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특정 반응 기체에 대한 반응성에서 차이가 나는 두 가지 이상의 원소를 동시에 증착하여 합금박막을 형성하는 단계 및 상기 합금박막으로부터 특정 반응 기체에 대한 반응성이 큰 원소를 선택적으로 제거하여 다공성 박막을 제조하는 단계를 포함하는 다공성(porous) 박막 구조의 제조방법
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제1항에서, 상기 합금박막을 형성하는 단계에서 두 가지 이상의 원소를 스퍼터 증착하여 형성하는 것을 특징으로 하는 다공성 박막 구조의 제조방법
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제1항에서, 상기 합금박막은 Pt, Pd, Ru, Rh, Ag, Au, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Si, As, Ge, Os, Re, Te, Ir, Al, B, C, O, N, P, Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta 및 W 원소로 이루어지는 그룹에서 선택되는 2종 이상의 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 다공성 박막 구조의 제조방법
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제1항에서, 상기 다공성 박막을 제조하는 단계에서 선택적으로 제거되는 원소는 Si, As, Ge, Os, Re, Te, Ir, Al, B, C, O, N, P, Cu, Cr, Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta 및 W 원소로 이루어지는 그룹에서 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 다공성 박막 구조의 제조방법
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제1항에서, 상기 다공성 박막을 제조하는 단계에서는 RIE(Reactive ion etching), ICP(Inductively coupled plasma), ECR (Electron Cyclotron Resonance) 또는 helicon discharge의 방식으로 선택적으로 원소를 제거하는 것을 특징으로 하는 다공성 박막 구조의 제조방법
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제1항에서, 상기 다공성 박막을 제조하는 단계에서는 불소(F)를 포함한 비플라즈마 형태의 반응 기체군, 염소(Cl)를 포함한 비플라즈마 형태의 반응 기체군, 브롬(Br)을 포함한 비플라즈마 형태의 반응 기체군 중 1종 이상의 반응기체를 이용하여 선택적으로 원소를 제거하는 것을 특징으로 하는 다공성 박막 구조의 제조방법
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 방법으로부터 제조된 다공성 박막 구조로서 0
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제7항에서,상기 다공성 박막 구조는 0
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