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비정질 붕화규소계 유리 40 ~ 60 중량%와 40 ~ 60%의 충진제로 구성되며, 상기 붕화규소계 유리는 SiO2와 B2O3를 주원료로 하고, 여기에 소결조제로서 Na2O, MgO, Li2O, Al2O3 중에서 선택되는 어느 하나 이상의 알칼리 산화물이 포함되며, 상기 충진제는 석영 또는 용융실리카 중에서 선택되는 어느 하나 이상이고, 유전율이 1MHz에서 3
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제1항에 있어서, 상기 붕화규소계 유리의 SiO2의 비율은 66 ~ 72 중량%의 범위인 저온 소성 유전체 세라믹 조성물
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제2항에 있어서, 알칼리산화물 중 Li2O의 함량이 1
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제2항에 있어서, 알칼리산화물 중 Na2O와 Li2O의 함량이 2
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제1항에 있어서, 상기 조성물의 유전손실은 1MHz에서 0
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(1) 하기의 단계에 의하여 붕화규소유리를 제조하고; 붕화규소유리 원료로 SiO2및 B2O3와, 소결조제로서 Al2O3, Na2O, K2O, Li2O 중에서 선택되는 어느 하나 이상의 알칼리 산화물을 건식혼합하고, 혼합된 분말을 1700℃까지 열처리한 후 급냉하여 붕화규소 유리를 제조하고, 급냉시킨 붕화규소 유리를 건조시킨 후 분쇄하고, (2) 하기의 단계에 의하여 붕화규소와 충진제를 혼합물을 얻고; 상기 (1)의 단계에서 얻어진 붕화규소 유리 40 ~ 60%와 충진제로서 석영, 용융실리카 중에서 선택되는 어느 하나의 물질 40 ~ 60%를 습식혼합하여 슬러리를 준비하고, 혼합된 슬러리를 건조시키고, 건조된 혼합물을을 분쇄하여 미립의 분말을 얻고, (3) 상기 미립의 분말을 성형하고; (4) 성형체를 800℃ ~ 950℃의 온도 범위에서 2시간 동안 소결하여 유전율이 1MHz에서 3
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제6항에 있어서, 붕화규소 유리 내의 SiO2의 비율은 66 ~ 72중량%인 저온 소성 유전체 세라믹 제조방법
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제6항에 있어서, 단계 (1)의 붕화규소 유리를 건조하고 분쇄하는 방법은 붕화규소 유리를 1차 건조한 후, 모르타르를 사용하여 1차 분쇄하고, 안정화 지르코니아볼(YSZ)과 에탄올을 사용하여 2차 분쇄하고, 분쇄된 분말을 2차 건조하고, 건조된 분말을 모르타르를 사용하여 3차 분쇄하는 것으로 이루어지는 저온 소성 유전체 세라믹 제조방법
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