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온도무의존 파장분할다중화 소자에 있어서, 평면 기판 상의 하부 클래드층, 코어층 및 상부 클래드층 중 적어도 하나 이상의 층이 음의 열광학계수를 가지는 무-유기 혼성물질로 구성되며, 열광학계수의 조절을 통해 온도무의존특성이 발휘되어짐을 특징으로 하는 온도무의존 파장분할다중화 소자
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제 1항에 있어서, 소자의 온도무의존특성은 코어층와 클래드층간의 열광학계수의 조절을 통해 달성되어짐을 특징으로 하는 온도무의존 파장분할다중화 소자
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제 1항에 있어서, 상기 무-유기 혼성물질은 구조 내에 규소에 결합된 산소원자 또는 가교나 수식이 가능한 유기단량체로 가교된 망목구조를 가짐을 특징으로 하는 온도무의존 파장분할다중화 소자
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제 3항에 있어서, 상기 무-유기 혼성물질은 하기 일반식 1로 표시되는 화합물을 산 또는 염기 촉매의 존재 하에 가수분해 및 축합반응을 거치는 졸-젤법에 의해 형성된 화합물임을 특징으로 하는 온도무의존 파장분할다중화 소자 (1) (OR1)nSi-R2 m (n+m=4) 상기에서 R1은 탄소수가 1~10개인 직쇄 또는 측쇄 알킬기 또는 수소원자
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제 3항에 있어서, 상기 무-유기 혼성물질은 하기 일반식 2로 표시되는 화합물을 산 또는 염기 촉매의 존재 하에 가수분해 및 축합반응을 거치는 졸-젤법에 의해 형성된 화합물임을 특징으로 하는 온도무의존 파장분할다중화 소자 (2) (OR1)nSi-(X-R3)m (n+m=4) 상기에서 R1은 탄소수가 1~10개인 직쇄 또는 측쇄 알킬기 또는 수소원자
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제 3항에 있어서, 상기 무-유기 혼성물질은 하기 일반식 3으로 표시되는 유기할로겐실란을 실리콘 알콕사이드 또는 알킬에테르와 반응시켜 얻어지는 화합물임을 특징으로 하는 온도무의존 파장분할다중화 소자 (3) R4SiCl3 상기에서 R4는 탄소수가 1~10개인 직쇄 또는 측쇄 알킬기 또는 수소원자, 페닐기, 페닐 알콕시기, 아민기, 비닐기, 글리시독시기, 메타아크릴기를 포함하거나 탄소수가 4~8개인 탄소 사슬내에 플로라이드 원자가 치환된 탄화불소
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제 3항에 있어서, 상기 무-유기 혼성물질은 하기 일반식 4, 5로 표시되는 화합물이 비가수분해 반응에 의해 제조되어짐을 특징으로 하는 온도무의존 파장분할다중화 소자 (4) R5R6Si(OH)2 (5) R7 aR8 bM(OR9)(c-a-b) 상기 일반식에서 R5, R6, R7, R8은 알킬기, 케톤기, 아크릴기, 알릴기, 방향족기, 할로겐기, 아민기, 아미노기, 머캡토기, 에테르기, 에스테르기, 또는 에폭시 작용기를 단독 또는 2종이상으로 가지는 직쇄, 측쇄 또는 고리형의 탄소수 1~12개의 탄화수소
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8
제 3항에 있어서, 상기 무-유기 혼성물질은 하기 일반식 2, 5로 표시되는 화합물 중 실리콘에 치환된 유기그룹으로 가교가 가능한 유기단량체를 포함하는 동종 또는 이종의 화합물을 자유라디칼 및 유기중합개시제를 첨가하여 중합되어짐을 특징으로 하는 온도무의존 파장분할다중화 소자 (2) (OR1)nSi-(X-R3)m (n+m=4) (5) R7 aR8 bM(OR9)(c-a-b) 상기 각 일반식은 청구항 5 및 7에서 정의한 바와 동일하다
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제 3항에 있어서, 상기 무-유기 혼성물질은 하기 일반식 2, 5로 표시되는 화합물 중 실리콘에 치환된 유기그룹으로 가교가 가능한 유기단량체를 포함하는 동종 또는 이종의 화합물을 금속알콕사이드 또는 아민기를 이용해 개환 반응시켜 중합되어짐을 특징으로 하는 온도무의존 파장분할다중화 소자 (2) (OR1)nSi-(X-R3)m (n+m=4) (5) R7 aR8 bM(OR9)(c-a-b) 상기 각 일반식은 청구항 5 및 7에서 정의한 바와 동일하다
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하기 일반식 2 또는 5로 표시되는 화합물 중 실리콘에 치환된 유기그룹으로 가교가 가능한 유기단량체를 포함하는 동종 또는 이종의 화합물을 자유라디칼 및 유기중합개시제를 첨가하여 중합되는 온도무의존 파장분할다중화 소자제작용 무-유기 혼성물질의 제조방법 (2) (OR1)nSi-(X-R3)m (n+m=4) (5) R7 aR8 bM(OR9)(c-a-b) 상기 각 일반식은 청구항 5 및 7에서 정의한 바와 동일하다
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제 10항에 있어서, 유기중합개시제는 알루미늄알콕사이드, 지르코늄 알콕사이드, 티타늄 알콕사이드, 1-메틸이미다졸, 이미다졸계열, 보론트리플루오라이드 디에틸 이서레이트, 벤조일퍼옥사이드, 2
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12
하기 일반식 2 또는 5로 표시되는 화합물 중 실리콘에 치환된 유기그룹으로 가교가 가능한 유기단량체를 포함하는 동종 또는 이종의 화합물을 금속알콕사이드 또는 아민기를 이용해 개환 반응시켜 중합되는 온도무의존 파장분할다중화 소자제작용 무-유기 혼성물질의 제조방법 (2) (OR1)nSi-(X-R3)m (n+m=4) (5) R7 aR8 bM(OR9)(c-a-b) 상기 각 일반식은 청구항 5 및 7에서 정의한 바와 동일하다
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하기 일반식 2 또는 5로 표시되는 화합물 중 실리콘에 치환된 유기그룹으로 가교가 가능한 유기단량체를 포함하는 동종 또는 이종의 화합물을 금속알콕사이드 또는 아민기를 이용해 개환 반응시켜 중합되는 온도무의존 파장분할다중화 소자제작용 무-유기 혼성물질의 제조방법 (2) (OR1)nSi-(X-R3)m (n+m=4) (5) R7 aR8 bM(OR9)(c-a-b) 상기 각 일반식은 청구항 5 및 7에서 정의한 바와 동일하다
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