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강유전체 박막소자 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015118852
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 강유전체 박막의 제조방법에 대한 것으로 더욱 상세하게는 on-axis방식 스퍼터링을 통해 결정성 및 표면거칠기(surface roughness)가 우수할 뿐만 아니라 증착률이 현저히 개선된 강유전체 박막소자 및 그 제조방법에 대한 것이다. 증착률이 현저히 개선된 본 발명의 강유전체 제조방법은 SrTiO3(STO)기판 상에 SrRuO3(SRO)박막을 증착하는 단계, 상기 증착된 SRO박막에 BiFeO3(BFO)박막을 증착하는 단계를 포함하되, 상기 각 박막의 증착은 상기 STO기판을 접지로부터 절연시킨 상태에서 증착한다. 본 발명의 강유전체 제조방법에 따르면 대량 생산이 가능하며 증착률이 현저히 향상될 뿐만 아니라 강유전체 박막의 표면이 균일하게 형성되고 누설전류가 현저히 줄어들고 잔류분극이 커지는 효과가 있다. RF 스퍼터링, 강유전체, 박막소자, on-axis
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020080047474 (2008.05.22)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1003982-0000 (2010.12.20)
공개번호/일자 10-2009-0037282 (2009.04.15) 문서열기
공고번호/일자 (20101231) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020070102747   |   2007.10.11
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.05.22)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신성철 대한민국 대전광역시 유성구
2 김상현 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2008-0363316-60
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0173577-18
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0410123-06
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.06.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0410124-41
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.10.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0449086-42
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.11.17 수리 (Accepted) 1-1-2010-0752312-50
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.11.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0752315-97
8 등록결정서
Decision to grant
2010.12.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0579389-31
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1
SrTiO3(STO)기판 상에 SrRuO3(SRO)박막을 증착하는 단계, 상기 증착된 SRO박막에 BiFeO3(BFO)박막을 증착하는 단계를 포함하고, 상기 각 박막의 증착은 상기 STO기판을 접지로부터 절연시켜 증착하되, 상기 STO기판과 접지와의 절연은 상기 STO기판이 설치된 holder와 상기 STO기판사이에 마련된 세라믹 재질의 절연층을 통해 이루어지는 것이 특징인 강유전체 박막소자 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 SRO박막과 상기 BFO박막은 온 엑시스(on-axis)방식의 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착하는 것이 특징인 강유전체 박막소자 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 BFO박막은 상기 STO기판을 550 ℃ 내지 650 ℃로 가열한 상태에서 증착하는 것이 특징인 강유전체 박막소자 제조방법
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 BFO박막은 상기 STO기판을 570 ℃로 가열한 상태에서 증착하는 것이 특징인 강유전체 박막소자 제조방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 BFO박막의 증착 후 400 Torr 산소압에서 일정시간동안 in situ 방식으로 열처리하는 단계를 더 포함하는 것이 특징인 강유전체 박막소자 제조방법
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 SRO박막은 상기 STO기판과 상기 BFO박막 사이의 격자 부정합을 줄이고 상기 강유전체 박막소자의 하부전극으로 이용되되, 그 두께가 100 nm인 것이 특징인 강유전체 박막소자 제조방법
7 7
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8 8
삭제
9 9
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP04927799 JP 일본 FAMILY
2 JP21094482 JP 일본 FAMILY
3 US07888138 US 미국 FAMILY
4 US20090098664 US 미국 FAMILY

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1 JP2009094482 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP4927799 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 US2009098664 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US7888138 US 미국 DOCDBFAMILY
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