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유연기구 메커니즘을 이용한 3축 직선운동 스테이지

  • 기술번호 : KST2015117488
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 직선운동 스테이지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 X, Y, Z스테이지로서 상호 커플링이 없이 변위가능한 구조를 채택하고 정확한 직선운동을 수행하도록 대칭형 증폭구조 및 유연복합힌지구조를 갖는 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 직선운동 스테이지에 관한 것이다. 본 발명에 따른 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 직선운동 스테이지는 복수의 유연복합힌지구조를 갖고 일측에 제1구동부가 형성되어 일축방향의 직선운동이 가능한 X스테이지; 상기 X스테이지 상에 형성되며 복수의 유연복합힌지구조를 갖고 일측에 형성된 제2구동부에 의해 상기 일축방향과 수직인 축방향의 직선운동이 가능한 Y스테이지; 상기 Y스테이지 상에 설치되며 복수의 유연복합힌지구조를 갖고 일측에 형성된 제3구동부에 의해 상기 축방향들과 수직한 방향의 직선운동이 가능한 Z스테이지; 및 상기 X스테이지가 설치되는 스테이지 베이스를 포함하여 구성된다. 스테이지, 직선운동, 판스프링, 유연기구, 증폭, 3축, 원자현미경
Int. CL G02B 21/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020030010944 (2003.02.21)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0497729-0000 (2005.06.17)
공개번호/일자 10-2004-0075445 (2004.08.30) 문서열기
공고번호/일자 (20050628) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.02.21)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권대갑 대한민국 대전광역시유성구
2 김동민 대한민국 대전광역시유성구
3 심종엽 대한민국 대전광역시유성구
4 김기현 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2003-0060130-18
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.10.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.11.16 수리 (Accepted) 9-1-2004-0066530-06
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0506534-70
7 의견서
Written Opinion		 2005.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2005-0045236-21
8 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.01.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0045240-15
9 등록결정서
Decision to grant		 2005.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0187924-68
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
각각의 모서리에 다열의 유연복합힌지구조(11)가 인접하게 배치되고 일측의 변에 제1구동부(2)가 형성되어 일축방향의 직선운동이 가능한 X스테이지(1); 상기 X스테이지(1)의 중앙에 형성되며, 각각의 모서리에 다열의 유연복합힌지구조(28)가 인접하게 배치되고 일측의 변에 형성된 제2구동부(23)에 의해 상기 일축방향과 수직인 축방향으로 직선운동이 가능한 Y스테이지(20); 상기 Y스테이지(20) 상에 설치되며, 인접하게 위치하는 다열의 유연복합힌지구조(50)가 각각의 모서리의 내부에 형성되고 제3구동부(47)가 내설되어 상기 축방향들과 수직한 방향으로 직선운동이 가능한 Z스테이지(40); 및 상기 X스테이지(1)가 설치되는 스테이지 베이스(9);를 포함하고, 상기 구동부(2, 23)는 일방향의 팽창시에 타방향의 축소가 일어나도록 복수의 중간바(4, 25)와 가압부(3, 24)가 프레임 형상으로 형성된 대칭형 증폭구조(8, 21)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 직선운동 스테이지
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 제1 및 제2구동부(2, 23)는 프레임 형상의 상기 증폭구조(8, 21)의 내부에 압전소자(5, 26)를 포함하고, 상기 제3구동부(47)는 압전소자(46)가 직접 내설된 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 직선운동 스테이지
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 Z스테이지(40)와 상기 Y스테이지(20)의 사이에는 상기 Z스테이지(40)의 설치면보다 넓이가 큰 Z스테이지 베이스(47)가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 직선운동 스테이지
5 5
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 증폭구조(8)는 공진주파수를 높이기 위해 안쪽에 구멍을 형성한 프레임구조를 갖는 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 직선운동 스테이지
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 Z스테이지(40)의 단부에는 원형봉(60)을 설치하고, 상기 원형봉(60)에 시편고정부(61)를 설치한 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 직선운동 스테이지
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 Z스테이지(40)의 위치측정을 위해 상기 Z스테이지(40)의 단부의 일측이면서 상기 시편고정부(61)의 하부에는 소정각도만큼 경사진 거울(65)이 더 설치되는 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 직선운동 스테이지
8 7
제 6 항에 있어서, 상기 Z스테이지(40)의 위치측정을 위해 상기 Z스테이지(40)의 단부의 일측이면서 상기 시편고정부(61)의 하부에는 소정각도만큼 경사진 거울(65)이 더 설치되는 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 직선운동 스테이지
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP03944479 JP 일본 FAMILY
2 JP17019378 JP 일본 FAMILY
3 US07024925 US 미국 FAMILY
4 US20040163450 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 DE102004002199 DE 독일 DOCDBFAMILY
2 DE102004002199 DE 독일 DOCDBFAMILY
3 JP2005019378 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 JP3944479 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 US2004163450 US 미국 DOCDBFAMILY
6 US7024925 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.