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자기변형합금박막실리콘캔티레버

  • 기술번호 : KST2015123326
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 두께가 약 25 ㎛인 실리콘 구조물에 다음의 조성식, TbxFeyBz, [이때, x, y, z는 원자%로서, 43.5 ≤ x ≤ 62.4, 37.3 ≤ y ≤ 56.5, 및 z ≤ 0.4 (단, x + y + z = 100)] 으로 이루어진 거대 자기변형 합금 박막이 코팅되어 있는 자기변형 합금 박막 실리콘 캔티레버에 대한 것으로서, 본 발명의 캔티레버는 낮은 자기장에서도 큰 변위를 갖는다.
Int. CL C23C 14/06 (2006.01)
CPC C23C 14/185(2013.01) C23C 14/185(2013.01) C23C 14/185(2013.01)
출원번호/일자 1019980005499 (1998.02.21)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0275652-0000 (2000.09.22)
공개번호/일자 10-1999-0070575 (1999.09.15) 문서열기
공고번호/일자 (20001215) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1998.02.21)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임상호 대한민국 서울특별시 성북구
2 한석희 대한민국 서울특별시 노원구
3 김희중 대한민국 서울특별시 서초구
4 유광윤 대한민국 서울특별시 강남구
5 최용석 대한민국 서울특별시 동대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주성민 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)
2 장수길 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1998.02.21 수리 (Accepted) 1-1-1998-0017524-19
2 특허출원서
Patent Application		 1998.02.21 수리 (Accepted) 1-1-1998-0017522-28
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1998.02.21 수리 (Accepted) 1-1-1998-0017523-74
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.05.26 수리 (Accepted) 4-1-1999-0075472-64
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1999.12.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0373463-64
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
11 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2000.02.09 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2000-5041025-67
12 의견서
Written Opinion		 2000.02.09 수리 (Accepted) 1-1-2000-5041024-11
13 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2000.04.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0083747-94
14 의견서
Written Opinion		 2000.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2000-5177674-78
15 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2000.06.19 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2000-5177675-13
16 등록사정서
Decision to grant		 2000.08.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0203223-64
17 FD제출서
FD Submission		 2000.09.15 수리 (Accepted) 2-1-2000-5146703-78
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

실리콘 기판과, 상기 실리콘 기판의 한면에 코팅된 Tb-Fe-B계 거대 자기변형 합금 박막으로 구성되는 것을 특징으로 하는 자기변형 합금 박막 실리콘 캔티레버

2 2

제1항에 있어서, 상기 Tb-Fe-B계 거대 자기변형 합금 박막이 하기의 조성식을 갖는 것을 특징으로 하는 자기변형 합금 박막 실리콘 캔티레버

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.