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공초점 현미경에 있어서,시편으로 조사된 광이 통과하고, 상기 시편으로 조사된 광에 의해 상기 시편으로부터 반사된 반사광이 통과하는 대물렌즈;빔 스플리터에 의하여 상기 반사광이 분할된 제1 반사광이 통과하는 제1 핀홀;상기 제1 반사광과 방향이 다르게 빔 스플리터에 의하여 상기 반사광이 분할된 제2 반사광이 통과하고, 상기 제1 핀홀과 크기가 상이한 제2 핀홀; 및상기 제1 반사광의 제1 세기 및 상기 제2 반사광의 제2 세기에 기반하여 상기 공초점 현미경에 의해 관찰되는 시편의 높이의 정보를 검출하는 처리부를 포함하고,상기 처리부는 상기 대물렌즈의 초점 평면의 수직 방향으로의 위치의 변화에 대한 상기 제1 핀홀을 통과한 상기 위치로부터의 반사광의 세기의 변화를 나타내는 제1 응답 곡선 및 상기 위치의 변화에 대한 상기 제2 핀홀을 통과한 상기 위치로부터의 반사광의 세기의 변화를 나타내는 제2 응답 곡선을 획득하고,상기 제1 응답 곡선 및 상기 제2 응답 곡선의 비로서 생성되는 새로운 응답 곡선을 획득하고,상기 제1 세기 및 상기 제2 세기의 비로서 획득되는 값을 상기 새로운 응답 곡선에 대입함으로써 상기 정보를 검출하고,상기 제2 핀홀의 크기는 상기 제1 핀홀의 크기 보다 더 크고,상기 처리부는 수학식 1에 따라 상기 제1 응답 곡선을 상기 제2 응답 곡선으로 나눔으로써 의해 상기 새로운 응답 곡선을 획득하고,[수학식 1]상기 Ip1(R,z)는 상기 제1 응답 곡선이고, 상기 Ip2(R,z)는 상기 제2 응답 곡선이고, 상기 R은 소정의 시편의 반사도고, 상기 z는 상기 대물렌즈의 초점으로부터의 거리이고, 상기 IRp1p2(R,z)는 상기 새로운 응답 곡선이고,상기 새로운 응답 곡선에 상기 제1 세기에 상기 제2 세기를 나눈 값을 대입함으로써 검출되는 z값을 상기 정보로서 검출하는, 공초점 현미경
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제1항에 있어서,빔 스플리터를 더 포함하고,상기 빔 스플리터는 상기 반사광을 상기 제1 반사광 및 상기 제2 반사광으로 분할하고, 상기 제1 반사광은 상기 제1 핀홀을 통과하고, 상기 제2 반사광은 상기 제2 핀홀을 통과하는, 공초점 현미경
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제1항에 있어서,상기 제1 응답 곡선 및 상기 제2 응답 곡선은 실험에 의해 사전에 획득된, 공초점 현미경
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공초점 현미경에 있어서,시편으로 조사된 광이 통과하고, 상기 시편으로 조사된 광에 의해 상기 시편으로부터 반사된 반사광이 통과하는 대물렌즈;빔 스플리터에 의하여 상기 반사광이 분할된 제1 반사광이 통과하는 제1 핀홀;상기 제1 반사광과 방향이 다르게 빔 스플리터에 의하여 상기 반사광이 분할된 제2 반사광이 통과하고, 상기 제1 핀홀과 크기가 상이한 제2 핀홀; 및상기 제1 반사광의 제1 세기 및 상기 제2 반사광의 제2 세기에 기반하여 상기 공초점 현미경에 의해 관찰되는 시편의 높이의 정보를 검출하는 처리부를 포함하고,상기 처리부는 상기 대물렌즈의 초점 평면의 수직 방향으로의 위치의 변화에 대한 상기 제1 핀홀을 통과한 상기 위치로부터의 반사광의 세기의 변화를 나타내는 제1 응답 곡선 및 상기 위치의 변화에 대한 상기 제2 핀홀을 통과한 상기 위치로부터의 반사광의 세기의 변화를 나타내는 제2 응답 곡선을 획득하고,상기 제1 응답 곡선 및 상기 제2 응답 곡선의 비로서 생성되는 새로운 응답 곡선을 획득하고,상기 제1 세기 및 상기 제2 세기의 비로서 획득되는 값을 상기 새로운 응답 곡선에 대입함으로써 상기 정보를 검출하고,상기 제1 응답 곡선 및 상기 제2 응답 곡선의 x축은 상기 대물렌즈의 초점으로부터의 위치를 나타내고, 상기 초점의 위치는 상기 x축의 0의 좌표에 대응하고, 상기 제1 응답 곡선 및 상기 제2 응답 곡선의 y축은 광의 세기를 나타내고,상기 처리부는 상기 제1 응답 곡선 및 상기 제2 응답 곡선의 상기 x축의 좌표가 0 이상인 부분 또는 0 이하인 부분만을 사용하여 상기 새로운 응답 곡선을 획득하고,상기 제1 세기 및 상기 제2 세기의 비로서 획득되는 값과 일치하는 상기 새로운 응답 곡선의 y축의 좌표 값에 대응하는 상기 새로운 응답 곡선의 x축의 좌표 값을 상기 정보로서 검출하는, 공초점 현미경
