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대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지

  • 기술번호 : KST2015112691
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 하부 판, 하부 판 상에 부착된 복수의 고정부, 고정부 각각에 수평으로 부착된 복수의 구동부, 및 복수의 구동부 상에 얹혀지는 상부 판을 포함하고, 복수의 구동부 각각은 수평 방향 브릿지(bridge) 구조체, 수평 방향 브릿지 구조체에 일방향 대각선으로 내접하고 전압원에 연결된 압전 소자, 및 수평 방향 브릿지 구조체에 일방향에 수직인 타방향 대각선으로 연결되고 상측으로 돌출된 수직 방향 반-브릿지 구조체로 구성되는 금형 셋업을 위한 틸트 스테이지를 제공한다.LCD, LGP, 금형, 틸팅, 압전소자, 브릿지구조, 증폭
Int. CL G12B 5/00 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC G12B 5/00(2013.01) G12B 5/00(2013.01)
출원번호/일자 1020070001842 (2007.01.08)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0816456-0000 (2008.03.18)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080326) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.01.08)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양민양 대한민국 대전 유성구
2 김종수 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2007-0014638-25
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.08.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.09.17 수리 (Accepted) 9-1-2007-0057027-44
4 등록결정서
Decision to grant
2008.01.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0017517-16
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하부 판;상기 하부 판 상에 부착된 복수의 고정부;상기 각 고정부에 수평으로 부착된 구동부; 및상기 각 구동부 상에 얹혀지는 상부 판;을 포함하고,상기 각 구동부는 수평 방향 브릿지 구조체, 상기 수평 방향 브릿지 구조체에 일방향으로 내접하고 전압원에 연결된 압전 소자, 및 상기 수평 방향 브릿지 구조체에서 상기 일방향을 가로지르도록 연결되고 상측으로 절곡되어 돌출된 수직 방향 반-브릿지 구조체로 구성되는 것을 특징으로 하는 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지
2 2
제 1 항에 있어서,상기 수평 방향 브릿지 구조체의 상기 일방향의 길이는 상기 수직 방향 반-브릿지 구조체의 수평 방향 길이보다 긴 것을 특징으로 하는 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 수직 방향 반-브릿지 구조체의 수평 방향 길이는 상기 수직 방향 반-브릿지 구조체의 수직 방향 길이보다 긴 것을 특징으로 하는 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지
4 4
제 1 항에 있어서,상기 복수의 고정부 및 상기 복수의 구동부는 각각 3개인 것을 특징으로 하는 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지
5 5
제 1 항에 있어서,상기 각 고정부 및 구동부는 상기 하부 판 상에 등각도로 배치된 것을 특징으로 하는 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지
6 6
제 1 항에 있어서,상기 압전 소자는 원통형인 것을 특징으로 하는 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지
7 7
제 1 항에 있어서,상기 압전 소자는 축 방향을 따라 적층 구조인 것을 특징으로 하는 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지
8 8
제 1 항에 있어서,상기 수평 방향 브릿지 구조체 및 상기 수직 방향 반-브릿지 구조체는 같은 두께인 것을 특징으로 하는 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지
9 9
제 1 항에 있어서,상기 상부 판은 수평 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.