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직류전원플라즈마화학증착법에 의한 다이아몬드막 합성장치

  • 기술번호 : KST2015121832
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 직류전원플라즈마화학증착(DC PACVD)법에 의한 다이아몬드막의 합성장치에 관한 것으로서, 특히 여러개의 음극을 사용한 다음극 DC PACVD법에 있어서 일정한 합성면적에서 합성된 막의 결정도 및 균일성(uniformity)을 극대화할 수 있도록 음극의 수 및 구조가 설계된다. 본 발명에 의한 DC PACVD 장치는 가운데 하나의 음극을 기준으로 여섯 개의 음극들이 60°간격으로 유지된 7-음극 구조를 가지며, 이 음극배열에서 기본단위는 정삼각형의 형태로서 이 정삼각형의 꼭지점에 각 음극이 배치된 구조를 가진다. 이 때 각 음극간의 거리는 43mm 정도를 유지한다. 이 기본 단위는 합성 면적을 8˝, 12˝로 증가시킬 경우에도 적용될 수 있다. 본 발명에 의한 7-음극 구조의 DC PACVD 장치는 막 두께 500㎛ 이상의 후막에서 최대 3.5%의 높은 막 두께의 균일성을 실현할 수 있다. 또한 본 발명은 각 음극에서의 온도차를 최소화할 수 있도록 음극 구조를 설계하여 음극온도 불균일에 기인된 합성장치의 불안정성을 완전히 제거하여 100%에 가까운 장치의 신뢰성을 실현할 수 있다.
Int. CL C23C 16/52 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1019990021389 (1999.06.09)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0296392-0000 (2001.05.09)
공개번호/일자 10-2001-0001896 (2001.01.05) 문서열기
공고번호/일자 (20010712) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1999.06.09)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재갑 대한민국 서울특별시노원구
2 백영준 대한민국 서울특별시노원구
3 은광용 대한민국 서울특별시중랑구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원서
Patent Application		 1999.06.09 수리 (Accepted) 1-1-1999-0058720-02
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2001.02.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2001.03.09 수리 (Accepted) 9-1-2001-0002782-02
5 등록사정서
Decision to grant		 2001.04.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0098756-80
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1

진공챔버(1)와, 상기 진공챔버와 O-ring(12) 결합되는 상판(11)에 고정되어 있고 안정저항(9)을 거쳐 외부의 서로 독립된 직류전원장치(8)에 연결된 다수의 구리블럭(6)과, 상기 구리블럭(6)에 한 쪽이 연결된 다수의 현수봉(5)과, 상기 현수봉의 다른 한 쪽에 연결되어 있는 다수의 음극과, 상기 음극과 일정한 간격을 유지하면서 상면에는 기판(3)이 있고 다른 한쪽은 접지(10)되어 있는 양극(7)과, 상기 진공챔버의 한 쪽 벽에 위치하는 진공 펌프(14) 및 가스 유입구(13)로 이루어지는 직류전원플라즈마화학증착법에 의한 다이아몬드막 합성 장치에 있어서, 상기 음극의 수는 7개이고 음극 구조는 가운데 하나의 음극을 기준으로 여섯 개의 음극들이 60˚간격으로 위치한 방사선 모양으로 배열되어 정삼각형의 각 꼭지점에 각 음극을 배치하는 형태를 갖는 것을 특징으로하는 직류전원플라즈마화학증착법에 의한 다이아몬드막 합성장치

2 2

제 1 항에 있어서, 상기 음극의 형태는 봉상이나 삼각 또는 사각기둥의 형태를 갖는 것을 특징으로하는 직류전원플라즈마화학증착법에 의한 다이아몬드막 합성장치

3 3

제 1 항에 있어서, 상기 음극은 각 음극의 중심간 거리가 20 ~ 50mm의 범위를 유지하는 것을 특징으로하는 직류전원플라즈마화학증착법에 의한 다이아몬드막 합성장치

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