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전이금속칼코겐막 제조방법 및 이를 위한 촉진자

  • 기술번호 : KST2023009874
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 전이금속칼코겐막 제조방법으로, 전이금속칼코겐 제조용 전구체와, 유기금속촉진자를 기판이 구비된 챔버내로 주입하는 단계; 상기 전이금속칼코겐 제조용 전구체와, 유기금속 촉진자간 화학반응을 일으켜 상기 기판 상에 전이금속칼코겐막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐막 제조방법이 제공된다.
Int. CL C23C 16/448 (2006.01.01) C23C 16/30 (2006.01.01) C30B 29/46 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC C23C 16/4488(2013.01) C23C 16/305(2013.01) C30B 29/46(2013.01) H01L 21/02568(2013.01) H01L 21/0262(2013.01)
출원번호/일자 1020220051290 (2022.04.26)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2023-0151672 (2023.11.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2022.04.26)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강기범 대전광역시 유성구
2 김태수 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울시 서초구 서운로**, ***호(서초동, 중앙로얄오피스텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2022.04.26 수리 (Accepted) 1-1-2022-0446888-06
2 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
 2023.01.31 수리 (Accepted) 4-1-2023-5023571-05
3 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
 2023.05.04 수리 (Accepted) 4-1-2023-5110236-33
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번호 청구항
1 1
전이금속칼코겐막 제조방법으로, 전이금속칼코겐 제조용 전구체와, 유기금속촉진자를 기판이 구비된 챔버내로 주입하는 단계;상기 전이금속칼코겐 제조용 전구체와, 유기금속 촉진자간 화학반응을 일으켜 상기 기판 상에 전이금속칼코겐막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐막 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 유기금속촉진자는 프로판산나트륨인 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐막 제조방법
3 3
제 2항에 있어서, 상기 유기금속촉진자와 함께 산소가 상기 챔버 내로 동시에 주입되는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐막 제조방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 유기금속촉진자는 상기 챔버 내에서 열분해되는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐막 제조방법
5 5
제 4항에 있어서, 상기 유기금속촉진자는, 상기 전이금속칼코겐막의 성장온도보다 낮은 온도에서 열분해되는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐막 제조방법
6 6
제 4항에 있어서, 상기 열분해된 유기금속촉진자 성분은 상기 전이금속칼코겐 제조용 전구체 성분과 반응하는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐막 제조방법
7 7
제 3 에 있어서, 상기 유기금속촉진자와 산소의 유량에 따라 상기 전이금속칼코겐막의 결정립의 크기 또는 밀도가 결정되는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐막 제조방법
8 8
전이금속칼코겐막 제조용 유기금속촉진자로서, 상기 유기금속촉진자는 프로판산나트륨인 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐막 제조용 유기금속촉진자
9 9
제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 전이금속칼코겐막
10 10
제 9항에 있어서, 상기 전이금속칼코겐막은, 상기 유기금속촉진자 성분과 상기 전이금속칼코겐막의 금속성분간 화학반응에 따라 형성된 중간체로부터 형성된 전이금속칼코겐막을 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐막
11 11
제 10항에 있어서, 상기 형성된 중간체 양에 따라 상기 전이금속칼코겐막의 결정립 크기 또는 밀도가 결정되는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐막
12 12
제 9항에 있어서, 상기 전이금속칼코겐막은 탄소가 실질적으로 없는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐막
13 13
제 11항에 따른 전이금속칼코겐막을 포함하나느 반도체 소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국과학기술원 나노 및 소재 기술개발사업 (N01210919)(통합EZ)이차원 수평초격자기반 sub-1nm scale 선택성장기술 개발(2021년도)
2 과학기술정보통신부 한국과학기술원 원천기술개발사업 (N01210251)(통합EZ)high-κ 절연체 터널장벽을 활용한 초저전력 2D-3D 전이금속 디켈코게나이드 초저전력 TFET와 로직 회로의 개발(2021년도)
3 과학기술정보통신부 한국과학기술원 원천기술개발사업 (N01210154)(통합EZ)2차원 metal chalcogenides 기반 초고이동도 소자 및 모노리식 3차원 집적(2021년도)
4 과학기술정보통신부 한국과학기술원 원천기술개발사업 (N01200506)(통합EZ)레이저-소재 상호작용 기반 디스플레이 핵심소재 개발(2020년도)
5 과학기술정보통신부 한국과학기술원 개인기초연구(과기정통부)(R＆D) (N01210611)(통합EZ) 2차원 이온-금속산화물을 이용한 전기화학적 상변화 기반 멀티 레벨 메모리 소자(2021년도)
6 과학기술정보통신부 울산과학기술원 미래소재디스커버리지원(R＆D) 스트레쳐블 광·전자 소자 제작을 위한 반데르발스 층상 소재의 저온 및 대면적 합성
7 과학기술정보통신부 한국과학기술연구원 한국과학기술연구원연구운영비지원(R＆D) 터널링 소자의 이온 층간 삽입을 이용한 대면적 뉴로몰픽 시냅틱 어레이 개발