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제1항에 있어서,상기 제1 응답 곡선 및 상기 제2 응답 곡선은 정규화된 광의 세기에 대한 응답 곡선인, 공초점 현미경
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제1항에 있어서,상기 높이의 정보는 상기 시편의 표면 상의 복수의 위치들의 높이들의 정보인, 공초점 현미경
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제8항에 있어서,상기 시편은 상기 대물렌즈의 초점 평면 상에서 스캔되고,상기 처리부는 스캔된 상기 시편의 위치들에 대응하는 높이들의 정보를 검출하는, 공초점 현미경
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제1항에 있어서,빔 스캐너를 더 포함하고,상기 빔 스캐너는 상기 대물렌즈를 통해 상기 시편으로 조사되는 광이 조사되는 상기 시편 상의 위치를 변경함으로써, 상기 시편을 2차원 평면 스캔하고, 상기 처리부는 스캔된 상기 시편의 위치들에 대응하는 높이들의 정보를 검출하는, 공초점 현미경
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제10항에 있어서,상기 빔 스캐너는 공진형 스캐너 및 갈바노 거울을 포함하는, 공초점 현미경
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공초점 현미경이 시편의 높이의 정보를 검출하는 방법에 있어서,대물렌즈는 시편으로 조사된 광을 통과시키고, 상기 시편으로 조사된 광에 의해 상기 시편으로부터 반사된 반사광을 통과시키는 단계;제1 핀홀은, 빔 스플리터에 의하여 상기 반사광이 분할된 제1 반사광을 통과시키고, 상기 제1 핀홀과 크기가 상이한 제2 핀홀은, 상기 제1 반사광과 방향이 다르게 빔 스플리터에 의하여 상기 반사광이 분할된 제2 반사광을 통과시키는 단계;처리부가, 상기 제1 반사광의 제1 세기 및 상기 제2 반사광의 제2 세기를 검출하는 단계;처리부가, 상기 제1 세기 및 상기 제2 세기에 기반하여 상기 공초점 현미경에 의해 관찰되는 시편의 높이의 정보를 검출하는 단계;를 포함하고,상기 제2 핀홀의 크기는 상기 제1 핀홀의 크기 보다 더 크고,상기 정보를 검출하는 단계는,(i) 상기 처리부가 상기 대물렌즈의 초점 평면의 수직 방향으로의 위치의 변화에 대한 상기 제1 핀홀을 통과한 상기 위치로부터의 반사광의 세기의 변화를 나타내는 제1 응답 곡선 및 상기 위치의 변화에 대한 상기 제2 핀홀을 통과한 상기 위치로부터의 반사광의 세기의 변화를 나타내는 제2 응답 곡선을 획득하는 단계;(ii) 상기 제1 응답 곡선 및 상기 제2 응답 곡선의 비로서 생성되는 새로운 응답 곡선을 획득하는 단계; 및(iii) 상기 처리부가 상기 제1 세기 및 상기 제2 세기의 비로서 획득되는 값을 상기 새로운 응답 곡선에 대입함으로써 상기 정보를 검출하는 단계를 포함하고,상기 새로운 응답 곡선을 획득하는 단계는,상기 처리부가 수학식 1에 따라 상기 제1 응답 곡선을 상기 제2 응답 곡선으로 나눔으로써 의해 상기 새로운 응답 곡선을 획득하고,[수학식 1]상기 Ip1(R,z)는 상기 제1 응답 곡선이고, 상기 Ip2(R,z)는 상기 제2 응답 곡선이고, 상기 R은 소정의 시편의 반사도고, 상기 z는 상기 대물렌즈의 초점으로부터의 거리이고, 상기 IRp1p2(R,z)는 상기 새로운 응답 곡선이고,상기 새로운 응답 곡선에 상기 제1 세기에 상기 제2 세기를 나눈 값을 대입함으로써 검출되는 z값을 상기 정보로서 검출하는, 시편의 높이의 정보를 검출하는 방법
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