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유연기구 메커니즘을 이용한 3축 면외방향 운동 스테이지

  • 기술번호 : KST2015115946
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 정확한 면외방향 운동을 수행하도록 대칭형 증폭구조 및 유연 복합 힌지구조를 가지는 3축 면외방향 운동 스테이지에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 복수의 유연 복합 힌지구조를 가지고, 일축 방향의 직선운동이 가능한 제 1 내지 제 4 구동부와, 상기 구동부들이 설치되는 베이스 및 상기 구동부들에 의해 상기 축 방향들로 운동하는 최종단을 포함하여, 기존의 유연기구 메커니즘의 구조와 다른 형태의 유연기구 메커니즘을 가짐으로써, 기존의 스테이지들보다 큰 강성과 소형의 사이즈를 가지는 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 면외방향 운동 스테이지가 제공된다.
Int. CL B23Q 3/18 (2006.01) H01L 21/683 (2006.01) G12B 5/00 (2006.01)
CPC H01L 21/68764(2013.01) H01L 21/68764(2013.01)
출원번호/일자 1020120069890 (2012.06.28)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1340033-0000 (2013.12.04)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20131210) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.06.28)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권대갑 대한민국 대전 유성구
2 이학준 대한민국 대전 유성구
3 김현창 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.06.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-0517297-20
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.03.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.04.03 수리 (Accepted) 9-1-2013-0022706-25
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0661529-09
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.11.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1003594-88
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.11.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-1003592-97
8 등록결정서
Decision to grant
2013.11.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0794584-85
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유연기구 메커니즘을 이용한 3축 면외방향 운동 스테이지에 있어서, 시편이 위치되는 시편장착부가 형성된 최종단; 상기 스테이지 본체를 형성하고 상단에 상기 최종단이 결합되는 베이스; 및 상기 베이스 내부에 설치되어 상기 최종단의 면외방향 운동을 생성하는 다수의 구동부를 포함하고,상기 구동부는 압전소자를 포함하는 한 쌍의 증폭 메커니즘(amplification mechanisms); 및 상기 증폭 메커니즘의 상단에 설치되어 상기 증폭 메커니즘과 상기 최종단을 연결하는 힌지부를 각각 포함하며,상기 증폭 메커니즘은, 2개의 브리지 구조(bridge structure) 사이에 PZT 액츄에이터(piezoelectric actuator)가 위치되어 이루어지는 더블 브리지 증폭 메커니즘(Double bridge amplification mechanism)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 면외방향 운동 스테이지
2 2
제 1항에 있어서, 상기 구동부는, 상기 베이스의 바닥면에 배치되는 제 1 구동부; 상기 제 1 구동부와 축 대칭으로 배치되는 제 2 구동부; 상기 제 1 구동부와 직교하는 축상에 배치되는 제 3 구동부; 상기 제 3 구동부와 축 대칭으로 배치되는 제 4 구동부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 면외방향 운동 스테이지
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제 1항에 있어서, 상기 베이스는, 센서가 위치되는 센서 고정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 면외방향 운동 스테이지
6 6
제 5항에 있어서, 상기 센서 고정부는, 상기 최종단의 변위를 측정하기 위한 커패시턴스 센서(Capacitance sensor)가 설치되는 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 면외방향 운동 스테이지
7 7
제 6항에 있어서, 상기 커패시턴스 센서에 의해 측정된 상기 최종단의 변위를 통하여 상기 최종단의 중심 부분의 Z축, θX축, θY축의 변위를 각각 계산하도록 구성된 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 면외방향 운동 스테이지
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청구항 1항 내지 2항 및 청구항 5항 내지 7항 중 어느 한 항에 기재된 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 면외방향 운동 스테이지를 이용하여 구성된 것을 특징으로 하는 측정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국생산기술연구원 신성장동력장비경쟁력강화사업 미세진동 제어를 고려한 초정밀 위치 결정 기술 개발