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솔라셀(110)의 상부에 제1굴절률 조절층인 이산화티타늄층(120)을 형성하는 이산화티타늄층 형성단계(S210);상기 이산화티타늄층(120)의 상부에 제2굴절률 조절층인 산화아연층(130)을 형성하는 산화아연층 형성단계(S230);상기 산화아연층(130)의 상부에 세로방향 굴절률을 조절하기 위한 산화아연 나노막대(130)를 성장시켜 형성하는 산화아연 나노막대 형성단계(S250); 및상기 산화아연 나노막대(130)의 표면에 산화마그네슘층(140)을 형성하는 산화마그네슘층 형성단계(S270);를 포함하는 솔라셀의 반사방지막 형성방법
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제 1항에 있어서,상기 이산화티타늄층 형성단계(S210)는,이산화티타늄 용액을 상기 솔라셀(110)의 상부면에 주입후 고속회전시켜 도포하는 스핀코팅(Spin Coating) 방식 또는, 스프레이(Spray) 방식을 이용하여 상기 솔라셀(110)의 상부에 이산화티타늄층(120)을 형성하는 것을 특징으로 하는 솔라셀의 반사방지막 형성방법
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제 2항에 있어서,상기 이산화티타늄층 형성단계(S210)는,2
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제 3항에 있어서,상기 이산화티타늄층 형성단계(S210)는, 상기 이산화티타늄 용액을 이용하여 50 내지 100nm의 두께를 갖는 이산화티타늄층(120)을 형성하는 것을 특징으로 하는 솔라셀의 반사방지막 형성방법
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제 4항에 있어서,상기 이산화티타늄층 형성단계(S210)는,0
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제 1항에 있어서,상기 산화아연층 형성단계(S230)는,산화아연 용액을 상기 이산화티타늄층(120)의 상부면에 주입후 고속회전시켜 도포하는 스핀코팅 방식 또는, 스프레이 방식을 이용하여 상기 이산화티타늄층(120)의 상부에 산화아연층(130)을 형성하는 것을 특징으로 하는 솔라셀의 반사방지막 형성방법
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제 6항에 있어서,상기 산화아연층 형성단계(S230)는,1
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제 7항에 있어서,상기 산화아연층 형성단계(S230)는,상기 산화아연 용액을 이용하여 70 내지 120nm의 두께를 갖는 산화아연층(130)을 형성하는 것을 특징으로 하는 솔라셀의 반사방지막 형성방법
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제 8항에 있어서,상기 산화아연층 형성단계(S230)는,0
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제 1항에 있어서,상기 산화아연 나노막대 형성단계(S250)는,ZnO(NO3)2와 HTMA(Hexamethylenetetramine)를 일정 비율로 혼합한 용액으로 수열합성(Hydrothermal) 방식을 통해 오토클레이브 내에서 화학적 반응시켜, 상기 산화아연층(130)의 상부에 산화아연 나노막대(130)를 성장시키는 것을 특징으로 하는 솔라셀의 반사방지막 형성방법
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제 10항에 있어서,상기 산화아연 나노막대 형성단계(S250)는,ZnO(NO3)2와 HTMA를 20mM : 20mM의 비율로 혼합된 용액을 이용하여 상기 산화아연 나노막대(130)를 성장시켜 형성하는 것을 특징으로 하는 솔라셀의 반사방지막 형성방법
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제 11항에 있어서,산화아연 나노막대 형성단계(S250),상기 산화아연층(130)의 상부면에 UV ozone을 이용하여 표면처리를 한 후, 표면처리된 면에 상기 산화아연 나노막대(130)를 형성하는 것을 특징으로 하는 솔라셀의 반사방지막 형성방법
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제 12항에 있어서,상기 산화아연 나노막대 형성단계(S250)는,상기 ZnO(NO3)2와 HTMA를 일정 비율로 혼합한 용액의 농도와 반응시간에 따라 상기 산화아연 나노막대(130)의 길이와 두께를 조절하는 것을 특징으로 하는 솔라셀의 반사방지막 형성방법
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제 13항에 있어서,상기 산화아연 나노막대 형성단계(S250)는,상기 오토클레이브 내에 이산화티타늄층(120) 및 산화아연층(130)이 형성된 기판을 상기 오토클레이브 내에 넣은 후 90도에서 4시간 동안 반응시켜 상기 산화아연 나노막대(130)를 성장시키는 것을 특징으로 하는 솔라셀의 반사방지막 형성방법
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제 1항에 있어서,상기 산화마그네슘층 형성단계(S270)는,Mg(NO3)2와 HTMA 및 Zn(NO3)2를 일정비율로 혼합한 용액을 수열합성 방식을 통해 오토클레이브 내에서 화학적 반응시켜, 상기 산화아연 나노막대(130)의 표면에 산화마그네슘층(140)을 형성하는 것을 특징으로 하는 솔라셀의 반사방지막 형성방법
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제 15항에 있어서,상기 산화마그네슘층 형성단계(S270)는,상기 Mg(NO3)2와 HTMA 및 Zn(NO3)2를 2 : 1 : 1의 비율로 혼합한 용액을 이용하여 상기 산화마그네슘층(140)을 형성하는 것을 특징으로 하는 솔라셀의 반사방지막 형성방법
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제 16항에 있어서,상기 산화마그네슘층 형성단계(S270)는,농도의 비율을 Mg(NO3)2 : HTMA : Zn(NO3)2 = 2 : 1 : 1의 비율을 유지하되, Mg(NO3)2의 농도를 20mM 내지 60mM의 농도까지 변화시켜 상기 산화마그네슘층(140)의 두께를 조절하는 것을 특징으로 하는 솔라셀의 반사방지막 형성방법
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제 17항에 있어서,상기 산화마그네슘층 형성단계(S270)는,상기 산화아연 나노막대(130)의 표면에 1
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