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자기변형합금박막실리콘마이크로캔티레버

  • 기술번호 : KST2015120350
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 두께가 약 1 내지 20㎛인 실리콘 마이크로 구조물에 다음의 조성식, SmxFey[이때, x, y는 원자%로서, 23≤x≤58, 및 42≤y≤77(단, x+y=100)]또는, SmxFeyBz[이때, x, y, z는 원자%서, 23≤x≤57.6, 42≤y≤76.3, 및 0.4≤z≤0.7(단, x+y+z=100)]으로 이루어진 거대 자기변형 합금 박막이 코팅되어 있는 자기변형 합금 박막 실리콘 캔티레버에 대한 것으로서, 본 발명의 캔티레버는 낮은 자기장에서도 큰 변위를 갖는다.
Int. CL C23C 14/06 (2000.01) C23C 14/34 (2000.01)
CPC C23C 14/185(2013.01) C23C 14/185(2013.01) C23C 14/185(2013.01)
출원번호/일자 1019980002647 (1998.01.31)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0263741-0000 (2000.05.20)
공개번호/일자 10-1999-0066594 (1999.08.16) 문서열기
공고번호/일자 (20000801) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1998.01.31)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임상호 대한민국 서울특별시 성북구
2 한석희 대한민국 서울특별시 노원구
3 김희중 대한민국 서울특별시 서초구
4 유광윤 대한민국 서울특별시 강남구
5 최용석 대한민국 서울특별시 동대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주성민 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)
2 장수길 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1998.01.31 수리 (Accepted) 1-1-1998-0008437-34
2 특허출원서
Patent Application
1998.01.31 수리 (Accepted) 1-1-1998-0008436-99
3 출원심사청구서
Request for Examination
1998.01.31 수리 (Accepted) 1-1-1998-0008438-80
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.05.26 수리 (Accepted) 4-1-1999-0075472-64
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
1999.12.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0373462-18
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
11 의견서
Written Opinion
2000.02.09 수리 (Accepted) 1-1-2000-5041022-20
12 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2000.02.09 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2000-5041023-76
13 등록사정서
Decision to grant
2000.04.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0083746-48
14 FD제출서
FD Submission
2000.05.19 수리 (Accepted) 2-1-2000-5080743-68
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

실리콘 기판과, 상기 기판의 한 면에 코팅된 하기의 조성식을 갖는 Sm-Fe계 거대 자기변형 합금·박막으로 구성된 것을 특징으로 하는 자기변형 합금 박막 실리콘 마이크로 캔티레버

2 2

실리콘 기판과, 상기 기판의 한 면에 코팅된 하기의 조성식을 갖는 Sm-Fe-B계 거대 자기변형 합금 박막으로 구성된 것을 특징으로 하는 자기변형 합금 박막 실리콘 마이크로 캔티레버

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.