열원(1)과 반사경(7) 사이에 열원 단속기(3)을 일직선 상에 위치시키고, 상기 반사경(7)에 의한 반사광(8)의 통로상의 일정 위치에 시편 이송기(10)을 장치하고, 시편 이송기 상에는 시편 표면의 온도 변화를 감지하기 위한 온도 감지기(12)를 설치하고, 온도 감지기(12)는 온도 증폭기(13)과 신호 처리기(6)을 거쳐, 시편 표면 온도 데이타로부터 시편의 내부 기공 체적비를 계산하는 제어 컴퓨터(5)로 연결하는 것을 특징으로 하는 표면 열진동을 이용한 초소성 성형 제품의 내부 기공 측정장치

제1항에 있어서, 열원(1)의 전기, 레이저 또는 기체인 것을 특징으로 하는 장치

제2항에 있어서, 열원(1)이 He-Ne 레이저인 것을 특징으로 하는 장치

제1항에 있어서, 스폿 크기 조절기(9)가 반사경(7) 및 시편 이송기(10) 사이의 반사광(8)의 통로에 위치하는 것을 특징으로 하는 장치

제1항에 있어서, 시편 이송기(10)이 1축, 2축 또는 다축 이송기인 것을 특징으로 하는 장치

제5항에 있어서, 시편 이송기(10)이 제어 컴퓨터(5)에 의해서 제어되는 구동장치에 의하여 구동되는 것을 특징으로 하는 장치

제1항에 있어서, 열원 단속기(3)이 신호 처리기(6)에서 발생되는 신호(Vref)에 의해 주기적으로 열원을 차단하는 것을 특징으로 하는 장치

제7항에 있어서, 열원 단속기(3)의 단속 주기가 시편의 열전도도에 따라서 결정되는 것을 특징으로 하는 장치

제1항 내지 제8항의 어느 하나의 항에 있어서, 상기 시편 표면 온도 데이타로부터 시편의 내부 기공 체적비를 계산하는 데에 다음 관계식,

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시편을 시편 이송장치에 고정하고, 시편의 단속적으로 열을 공급하여 열진동을 유기하고, 이 열진동에 의한 시편의 표면 온도 변화를 감지하고, 감지된 온도 신호를 증폭시키고, 증폭된 온도 신호를 온도 데이타로서 처리하고, 처리된 온도 신호로부터 기공의 체적비를 계산하는 공정의 결합으로 구성되는 것을 특징으로 하는 표면 열진동을 이용한 초소성 성형 제품의 내부 기공 분포 측정 방법

제10항에 있어서, 상기 시편에 단속적으로 열을 공급하는 공정에는 시편의 열 전도도에 따라서 열원을 주기적으로 차단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법

제11항에 있어서, 상기 증폭된 온도 신호를 처리하는 공정에서 증폭된 온도 신호를 열원을 차단하는 신호(Vref)와 상관시켜 크기 데이타와 위상 데이타로 구분하여 처리하는 것을 특징으로 하는 방법

제10항에 있어서, 상기 시편에 단속적으로 열을 공급하는 공정에는 열원으로부터 나오는 열을 주기적으로 차단하는 단계와, 주기적으로 차단되어 단속적으로된 열선을 적절한 스폿 크기로 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법

제10항 내지 제13항의 어느 하나의 항에 있어서, 상기 온도 데이타로부터 시편의 내부 기공 체적비를 계산하는 데에는 다음 관계식,

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