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다이아몬드막의 제조방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2015120761
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기상합성법에 의한 다이아몬드막 합성법에서, 중요 변수중의 하나인 기판온도를 분말을 사용하여 정확하고, 일정하게 유지함으로써 파괴없는 다이아몬드웨이퍼 합성을 가능하게 하는 방법에 관한 것이다. 다이아몬드막이 합성되는 기판 아래에 유동성이 있는 분말층을 만들어, 이 층을 기판과 기판홀더 사이의 열전달 매체로 사용하였다. 이 구조에서 기판에서 기판홀더로의 열전달은 분말층을 통하여 이루어지기 때문에, 사용하는 분말의 종류, 분말의 모양, 크기 및 크기분포, 분말 층의 높이를 변화를 통해 열전달을 제어할 수 있어 기판온도를 정확히 조절할 수 있다. 다이아몬드, 기상화학증착법, 기판, 기판온도제어, 응력, 파괴, 휨
Int. CL C23C 16/27 (2006.01)
CPC C23C 16/46(2013.01) C23C 16/46(2013.01) C23C 16/46(2013.01)
출원번호/일자 1020010002721 (2001.01.17)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0375335-0000 (2003.02.25)
공개번호/일자 10-2002-0061768 (2002.07.25) 문서열기
공고번호/일자 (20030306) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.01.17)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재갑 대한민국 서울특별시노원구
2 은광용 대한민국 서울특별시중랑구
3 이태기 대한민국 서울특별시강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재화 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 덕천빌딩 *층 이재화특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.01.17 수리 (Accepted) 1-1-2001-0011865-40
2 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2001.07.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2001-0190996-10
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
4 등록결정서
Decision to grant		 2002.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0416899-16
5 일부청구항 포기서
Request for Abandonment of Partial Claims		 2003.02.25 수리 (Accepted) 2-1-2003-0023228-61
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1

기상합성법에 의한 다이아몬드막의 제조방법에 있어서, 다이아몬드막이 증착되는 기판과 이 기판이 놓여지는 기판홀더 사이에 유동성이 있는 분말층을 형성하여 이 분말층을 기판과 기판홀더 사이의 열전달 매체로 이용하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드막의 제조방법

2 2

제 1항에 있어서, 상기 분말층은 금속 또는 세라믹분말로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다이아몬드막의 제조방법

3 3

제 1 또는 2항에 있어서, 상기 분말층을 구성하는 분말의 직경은 1㎜ 이하의 분말입자를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드막의 제조방법

4 4

제 1항에 있어서, 상기 기판과 기판홀더와의 접촉부의 외측에는 분말층의 외부이탈을 방지하기 위한 이탈방지부재를 형성하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드막의 제조방법

5 5

제 4항에 있어서, 상기 이탈방지부재는 링인 것을 특징으로 하는 다이아몬드막의 제조방법

6 6

다이아몬드막이 증착되는 기판, 상기 기판을 지지하는 기판홀더 및 이들을 수용하며 플라즈마 발생장치와 연결된 진공용기를 포함하는 기상합성법에 의한 다이아몬드막의 제조장치에 있어서,

상기 제조장치는, 상기 기판과 기판홀더와의 사이에 형성된 분말층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드막의 제조장치

7 7

청구항 7(은)는 설정등록료 납부시 포기되었습니다

8 8

청구항 8(은)는 설정등록료 납부시 포기되었습니다

9 9

청구항 9(은)는 설정등록료 납부시 포기되었습니다

10 10

청구항 10(은)는 설정등록료 납부시 포기되었습니다

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