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박막형 기판 상에 다각형의 나선 형상을 갖도록 형성된 각 단위별 도전체 패턴 코일이 다적층으로 이루어지되, 상기 박막형 기판은, 상부 및 하부의 양면에 각각 상부 및 하부 도전체 패턴 코일이 형성된 양면 패턴 기판과, 상부에만 단면 도전체 패턴 코일이 형성된 단면 패턴 기판을 포함하고, 양면에 2개의 도전체 패턴 코일을 갖는 단일의 양면 패턴 기판을 중심으로, 상기 양면 패턴 기판의 상부 및 하부에, 각각 1개의 도전체 패턴 코일을 갖는 2개의 단면 패턴 기판이 다적층의 기본 세트로서 적용되는 것을 특징으로 하는 전력 발생용 연성 박막형 다적층 평판 코일
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제 1 항에 있어서, 상기 박막형 기판 상의 도전체 패턴 코일은 사각형의 나선 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전력 발생용 연성 박막형 다적층 평판 코일
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제 1 항에 있어서, 상기 단일의 양면 패턴 기판과 2개의 단면 패턴 기판이 결합된 기본 세트가 다수개로 반복적으로 적층되어 다적층을 형성하는 것을 특징으로 하는 전력 발생용 연성 박막형 다적층 평판 코일
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제 1 항에 있어서, 상기 양면 패턴 기판에 각각 형성된 상부 도전체 패턴 코일과 하부 도전체 패턴 코일은, 양면 패턴 기판의 중심부 특정 영역이 관통 형성된 스루 홀(Through Hole)을 통해 각 최내측 끝단의 전극부가 상호 접합되어 있고, 상기 상부 도전체 패턴 코일과 하부 도전체 패턴 코일의 각 최외측 끝단 전극부는, 상기 단면 패턴 기판의 외곽부 특정 영역이 관통 형성된 비아 홀(Via Hole)을 통해 형성된 단면 도전체 패턴 코일의 최외측 끝단 전극부와 각각 접합되도록 형성된 것을 특징으로 하는 전력 발생용 연성 박막형 다적층 평판 코일
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7
제 1 항에 있어서, 상기 다적층의 도전체 패턴 코일의 중앙부는 관통홀이 형성되어 있고, 자성체의 관통 혹은 근접에 의한 상호 병진 운동과 자성체와의 상호 평행 운동에 의한 자속 밀도 변화로 인해 에너지를 발생하는 것을 특징으로 하는 전력 발생용 연성 박막형 다적층 평판 코일
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제 7 항에 있어서, 상기 병진 운동은 8 ∼ 15㎐ 대역인 것을 특징으로 하는 전력 발생용 연성 박막형 다적층 평판 코일
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제1박막형 기판의 상부 및 하부 양면에 각각 다각형의 나선형 도전체 패턴 코일을 패터닝하여 형성하는 제1단계와; 제2박막형 기판의 상부에만 다각형의 나선형으로 단일의 도전체 패턴 코일을 패터닝하여 형성하는 제2단계; 및 양면에 각각 도전체 패턴 코일이 형성된 상기 제1박막형 기판을 중심으로, 제1박막형 기판의 상부에 단일의 도전체 패턴 코일이 형성된 상기 하나의 제2박막형 기판을 압착 결합하고, 제1박막형 기판의 하부에 다른 하나의 제2박막형 기판을 압착 결합하는 제3단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 발생용 연성 박막형 다적층 평판 코일의 제조 방법
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10
제 9 항에 있어서, 상기 제1단계는, 상기 제1박막형 기판의 상부에 상부 도전체 패턴 코일의 형성을 위한 감광막 패턴을 형성하고, 노광을 통해 코일 패턴을 형성하는 단계와, 상기 제1박막형 기판의 하부에 하부 도전체 패턴 코일의 형성을 위한 감광막 패턴을 형성하고, 노광을 통해 코일 패턴을 형성하는 단계, 상기 제1박막형 기판의 상부 및 하부에 각각 도전체 금속을 도금하는 단계, 리소그래피(Lithography) 기법 및 습식 에칭(Wet Etching) 기법을 사용하여 상기 제1박막형 기판의 상부 및 하부에 각각 상부 및 하부 코일 패턴부를 형성하는 단계 및, 상기 제1박막형 기판 양면의 상부 및 하부 코일 패턴부 상에 절연막(PSR)을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 발생용 연성 박막형 다적층 평판 코일의 제조 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 제1단계에서, 감광막 패턴의 형성 단계는 상기 제1박막형 