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텅스텐 함유 다이아몬드상 탄소박막 및 그 제조방법,그리고 그에 따른 치과용구

  • 기술번호 : KST2015121113
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 측면에 따른 텅스텐 함유 다이아몬드상 탄소박막은 박막형의 비정질 탄소 기지와; 상기 탄소 기지에 원자 상태로 첨가되는 텅스텐을 포함하고, 상기 텅스텐은 상기 탄소 기지의 이차상이 생기지 않는 범위까지 첨가되는 것을 특징으로 하여 이루어진다. 또한, 본 발명의 다른 측면에 따른 텅스텐 함유 다이아몬드상 탄소박막의 제조방법은 (a) 복합 코팅 장비의 진공 챔버 내의 지지대에 대상체를 고정하는 단계와; (b) 상기 대상체를 향하여 이온빔을 분사하면서, Ar 분율을 조절하여 상기 대상체를 향해 스퍼터링되는 텅스텐의 함량을 2.3 ~ 3.3 at.% 범위로 조절하는 단계를 포함하여 이루어진다. 나아가, 본 발명의 또 다른 측면에 따른 텅스텐 함유 다이아몬드상 탄소박막이 코팅된 치과용구는 위와 같은 텅스텐 함유 다이아몬드상 탄소박막의 제조방법에 따라 제조된다. 이러한 구성에 따르면, 탄소박막 및 이를 채용한 대상체는 그 기계적인 특성이 우수하면서도 잔류응력이 또한 낮아져서 내구성이 향상된다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C23C 16/26 (2006.01)
CPC C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자 1020050050557 (2005.06.13)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0649091-0000 (2006.11.16)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20061127) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.06.13)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이광렬 대한민국 서울특별시 서초구
2 왕애영 중국 차이나, 쉔양시티

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.06.13 수리 (Accepted) 1-1-2005-0311610-12
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.07.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0391697-18
3 의견서
Written Opinion		 2006.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2006-0602806-46
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.08.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0602808-37
5 등록결정서
Decision to grant		 2006.11.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0657061-52
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1
박막형의 비정질 탄소 기지와;상기 탄소 기지에 원자 상태로 첨가되는 텅스텐을 포함하고,상기 텅스텐은 상기 탄소 기지의 이차상이 생기지 않는 범위까지 첨가되는 것을 특징으로 하는 텅스텐 함유 다이아몬드상 탄소박막
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 범위는 2
4 4
제1항에 있어서,상기 텅스텐은 2
5 5
박막형의 비정질 탄소 기지와;상기 탄소 기지에 원자 상태로 첨가되는 텅스텐을 포함하고,상기 텅스텐은 2
6 6
(a) 복합 코팅 장비의 진공 챔버 내의 지지대에 대상체를 고정하는 단계와;(b) 상기 대상체를 향하여 이온빔을 분사하면서, Ar 분율을 조절하여 상기 대상체를 향해 스퍼터링되는 텅스텐의 함량을 2
7 7
제6항에 있어서,상기 (a) 단계의 지지대는 상기 대상체가 상기 (b) 단계의 이온빔의 분사 방향에 대하여 5~15°경사진 채로 자전하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 텅스텐 함유 다이아몬드상 탄소박막의 제조방법
8 8
제7항에 있어서,상기 (b) 단계의 이온빔의 이온원은 기화된 벤젠인 것을 특징으로 하는 텅스텐 함유 다이아몬드상 탄소박막의 제조방법
9 9
삭제
10 10
제6항 내지 제8항 중 어느 한 항의 방법에 따라 표면이 코팅된 것을 특징으로 하는 텅스텐 함유 다이아몬드상 탄소박막 코팅 치과용구
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