서울특별시강남구
2 최강식 대한민국 경기도의정부시
3 한철희 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이한영 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 ** (서초동, 아트스페이스 ***빌딩 *층)(리앤리국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1995.02.08 수리 (Accepted) 1-1-1995-0010108-17
2 특허출원서
Patent Application		 1995.02.08 수리 (Accepted) 1-1-1995-0010106-26
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1995.02.08 수리 (Accepted) 1-1-1995-0010107-72
4 등록사정서
Decision to grant		 1998.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1995-0005062-81
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.06.21 수리 (Accepted) 4-1-1999-0085486-82
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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공정쳄버 내에 유전체창, 안테나 및 라디오파 차단모가 형성되고 할로겐가스와 구리의 반응생성물을 탈착하여 웨이퍼의 구리를 식각하는 유도결합 플라즈마 구리식각장치에 있어서, 웨이퍼에 자외선을 방사하기 위한 자외선램프 ; 전기한 유전체창을 자외선투과가 가능하도록 구성한 투사유전체창 ; 및 전기한 자외선램프에서 방사된 빛의 최대량을 웨이퍼에 입사시키기 위한 평행광용 자외선거울로 구성된 자외선 방사수단이 장착된 것을 특징으로 하는 유도결합 플라즈마 구리식각장치

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할로겐가스와 구리의 반응생성물을 탈착하여 웨이퍼의 구리를 식각하는 유도결합 플라즈마에 의한 구리식각시, 웨이퍼에 자외선을 방사하기 위한 자외선램프 ; 자외선투과가 가능하도록 구성한 투사유전체창 ; 및, 전기한 자외선램프에서 방사된 빛의 최대량을 웨이퍼에 입사시키기 위한 평행광용 자외선거울로 구성된 자외선 방사수단에 의해 자외선을 입사하여 반응생성물의 탈착에 필요한 에너지를 인가하는 과정을 포함하는 구리식각방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.