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마이크로 패턴화된 페로브스카이트 물질 및 그 형성방법

  • 기술번호 : KST2015118777
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 패턴화된 페로브스카이트 물질 및 그 형성방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 공정을 응용하여 기판상에 일정한 패턴을 갖는 페로브스카이트 박막을 형성하는 방법을 제공함으로써 반도체 제조공정시 패턴된 유전체 박막으로 사용가능함은 물론, 마이크로 반응기 및 초소형 동력장치에 적용 및 응용될 수 있는 마이크로 패턴화된 페로브스카이트 물질 및 그 형성방법에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명에 따른 마이크로 패턴화된 페로브스카이트 물질 의 형성방법은 기판 위에 금속층 패턴을 형성하고, 금속층 패턴이 형성된 기판 위에 겔 상태의 페로브스카이트 물질을 도포하여 에이징 및 하소를 한 후, 상기 금속층 및 금속층 상부의 페로브스카이트 물질을 식각제에 의하여 식각하도록 되어 있는 것에 그 특징이 있다. 페로브스카이트, 패턴화, 마이크로반응기
Int. CL B01J 37/02 (2006.01)
CPC B01J 37/0225(2013.01) B01J 37/0225(2013.01) B01J 37/0225(2013.01)
출원번호/일자 1020030018605 (2003.03.25)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0492339-0000 (2005.05.23)
공개번호/일자 10-2004-0083905 (2004.10.06) 문서열기
공고번호/일자 (20050530) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.03.25)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이대훈 대한민국 경상남도 창원시
2 조정훈 대한민국 충청남도공주
3 권세진 대한민국 대전광역시유성구
4 박대은 대한민국 대전광역시유성구
5 윤의식 대한민국 대전광역시유성구
6 황진수 대한민국 대전광역시유성구
7 박상언 대한민국 대전광역시중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이정우 대한민국 대전광역시 서구 청사로 ***, 수협본관 ***호 (둔산동)(이정우특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2003-0104636-29
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.11.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.12.16 수리 (Accepted) 9-1-2004-0075871-60
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0537421-35
7 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.02.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0064744-04
8 의견서
Written Opinion		 2005.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2005-0064734-47
9 등록결정서
Decision to grant		 2005.05.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0217829-77
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
촉매 등에 사용되는 페로브스카이트 물질의 형성방법에 있어서, 기판(1) 위에 금속층(3) 패턴을 형성하고, 금속층(3) 패턴이 형성된 기판(1) 위에 금속원소의 질산화물 수용액으로부터 형성된 겔상태의 페로브스카이트 물질을 스핀코팅에 의하여 도포하고 에이징 및 하소를 한 후, 상기 금속층(3) 및 금속층(3) 상부의 페로브스카이트(2) 물질을 식각제(蝕刻劑; echant)에 의하여 식각(etching)하는 것을 특징으로 하는 마이크로 패턴화된 페로브스카이트 물질의 형성방법
2 2
제1항에 있어서, 기판(1)은 실리콘, 유리, 석영 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 마이크로 패턴화된 페로브스카이트 물질의 형성방법
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 금속원소의 질산화물 수용액의 농도는 0
5 5
제1항에 있어서, 하소는 20℃에서 400℃까지 8시간에 걸쳐 서서히 가열한 후 400℃인 상태에서 2시간 동안 유지하고, 다시 20℃까지 자연냉각시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 패턴화된 페로브스카이트 물질의 형성방법
6 6
제1항에 있어서, 금속층(3)을 이루는 금속은 알루미늄, 구리, 금, 니켈, 크롬 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 마이크로 패턴화된 페로브스카이트 물질의 형성방법
7 7
촉매 등에 사용되는 페로브스카이트 물질에 있어서, 기판(1) 위에 금속층(3) 패턴을 형성하고, 금속층(3) 패턴이 형성된 기판(1) 위에 겔(gel) 상태의 페로브스카이트(2) 물질을 스핀코팅에 의하여 도포하고 에이징 및 하소를 한 후, 상기 금속층(3) 및 금속층(3) 상부의 페로브스카이트(2) 물질을 식각제(蝕刻劑; echant)로 식각(etching)하여 제조되는 것을 특징으로 하는 마이크로 패턴화된 페로브스카이트 물질
8 7
촉매 등에 사용되는 페로브스카이트 물질에 있어서, 기판(1) 위에 금속층(3) 패턴을 형성하고, 금속층(3) 패턴이 형성된 기판(1) 위에 겔(gel) 상태의 페로브스카이트(2) 물질을 스핀코팅에 의하여 도포하고 에이징 및 하소를 한 후, 상기 금속층(3) 및 금속층(3) 상부의 페로브스카이트(2) 물질을 식각제(蝕刻劑; echant)로 식각(etching)하여 제조되는 것을 특징으로 하는 마이크로 패턴화된 페로브스카이트 물질
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.