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아연 화합물, 플루오르 화합물 및 보론 화합물을 용매에 첨가하여 전구체 용액을 제조하는 단계;상기 전구체 용액을 정전분무하여 기판 상에 박막을 증착시키는 단계; 및상기 박막이 증착된 기판을 열처리하는 단계;를 포함하는 산화아연 박막의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 아연 화합물은 아세트산아연, 아세트산아연 수화물 또는 이들의 조합인 것인 산화아연 박막의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 플루오르 화합물은 플루오르화 암모늄, 모노플루오르화 아세트산, 디플루오르화 아세트산, 또는 이들의 조합인 것인 산화아연 박막의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 보론 화합물은 붕산인 것인 산화아연 박막의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 용매는 알코올, 물, 또는 이들의 조합인 것인 산화아연 박막의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 알코올은 에탄올, 1-프로판올, 2-프로판올, 또는 이들의 조합인 것인 산화아연 박막의 제조방법
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7
제1항에 있어서, 상기 플루오르 화합물 및 보론 화합물의 첨가량은, (플루오르 원소양)/(아연 원소양 및 붕소 원소양의 합) 값이 0 내지 0
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8
제1항에 있어서, 상기 전구체 용액을 정전분무하여 기판 상에 박막을 증착시키는 단계;의 정전분무는 0 kV 내지 8 kV의 전압을 가하여 수행하는 것인 산화아연 박막의 제조방법
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9
제8항에 있어서, 상기 정전분무는 5 kV 내지 7 kV의 전압을 가하여 수행하는 것인 산화아연 박막의 제조방법
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10
제1항에 있어서, 상기 박막이 증착된 기판을 열처리하는 단계;의 기판 온도는 200 내지 300℃인 것인 산화아연 박막의 제조방법
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11
제1항에 있어서, 상기 박막이 증착된 기판을 열처리하는 단계;의 열처리 온도는 300 내지 600℃인 것인 산화아연 박막의 제조방법
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12
제11항에 있어서, 상기 열처리 시간은 1 내지 3시간인 것인 산화아연 박막의 제조방법
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13
제1항 내지 제12항의 제조방법에 의해 제조되는 산화아연 박막
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