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유기 기상젯 프린터 및 그것을 이용한 유기막 형성 방법

  • 기술번호 : KST2020005528
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 기상젯 프린터는 다수의 노즐이 일 열로 배열된 제1노즐열과, 다수의 노즐이 이 제1노즐열의 노즐들에 비해 노즐 직경을 넘지 않는 범위 내에서 소정 간격 어긋나게 쉬프트되어 배치된 제2노즐열을 포함하는 분사부를 포함한다.
Int. CL H01L 51/56 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 51/00 (2006.01.01)
CPC H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01)
출원번호/일자 1020180136037 (2018.11.07)
출원인 삼성디스플레이 주식회사, 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0053072 (2020.05.18) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성디스플레이 주식회사 대한민국 경기 용인시 기흥구
2 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박간영 경기도 용인시 기흥구
2 김성연 대전광역시 유성구
3 유승협 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2018-1105647-52
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5016605-77
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
증기상의 유기물을 수용하는 프린터 본체와, 상기 증기상의 유기물을 제1방향으로 상대이동하는 대상체를 향해 분사하는 분사부를 포함하며,상기 분사부는 다수의 노즐이 상기 제1방향과 수직인 제2방향을 따라 배치된 제1노즐열과, 다수의 노즐이 상기 제1노즐열의 노즐들에 비해 상기 제2방향으로 소정 간격 쉬프트되어 상기 노즐들의 직경을 넘지 않는 범위 내에서 어긋나게 배치된 제2노즐열을 포함하는 유기 기상젯 프린터
2 2
제 1 항에 있어서,상기 소정 간격은 상기 제1노즐열의 노즐 중심과 상기 제2노즐열의 노즐 중심 간의 어긋난 거리를 나타내는 유기 기상젯 프린터
3 3
제 2 항에 있어서,상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, 0
4 4
제 2 항에 있어서,상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, d = 0
5 5
제 1 항에 있어서,상기 제1노즐열의 노즐들에 비해 상기 제2노즐열과 반대방향으로 소정 간격 쉬프트되어 상기 노즐들의 직경을 넘지 않는 범위 내에서 어긋나게 배치된 제3노즐열을 더 포함하는 상기 유기 기상젯 프린터
6 6
제 5 항에 있어서,상기 소정 간격은 상기 제1노즐열의 노즐 중심과 상기 제2노즐열의 노즐 중심 간의 어긋난 거리 및, 상기 제1노즐열의 노즐 중심과 상기 제3노즐열의 노즐 중심 간의 어긋난 거리를 나타내는 유기 기상젯 프린터
7 7
제 6 항에 있어서,상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, 0
8 8
제 6 항에 있어서,상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, d = 0
9 9
제 1 항에 있어서,상기 프린터 본체에는 유기물이 담긴 도가니와, 상기 유기물이 증기상이 되도록 상기 도가니를 가열하는 히터 및, 상기 증기상의 유기물을 상기 분사부로 수송하는 캐리어 기체의 이동경로인 송풍로가 구비된 유기 기상젯 프린터
10 10
제 9 항에 있어서,상기 히터는 상기 프린터 본체의 외부와 상기 도가니 중 어느 하나에 감긴 열선을 포함하는 유기 기상젯 프린터
11 11
대상체의 상대이동 방향인 제1방향과 수직인 제2방향을 따라 다수의 노즐이 배치된 제1노즐열과, 다수의 노즐이 상기 제1노즐열의 노즐들에 비해 상기 제2방향으로 소정 간격 쉬프트되어 상기 노즐들의 직경을 넘지 않는 범위 내에서 어긋나게 배치된 제2노즐열을 포함하는 분사부를 가진 유기 기상젯 프린터를 준비하는 단계;대상체를 상기 제1방향으로 상대이동시키는 단계; 및상기 대상체에 상기 제1노즐열과 상기 제2노즐열에서 증기상의 유기물을 분사하여 유기막을 형성하는 단계;를 포함하는 유기막 형성 방법
12 12
제 11 항에 있어서,상기 소정 간격은 상기 제1노즐열의 노즐 중심과 상기 제2노즐열의 노즐 중심 간의 어긋난 거리를 나타내는 유기막 형성 방법
13 13
제 12 항에 있어서,상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, 0
14 14
제 12 항에 있어서,상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, d = 0
15 15
제 11 항에 있어서,상기 유기 기상젯 프린터에 상기 제1노즐열의 노즐들에 비해 상기 제2노즐열과 반대방향으로 소정 간격 쉬프트되어 상기 노즐들의 직경을 넘지 않는 범위 내에서 어긋나게 배치된 제3노즐열을 준비하는 단계를 더 포함하는 유기막 형성 방법
16 16
제 15 항에 있어서,상기 소정 간격은 상기 제1노즐열의 노즐 중심과 상기 제2노즐열의 노즐 중심 간의 어긋난 거리 및, 상기 제1노즐열의 노즐 중심과 상기 제3노즐열의 노즐 중심 간의 어긋난 거리를 나타내는 유기막 형성 방법
17 17
제 16 항에 있어서,상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, 0
18 18
제 16 항에 있어서,상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, d = 0
19 19
제 11 항에 있어서,상기 유기 기상젯 프린터에 유기물이 담긴 도가니와, 상기 유기물이 증기상이 되도록 상기 도가니를 가열하는 히터 및, 상기 증기상의 유기물을 상기 분사부로 수송하는 캐리어 기체의 이동경로인 송풍로를 준비하는 단계를 더 포함하는 유기막 형성 방법
20 20
제 19 항에 있어서,상기 히터는 상기 유기 기상젯 프린터의 외부와 상기 도가니 중 어느 하나에 감긴 열선을 포함하는 유기막 형성 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.