기판의 상부에 다각형의 나선형 패턴 코일을 정방향으로 형성하고, 하부에 다각형의 나선형 패턴 코일을 역방향으로 형성하는 것을 특징으로 하는 전력 발생용 연성 박막형 다적층 평판 코일의 제조 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 제1단계에서, 상기 제1박막형 기판의 상부 및 하부에 도전체 금속을 도금하기 이전에, 상기 제1박막형 기판의 상부 및 하부의 나선형 패턴 코일 최내측 끝단 전극부가 상호 접합이 가능하도록 중심부 특정 영역에 스루 홀(Through Hole)을 관통 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 발생용 연성 박막형 다적층 평판 코일의 제조 방법
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13
제 10 항에 있어서, 상기 제2단계는, 상기 제2박막형 기판의 상부에 상부 도전체 패턴 코일의 형성을 위한 감광막 패턴을 형성하고, 노광을 통해 코일 패턴을 형성하는 단계와, 상기 제2박막형 기판의 상부에 도전체 금속을 도금하는 단계, 리소그래피 기법 및 습식 에칭 기법을 사용하여 상기 제2박막형 기판의 상부에 코일 패턴부를 형성하는 단계 및, 상기 제2박막형 기판 상부의 코일 패턴부 상에 절연막(PSR)을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 발생용 연성 박막형 다적층 평판 코일의 제조 방법
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제 13 항에 있어서, 상기 제2단계에서, 감광막 패턴의 형성 단계는 상기 제2박막형 기판의 상부에 다각형의 나선형 패턴 코일을 정방향으로 형성하는 것을 특징으로 하는 전력 발생용 연성 박막형 다적층 평판 코일의 제조 방법
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제 13 항에 있어서, 상기 제2단계에서, 상기 제2박막형 기판의 상부에 도전체 금속을 도금하기 이전에, 상기 제1박막형 기판 양면에 형성된 상부 도전체 패턴 코일과 하부 도전체 패턴 코일의 각 최외측 끝단 전극부가 상기 제2박막형 기판의 최외측 끝단 전극부와 각각 접합되도록, 외곽부 특정 영역에 비아 홀(Via Hole)을 관통 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 발생용 연성 박막형 다적층 평판 코일의 제조 방법
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제 9 항에 있어서, 상기 제3단계 이후에, 상기 제1박막형 기판 및 제2박막형 기판의 압착 결합에 의한 평판 코일의 중앙부에 자성체의 관통 혹은 근접에 의한 상호 병진 운동과 자성체와의 상호 평행 운동에 의한 자속 밀도 변화로, 에너지 발생이 가능하도록 하는 관통 홀을 관통 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 발생용 연성 박막형 다적층 평판 코일의 제조 방법
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17
제 16 항에 있어서, 상기 병진 운동은 8 ∼ 15㎐ 대역인 것을 특징으로 하는 전력 발생용 연성 박막형 다적층 평판 코일의 제조 방법
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18
제 9 항에 있어서, 상기 제1단계 및 제2단계에서, 상기 제1박막형 기판 및 제2박막형 기판 상에 각각 형성된 도전체 패턴 코일은 사각형의 나선 형상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 전력 발생용 연성 박막형 다적층 평판 코일의 제조 방법
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제 9 항에 있어서, 상기 제3단계에서, 양면에 2개의 도전체 패턴 코일을 갖는 단일의 제1박막형 기판을 중심으로, 상기 단일의 제1박막형 기판의 상부 및 하부에, 각각 1개의 도전체 패턴 코일을 갖는 2개의 제2박막형 기판이 다적층의 기본 세트로서 적용되는 것을 특징으로 하는 전력 발생용 연성 박막형 다적층 평판 코일의 제조 방법
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제 19 항에 있어서, 상기 제3단계에서, 상기 단일의 제1박막형 기판과 2개의 제2박막형 기판이 결합된 기본 세트가 다수개로 반복적으로 적층되어 다적층의 평판 코일 형태를 형성하는 것을 특징으로 하는 전력 발생용 연성 박막형 다적층 평판 코일의 제조 방법
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