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N-T-부톡시카르보닐말레이미드와스티렌유도체의공중합체제조방법및N-T-부톡시카르보닐말레이미드와스티렌유도체의공중합체를이용한내열성포지티브레지스트화상형성방법

  • 기술번호 : KST2015122714
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 내용 없음
Int. CL C08G 73/06 (2006.01)
CPC C08G 73/12(2013.01) C08G 73/12(2013.01) C08G 73/12(2013.01) C08G 73/12(2013.01) C08G 73/12(2013.01) C08G 73/12(2013.01)
출원번호/일자 1019910010272 (1991.06.21)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0084289-0000 (1995.04.24)
공개번호/일자 10-1993-0000568 (1993.01.15) 문서열기
공고번호/일자 1019950000702 (19950127) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1991.06.21)
심사청구항수 0

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안광덕 대한민국 서울특별시서초구
2 구덕일 대한민국 서울특별시노원구
3 정동욱 대한민국 서울특별시노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 문기상 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로 *** (삼성동, 우창빌딩)(문앤문국제특허법률사무소)
2 조기호 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호 코디특허법률사무소 (역삼동, 한빛빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1991.06.21 수리 (Accepted) 1-1-1991-0058921-85
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1994.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0023978-50
3 의견서
Written Opinion		 1994.10.25 수리 (Accepted) 1-1-1991-0058922-20
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1994.10.25 수리 (Accepted) 1-1-1991-0058923-76
5 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1994.12.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0023979-06
6 등록사정서
Decision to grant		 1995.04.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0023980-42
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.05.26 수리 (Accepted) 4-1-1999-0075472-64
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

N-t-부톡시카르보닐말레이미드 단량체와, 스티렌계 유도체를 라디칼 공중합시켜 N-t-부톡시카르보닐말레이미드와 스티렌 유도체의 몰비가 1 : 1인 N-t-부톡시카르보닐말레이미드와 스티렌 유도체의 공중합체 제조방법
2 2

제 1 항에 있어서, 스티렌 유도체가 스티렌, P-아세톡시스티렌, P-메틸스티렌, P-염화스티렌, m-염화메틸스티렌, P-t-부톡시카르보닐옥시스티렌, P-트리메틸시릴메틸스티렌, P-트리메틸실릴스티렌인-N-t-부톡시카르보닐말레이미드와 스티렌 유도체의 공중합체 제조방법

3 3

실리콘 웨이퍼상에 N-t-부톡시카르보닐말레이미드와 스티렌 유도체의 공중합체와 오니움염을 클로로벤젠에 용해한 용액을 스핀 도포한 다음, 전열처리(prebaking)하고 원자외선 노광후 후열처리한 다음 현상하는 내열성 포지티브 레지스타 화상형성방법

4 4

제 3 항에 있어서, 현상액이 트리메틸암모늄 히드록시드 수용액, 아니솔, 톨루엔, 메틸이소부틸케톤, 클로로포름인 것이 특징인 내열성 포지티즈 레지스트 화상형성방법

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP06080724 JP 일본 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP6080724 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JPH0680724 JP 일본 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.