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스퍼터링 타겟의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015120682
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 스퍼터링 타겟의 제조방법에 관한 것으로서, 소모된 스퍼터링 타겟을 타겟 고정부로부터 분리하는 단계와; 타겟에서 심하게 소모된 부위 근방을 타겟으로부터 절단 분리하는 단계와; 타겟과 동일한 재질로 되어 있으며 상기 분리된 부분의 형상에 맞도록 형성된 조립부재를 끼워 조립하는 단계와; 조립된 타겟을 타겟 고정부에 부착하는 단계를 포함하여 구성되는 스퍼터링 타겟의 제조방법을 제공하여, 아이티오 타겟과 같은 화합물형 타겟 내지 산화물 타겟에 적용하여 불균일하게 마모된 타겟을 저비용으로 재생하여 다시 사용할 수 있도록 함으로써 타겟의 낭비를 방지할 수 있도록 한 것이다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01)
CPC H01J 37/3491(2013.01) H01J 37/3491(2013.01)
출원번호/일자 1020000032685 (2000.06.14)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0333502-0000 (2002.04.09)
공개번호/일자 10-2001-0111908 (2001.12.20) 문서열기
공고번호/일자 (20020425) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.06.14)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 나종갑 대한민국 서울특별시도봉구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2000-0120857-74
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
3 등록결정서
Decision to grant		 2002.03.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0083338-03
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
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소모된 스퍼터링 타겟을 타겟 고정부로부터 분리하는 단계와; 타겟에서 심하게 소모된 부위 근방을 타겟으로부터 절단 분리하는 단계와; 타겟과 동일한 재질로 되어 있으며 상기 분리된 부분의 형상에 맞도록 형성된 조립부재를 끼워 조립하는 단계와; 조립된 타겟을 타겟 고정부에 부착하는 단계를 포함하여 구성되는 스퍼터링 타겟의 제조방법

2 2

제 1 항에 있어서, 상기 조립부재의 측면을, 타겟 고정부로부터 예각으로 측정하였을 때 45도 내지 80도의 경사각을 갖도록 경사지게 형성하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟의 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.