1 |
1
프레임과,상기 프레임 내에서 1축 방향으로 운동하는 운동체와,상기 프레임과 상기 운동체를 연결하는 스프링과,상기 프레임과 상기 운동체를 연결하는 댐퍼와,상기 운동체의 운동 방향으로의 양측에 장착되고 구동전압이 인가되어 상기 운동체에 정전기력을 가해주는 제1운동전극 및 제2운동전극을 포함한 것을 특징으로 하는 관성 센서
|
2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 제1운동전극이 상기 운동체에 가하는 정전기력과 상기 제2운동전극이 상기 운동체에 가하는 정전기력의 합이 시그모이달 함수가 되는 것을 특징으로 하는 관성 센서
|
3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 프레임과 상기 제1운동전극 사이에 고정되고 상기 제1운동전극을 구동시켜 상기 제1운동전극과 상기 운동체 사이 거리를 조절하는 제1구동부와,상기 프레임과 상기 제2운동전극 사이에 고정되고 상기 제2운동전극을 구동시켜 상기 제2운동전극과 상기 운동체 사이 거리를 조절하는 제2구동부를 더 포함한 것을 특징으로 하는 관성 센서
|
4 |
4
제 3 항에 있어서, 상기 제1구동부와 제2구동부는 상기 제1운동전극이 상기 운동체에 가하는 정전기력과 상기 제2운동전극이 상기 운동체에 가하는 정전기력의 합이 시그모이달 함수가 되도록 상기 제1운동전극과 제2운동전극을 구동하는 것을 특징으로 하는 관성 센서
|
5 |
5
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 운동체의 운동 방정식은 수학식 1과 같고 상기 운동체에 가해지는 정전기력은 수학식 2와 같은 것을 특징으로 하는 관성 센서
|
6 |
6
프레임과,상기 프레임 내에서 1축 방향으로 운동하는 제1운동체와,상기 프레임과 상기 제1운동체를 연결하는 제1스프링과,상기 프레임과 상기 제1운동체를 연결하는 제1댐퍼와,상기 프레임 내에서 상기 제1운동체와 동일한 방향으로 1축 운동을 하는 제2운동체와,상기 프레임과 제2운동체를 연결하는 제2댐퍼와,상기 제1운동체와 제2운동체를 연결하는 제2스프링을 포함한 것을 특징으로 하는 관성 센서
|
7 |
7
제 6 항에 있어서, 상기 제1운동체의 운동방정식은 수학식 3과 같고 상기 제2운동체의 운동방정식은 수학식 4와 같은 것을 특징으로 하는 관성 센서
|
8 |
8
프레임과,상기 프레임 내에서 1축 방향으로 운동하는 제1운동체와,상기 프레임과 상기 제1운동체를 연결하는 제1스프링과,상기 프레임과 상기 제1운동체를 연결하는 제1댐퍼와,상기 프레임 내에서 상기 제1운동체와 동일한 방향으로 1축 운동을 하는 제2운동체와,상기 프레임과 제2운동체를 연결하는 제2댐퍼와,상기 제1운동체와 제2운동체를 연결하는 제2스프링과,상기 제1운동체의 운동 방향으로의 양측에 장착되고 구동전압이 인가되어 상기 제1운동체에 정전기력을 가해주는 제1운동전극 및 제2운동전극을 포함한 것을 특징으로 하는 관성 센서
|
9 |
9
제 8 항에 있어서, 상기 제1운동전극이 상기 제1운동체에 가하는 정전기력과 상기 제2운동전극이 상기 제1운동체에 가하는 정전기력의 합이 시그모이달 함수가 되는 것을 특징으로 하는 관성 센서
|
10 |
10
제 9 항에 있어서, 상기 제1운동체의 운동방정식이 수학식 5와 같고, 상기 제2운동체의 운동방정식이 수학식 6과 같고, 상기 제1운동체에 인가되는 정전기력이 수학식 7과 같은 것을 특징으로 하는 관성 센서
|
11 |
11
제 8 항에 있어서,상기 프레임과 상기 제1운동전극 사이에 고정되고 상기 제1운동전극을 구동시켜 상기 제1운동전극과 상기 운동체 사이 거리를 조절하는 제1구동부와,상기 프레임과 상기 제2운동전극 사이에 고정되고 상기 제2운동전극을 구동시켜 상기 제2운동전극과 상기 운동체 사이 거리를 조절하는 제2구동부를 더 포함한 것을 특징으로 하는 관성 센서
|
12 |
12
제 8 항에 있어서,상기 제2운동체와 상기 제1운동전극 사이에 고정되고 상기 제1운동전극을 구동시켜 상기 제1운동전극과 상기 운동체 사이 거리를 조절하는 제1구동부와,상기 제2운동체와 상기 제2운동전극 사이에 고정되고 상기 제2운동전극을 구동시켜 상기 제2운동전극과 상기 운동체 사이 거리를 조절하는 제2구동부를 더 포함한 것을 특징으로 하는 관성 센서
|
13 |
13
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서, 상기 제1구동부와 제2구동부는 상기 제1운동전극이 상기 운동체에 가하는 정전기력과 상기 제2운동전극이 상기 운동체에 가하는 정전기력의 합이 시그모이달 함수가 되도록 상기 제1운동전극과 제2운동전극을 구동하는 것을 특징으로 하는 관성 센서
|
14 |
14
제 13 항에 있어서, 상기 제1운동체의 운동방정식이 수학식 5와 같고, 상기 제2운동체의 운동방정식이 수학식 6과 같고, 상기 제1운동체에 인가되는 정전기력이 수학식 7과 같은 것을 특징으로 하는 관성 센서
|