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높은 변형율과 빠른 동작 속도를 가진 초소형 작동기와 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015121987
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 초소형 작동기로서, 일단이 고정된 기판과, 상기 기판 위에 증착된, 상변화시 상변화 속도, 변형율 및 응력이 큰 상변화 막과, 상기 상변화 물질 막 위에 증착된 보호 절연막과, 상기 상변화 막의 상변화를 유도하기 위한 열에너지 공급을 위한 전류 펄스 공급장치를 포함하고, 상기 상변화 막의 상변화에 따른 그 부피 및 잔류응력의 변화로 상기 기판의 타단을 움직이도록 하는 것을 특징으로 한다. 상변화 막은 칼코지나이드 상변화 물질로 형성된다.
Int. CL H01L 41/113 (2006.01) H01L 41/08 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020117012409 (2011.05.31)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1259382-0000 (2013.04.24)
공개번호/일자 10-2011-0094294 (2011.08.23) 문서열기
공고번호/일자 (20130430) 문서열기
국제출원번호/일자 PCT/KR2008/006815 (2008.11.19)
국제공개번호/일자 WO2010058867 (2010.05.27)
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국제출원
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.31)
심사청구항수 21

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이수연 대한민국 경기도 용인시 수지구
2 정증현 대한민국 서울특별시 관악구
3 정병기 대한민국 서울특별시 성동구
4 김원목 대한민국 서울특별시 노원구
5 정두석 대한민국 강원도 원주시 송

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 제일특허법인(유) 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허법 제203조에 따른 서면
[Patent Application] Document according to the Article 203 of Patent Act		 2011.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2011-0407346-33
2 수리안내서
Notice of Acceptance		 2011.06.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0053637-59
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0579018-98
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.11.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0952876-93
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0952875-47
6 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2013.01.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0052457-92
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.01.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0084763-06
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-0084762-50
9 등록결정서
Decision to grant		 2013.04.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0267743-21
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1
초소형 작동기로서,일단이 고정된 기판과,상기 기판 위에 증착된 상변화 막과,상기 상변화 막 위에 증착된 보호 절연막과,상변화를 유도하기 위해 상기 상변화 막에 열에너지 공급을 위한 전류 펄스를 공급하는 전류 펄스 공급 장치를 포함하고,상기 상변화에 따른 상기 상변화 막의 부피 및 잔류응력의 변화에 의해 상기 기판의 타단이 움직이는초소형 작동기
2 2
제 1항에 있어서,상기 상변화 막은 칼코지나이드 상변화 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 초소형 작동기
3 3
제 2항에 있어서,상기 칼코지나이드 상변화 물질은 Ge2Sb2Te5 또는 AgInSbTe 인것을 특징으로 하는 초소형 작동기
4 4
제 1항에 있어서,상기 기판은 상기 상변화 막의 잔류응력 변화에 따라 움직이도록 그 크기와 모양이 결정되는 것을 특징으로 하는 초소형 작동기
5 5
제 4항에 있어서,상기 기판은 단결정 SiO2 또는 SiO2와 Si의 이층막으로 구성되는 것을 특징으로 하는 초소형 작동기
6 6
삭제
7 7
제 1항에 있어서,상기 초소형 작동기는,상기 상변화 막 상에 형성되어 상기 전류 펄스가 인가되는 전극을 더 포함하는 초소형 작동기
8 8
제 1항에 있어서,상기 보호 절연막은 상기 상변화막의 가열 효율을 높이기 위해 전기적 절연물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 초소형 작동기
9 9
제 1항에 있어서,상기 보호 절연막은 SiO2, ZnS- SiO2, 또는 SiN 중 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 초소형 작동기
10 10
제 1항에 있어서,상기 기판과 상기 상변화 막의 화학반응을 차단하고 상기 상변화 막의 변형이 상기 기판에 잘 전달되도록 접착성을 갖는 버퍼막을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 초소형 작동기
11 11
제 10항에 있어서,상기 버퍼막은 SiO2, ZnS- SiO2, SiN, 또는 TiN과 Ti의 이층막 중 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 초소형 작동기
12 12
제 1항에 있어서,상기 기판의 타단은 상기 상변화 막을 상기 전류 펄스 공급장치로 결정화 온도 이상으로 가열하여 결정화시키고 이때 발생하는 부피 감소 및 잔류 응력으로 휘는 것을 특징으로 하는 초소형 작동기
13 13
제 12항에 있어서,상기 휜 기판의 타단은 상기 결정화된 상변화 막을 상기 전류 펄스 공급장치로 녹는점 이상으로 가열후 급랭하여 비정질화시키고 이때 발생하는 부피 증가 및 잔류 응력의 해제로 원위치로 돌아가는 것을 특징으로 하는 초소형 작동기
14 14
초소형 작동기의 제조방법에 있어서,일단이 고정된 기판상에 상변화 막을 증착하는 단계와,상기 상변화 막 위에 보호 절연막을 증착하는 단계와,상기 상변화 막에서의 상변화를 통해 그 부피 및 잔류응력이 변화되어 상기 기판의 타단이 움직이도록 상기 상변화 막에 전류 펄스를 공급하는 전류 펄스 공급장치를 제공하는 단계를 포함하는 초소형 작동기의 제조방법
15 15
제 14항에 있어서,상기 상변화 막은 스퍼터링 또는 증발 증착 방법으로 증착되는 것을 특징으로 하는 초소형 작동기의 제조방법
16 16
제 14항에 있어서,상기 상변화 막은 증착후 원하는 모양으로 패터닝되거나 섀도우 마스크로 원하는 모양으로 증착되는 것을 특징으로 하는 초소형 작동기의 제조방법
17 17
제 14항에 있어서,상기 제조 방법은,상기 보호 절연막의 증착 전에, 상기 상변화 막의 상부 일부에 상기 전류 펄스가 인가되는 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 초소형 작동기의 제조 방법
18 18
제 14항에 있어서,상기 기판과 상기 상변화 막 사이에 상기 기판과 상기 상변화 막의 화학반응을 차단하고 상기 상변화 막의 변형이 상기 기판에 잘 전달되도록 접착성을 갖는 버퍼막을 증착하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 초소형 작동기의 제조방법
19 19
제 14항에 있어서,상기 상변화 막은 Ge2Sb2Te5 또는 AgInSbTe로 구성되는 것을 특징으로 하는 초소형 작동기의 제조방법
20 20
제 14항에 있어서,상기 기판은 단결정 SiO2 또는 SiO2와 Si의 이층막으로 구성되는 것을 특징으로 하는 초소형 작동기의 제조방법
21 21
제 14항에 있어서,상기 보호 절연막은 SiO2, ZnS- SiO2, 또는 SiN 중 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 초소형 작동기의 제조방법
22 22
제 18항에 있어서,상기 버퍼막은 SiO2, ZnS- SiO2, SiN, 또는 TiN과 Ti의 이층막 중 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 초소형 작동기의 제조방법
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1 WO2010058867 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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