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박막 증착 및 조성 탐색용 스퍼터링 장치

  • 기술번호 : KST2015122000
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 스퍼터링 장치에 관한 것이다.　 본 발명은 메인 챔버; 상기 메인 챔버의 내부에 설치되고, 기판이 고정되는 기판 홀더; 상기 메인 챔버의 내부에 설치되고, 타겟이 장착되는 복수의 스퍼터 건; 상기 메인 챔버의 내부에 설치되고, 프리-스퍼터링 시 타겟의 오염을 방지하는 셔터를 포함하는 셔터 조립체; 상기 스퍼터 건과 기판의 거리 조절이 가능하도록, 상기 스퍼터 건을 이동시키는 거리 조절수단; 및 상기 스퍼터 건의 전단부에 설치되어, 스퍼터 건의 전단부와 셔터 조립체의 셔터를 내장시키며, 상기 셔터가 출입되는 출입부가 형성된 오염방지 쉴드 챔버를 포함하는 스퍼터링 장치를 제공한다.　 본 발명에 따른 스퍼터링 장치는 박막 형성 장치로서의 기능을 할 뿐만 아니라, 빠른 시간 내에 조성을 탐색할 수 있는 장치로 사용될 수 있다.　 또한, 프리-스퍼터링 시 타겟 간의 상호오염을 최소화할 수 있다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01)
CPC C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자 1020110062861 (2011.06.28)
출원인 한국과학기술연구원, 주식회사 삼원진공
등록번호/일자 10-1255524-0000 (2013.04.11)
공개번호/일자 10-2013-0001930 (2013.01.07) 문서열기
공고번호/일자 (20130423) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.28)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
2 주식회사 삼원진공 대한민국 인천 서구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최지원 대한민국 서울특별시 강남구
2 손영진 대한민국 인천광역시 서구
3 최원국 대한민국 서울특별시 양천구
4 윤석진 대한민국 서울특별시 도봉구
5 정근 대한민국 경기도 과천시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
2 주식회사 삼원진공 인천 서구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.06.28 수리 (Accepted) 1-1-2011-0492600-18
2 보정요구서
Request for Amendment		 2011.07.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0060603-72
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.08.01 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2011-0592731-03
4 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2011.08.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0071092-98
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0608701-53
6 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document		 2011.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0608699-48
7 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2011.08.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0072423-86
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.09.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.11.06 수리 (Accepted) 9-1-2012-0083052-03
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.12.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0739654-14
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.01.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0062450-16
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2013-0062449-69
13 등록결정서
Decision to grant		 2013.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0216708-59
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2013-0011295-98
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
메인 챔버(100); 상기 메인 챔버(100)의 내부에 설치되고, 기판(S)이 고정되는 기판 홀더(200); 상기 메인 챔버(100)의 내부에 설치되고, 타겟(T)이 장착되는 복수의 스퍼터 건(300); 상기 메인 챔버(100)의 내부에 설치되고, 프리-스퍼터링 시 타겟(T)의 오염을 방지하는 셔터(520)를 포함하는 셔터 조립체(500); 상기 스퍼터 건(300)과 기판(S)의 거리 조절이 가능하도록, 상기 스퍼터 건(300)을 이동시키는 거리 조절수단(400); 및 상기 스퍼터 건(300)의 전단부에 설치된 오염방지 쉴드 챔버(600)를 포함하되, 상기 스퍼터 건(300)은, 상기 타겟(T)이 장착되는 캐소드(320)와; 상기 캐소드(320)의 주위에 형성된 캐소드 쉴드(340)를 포함하며, 상기 오염방지 쉴드 챔버(600)는, 상기 스퍼터 건(300)의 전단부에 설치되고, 상기 스퍼터 건(300)의 전단부와 셔터 조립체(500)의 셔터(520)를 내장시키는 중공 부재(620)와; 상기 중공 부재(620)에 형성되고, 상기 셔터(520)가 출입되는 출입부(640)를 포함하며,상기 셔터 조립체(500)는, 상기 출입부(640)를 통해 오염방지 쉴드 챔버(600)의 내부를 출입하는 셔터(520)와; 상기 셔터(520)를 직선으로 이동시키는 선형 이동수단(540)을 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 선형 이동수단(540)은, 상기 셔터(520)에 결합된 왕복 로드(542); 상기 왕복 로드(542)를 지지하는 지지 부재(544); 및 상기 왕복 로드(542)가 직선으로 움직이게 하는 선형 이동 부재(546)를 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 스퍼터링 장치는, 상기 오염방지 쉴드 챔버(600)의 내부에 가스를 주입하는 가스 주입라인(700)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.