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대상물의 제 1 면에 제 1 빔을 조사하여 상기 제 1 면을 밀링하는 적어도 하나의 제 1 밀링기;상기 대상물의 상기 제 1 면의 반대면인 제 2 면에 제 2 빔을 조사하여 상기 제 2 면을 밀링하는 적어도 하나의 제 2 밀링기;복수개의 대상물을 지지하는 제 1 스테이지;상기 대상물의 밀링 영역 또는 복수개의 상기 대상물 중 어느 하나를 선택하여 빔을 조사할 수 있도록 상기 제 1 밀링기 및 상기 제 2 밀링기를 기준으로 상기 제 1 스테이지를 상대적으로 이동시키는 스테이지 이동 장치; 및상기 제 1 스테이지에 지지된 상기 대상물과 대향하는 복수개의 역방향 대상물을 지지할 수 있도록 상기 제 1 스테이지의 반대편에 설치되는 제 2 스테이지;를 포함하고,상기 제 1 밀링기 및 상기 제 2 밀링기는, 그 밀링 영역이 상기 제 1 스테이지에 지지된 상기 대상물과 이와 근접하는 상기 역방향 대상물에 각각 걸쳐지도록 형성되는 것인, 단면 시편 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 밀링기 및 상기 제 2 밀링기는 본체에 설치되고,상기 제 1 밀링기는, 상기 본체에 수용된 대상물의 상방에 설치되며,상기 제 2 밀링기는, 상기 본체에 수용된 대상물의 하방에 설치되고,상기 제 1 밀링기 및 상기 제 2 밀링기는 이온 빔 밀링기 또는 레이져 밀링기인, 단면 시편 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 밀링기의 상기 제 1 빔 조사 각도를 조절하는 제 1 각도 조절 장치; 및상기 제 2 밀링기의 상기 제 2 빔 조사 각도를 조절하는 제 2 각도 조절 장치;를 더 포함하는, 단면 시편 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 각도 조절 장치에 각도 고정 제어 신호 또는 연속적인 각도 조절 신호를 인가하고, 상기 제 2 각도 조절 장치에 각도 고정 제어 신호 또는 연속적인 각도 조절 신호를 인가하는 제어부;를 더 포함하는, 단면 시편 제조 장치
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 밀링기와 상기 제 2 밀링기 사이에 상기 제 1 빔과 상기 제 2 빔이 서로 겹쳐지는 중복 조사 영역이 형성될 수 있도록 상기 제 1 밀링기의 상기 제 1 빔은 제 1 조사 각도를 갖고, 상기 제 2 밀링기의 상기 제 2 빔은 제 2 조사 각도를 갖는 것인, 단면 시편 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 밀링기에 제 1 에너지 밀도 제어 신호를 인가하고, 상기 제 2 밀링기에 제 2 에너지 밀도 제어 선호를 인가하는 제어부;를 더 포함하는, 단면 시편 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 밀링기는,상기 대상물의 상기 제 1 면의 제 1 영역에 제 1-1 빔을 조사하는 제 1-1 밀링기; 및상기 대상물의 상기 제 1 면의 상기 제 1 영역에 제 1-2 빔을 조사하는 제 1-2 밀링기;를 포함하고,상기 제 2 밀링기는,상기 대상물의 상기 제 2 면의 제 2 영역에 제 2-1 빔을 조사하는 제 2-1 밀링기; 및상기 대상물의 상기 제 2 면의 상기 제 2 영역에 제 2-2 빔을 조사하는 제 2-2 밀링기;를 포함하는, 단면 시편 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 대상물과 상기 제 1 밀링기 사이에 설치되고, 적어도 하나의 관통창이 설치되는 제 1 마스크; 및상기 대상물과 상기 제 2 밀링기 사이에 설치되고, 적어도 하나의 관통창이 설치되는 제 2 마스크;를 더 포함하는, 단면 시편 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 밀링기 또는 상기 제 2 밀링기의 밀링 진행 정도를 감지하는 센서; 및상기 센서로부터 밀링 진행 정도 신호를 인가받아 상기 제 1 밀링기 또는 상기 제 2 밀링기에 밀링 중단 제어 신호를 인가하는 제어부;를 더 포함하는, 단면 시편 제조 장치
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