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박막 제조방법

  • 기술번호 : KST2015120509
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막 제조방법에 관한 것으로, 종래 박막 제조방법은 졸-겔법에 의하여 박막을 제조할때 건조 첨가제를 사용하여, 박막에 크랙이 발생하는 것을 방지하였으나, 그 박막형성과정에서 건조 첨가제를 모두 증발시키기 위해 시간과 에너지가 많이 소모되는 문제점이 있었다. 이와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 용매와 증류수의 혼합비를 조절하여 졸 용액의 표면장력을 제어하여 건조 첨가제를 사용한 경우와 같이 양질의 박막 평활도를 구현함으로써, 높은 끓는 점을 갖는 건조 첨가제를 증발시키기 위해 필요한 시간 및 에너지를 절약할 수 있으며, 건조 첨가제가 박막에 잔류할 경우 발생하는 박막의 특성 저하를 방지하여 박막의 특성을 향상시키는 효과가 있다.졸, 겔, 건조 첨가제
Int. CL H01L 21/203 (2006.01)
CPC H01L 21/02282(2013.01)
출원번호/일자 1019990000812 (1999.01.14)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0275795-0000 (2000.09.23)
공개번호/일자 10-2000-0050738 (2000.08.05) 문서열기
공고번호/일자 (20001215) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1999.01.14)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김인태 대한민국 경기도성남시분당구
2 박재관 대한민국 서울특별시노원구
3 조운조 대한민국 경기도의정부시
4 박재환 대한민국 서울특별시마포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원서
Patent Application		 1999.01.14 수리 (Accepted) 1-1-1999-0001600-18
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document		 1999.01.15 수리 (Accepted) 1-1-1999-5008856-24
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.05.26 수리 (Accepted) 4-1-1999-0075472-64
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
6 등록사정서
Decision to grant		 2000.09.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0230167-27
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1

박막재료가 용해된 졸 용액을 기판 또는 특정 박막의 상부에 회전법에 의해 코팅하는 단계와; 상기 코팅된 용액을 건조시켜 겔상태의 박막을 형성하는 단계로 이루어지는 박막 형성방법에 있어서, 상기 졸 용액은 건조 첨가제를 첨가하지 않고, 용매와 증류수의 혼합비를 조절하여 졸 용액의 표면 장력을 제어한 것을 특징으로 하는 박막 제조방법

2 2

제 1항에 있어서, 상기 졸 용액은 1몰(mol)의 증류수에 대하여 2몰(mol) 이상의 용매를 혼합하여 졸 용액의 표면장력을 35dyne/cm 미만으로 조절하는 것을 특징으로 하는 박막 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.