기판(44)과;

평행하게 배치된 2 개의 스트라이프 형상을 지닌 부분(35,35'), 상기 스트라이프 형상 부분(35,35')을 상호 연결하는 다수의 연결 부분(36) 및, 상기 스트라이프 형상 부분(35,35')의 일측에 형성된 코움(40,42)을 구비한 진동 구조물(35,35',36')과;

상기 진동 구조물(35,35',36)을 상기 기판(44)으로부터 소정의 간격으로 이격되게 탄성적으로 유지시키는 탄성 부재(32,32')와;

상기 진동 구조물(35,35',36)을 정전력에 의해 일 방향으로 가진시킬 수 있도록, 상기 하나의 스트라이프 형상 부분(35)의 코움(40) 사이에 배치되는 코움(39)을 구비한 구동 수단(33)과;

상기 구동 수단(33)에 의한 상기 진동 구조물(35,35',36)의 일 방향 운동을 정전 용량의 변화를 통해 감지할 수 있도록, 상기 다른 하나의 스트라이프 형상 부분(36)의 코움(42) 사이에 배치되는 코움(41)을 구비한 감지 수단(34)과;

상기 진동 구조물(35,35',36)에 코리올리의 힘에 의한 변위가 발생하였을때 이를 정전 용량의 변화를 통해 감지할 수 있도록, 상기 진동 구조물의 연결 부분(36)들 사이에서 상기 기판(44)으로부터 소정의 간격으로 이격되어 상기 진동 구조물(35,35,36)과 동일 평면상에 배치된 다수의 감지 전극(38);을 구비한 마이크로 자이로스코프

제 1 항에 있어서, 상기 진동 구조물(35,35',36)이 코리올리의 힘에 의해 과도하게 변위되는 것을 억제할 수 있도록, 상기 진동 구조물의 연결 부분(36)중 최외곽의 것과 평행하게 상기 기판(44)으로부터 소정의 간격으로 이격되어 상기 진동 구조물(35,35',36)과 동일 평면상에 배치된 정위치 제어용 전극(37)을 더 구비하는 마이크로 자이로스코프

제 1 항에 있어서, 상기 진동 구조물(35,35',36)이 코리올리의 힘에 의해 과도하게 변위되어 상기 감지 전극(38)에 접촉하는 것을 방지할 수 있도록 과다 운동 방지 부재를 더 구비하는 마이크로 자이로스코프

제 1 항에 있어서, 상기 탄성 부재의 한 부분(32)는 상기 스트라이프 형상 부분의 길이 방향으로 연장되며, 상기 탄성 부재의 다른 부분(32')은 상기 한 부분(32)의 단부를 상호 연결하며, 상기 탄성 부재(32')의 중간 부분에 지지부(31)가 형성됨으로써 상기 진동 구조물(35,35',36)을 상기 기판(44)으로부터 소정의 간격으로 이격되게 탄성적으로 유지하는 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프

제 1 항에 있어서, 상기 감지 전극(38)은 상기 진동 구조물의 연결 부분(36)들 사이에서 3 개의 부분이 2 열로 평행하게 배치되며, 상기 3 개의 부분중 길이가 긴 전극은 중간 부분(45)이 지지되고, 상기 3 개의 부분중 길이가 짧은 전극은 일 단부(46)가 지지된 상태로 일렬로 배치되는 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프

제 1 항에 있어서, 상기 감지 전극(38)에 인가되는 전압을 변화시킴으로써 상기 진동 구조물의 고유 진동수가 조정될 수 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프

제 1 항에 있어서, 상기 진동 구조물의 고유 진동수를 조정할 수 있도록 상기 진동 구조물의 연결 부분(36)에 평행하게 배치된 고유 진동수 조정용 전극을 더 구비하는 마이크로 자이로스코프