| 1 |
1
구형 또는 다면체의 기하학적 모양을 갖는 다공성 모재입자를 준비하는 단계;미분의 다이아몬드가 분산된 용액에 상기 다공성 모재입자를 담그고 초음파배쓰에서 일정 시간 진동시키되, 상기 다공성 모재입자 표면의 일정 부분에는 미분의 다이아몬드가 닿지 않도록 하여, 상기 다공성 모재입자 표면의 상기 일정 부분을 제외한 모든 표면에 스크래치(scratch) 또는 잔류물을 형성시키는 선택적 전처리 단계;선택적 전처리 단계를 거친 다공성 모재입자 위에 CVD법으로 다이아몬드 막을 증착하되, 상기 다공성 모재입자 표면의 상기 일정 부분에 해당하는 부분에 열린 곳(opening)을 갖는 다이아몬드 막을 형성하여 다이아몬드/모재입자 복합체를 제조하는 단계; 및상기 복합체를 에칭용액에 담가, 상기 다공성 모재입자가 상기 열린 곳을 통해 침입하는 에칭용액을 빨아들이는 모세관 현상에 의해 상기 다공성 모재입자를 제거하는 에칭단계;를 포함하는 다이아몬드 쉘 제조방법
|
| 2 |
2
구형 또는 다면체의 기하학적 모양을 갖는 다공성 모재입자를 준비하는 단계;상기 다공성 모재입자 위에 CVD법으로 다이아몬드 막을 증착하되, 핵 밀도 조절 및 막 두께 조절로 액상이 통과할 수 있는 공극을 갖는 다이아몬드 막을 형성하여 다이아몬드/모재입자 복합체를 제조하는 단계; 및상기 복합체를 에칭용액에 담가, 상기 다공성 모재입자가 상기 공극을 통해 침입하는 에칭용액을 빨아들이는 모세관 현상에 의해 상기 다공성 모재입자를 제거하는 에칭단계;를 포함하는 다이아몬드 쉘 제조방법
|
| 3 |
3
제 2 항에 있어서,상기 다이아몬드/모재입자 복합체 제조 단계 전에, 미분의 다이아몬드가 분산된 용액에 상기 다공성 모재입자를 담그고 초음파배쓰에서 일정 시간 진동시켜 상기 다공성 모재입자 표면에 스크래치(scratch) 또는 잔류물을 형성시키는 전처리 단계를 더 포함하고, 상기 전처리 단계에서 전처리 시간을 조절하여, 이후 다이아몬드 막 합성시 핵 밀도를 조절하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 쉘 제조방법
|
| 4 |
4
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 공극의 크기를 1Å ∼ 5㎛로 제어하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 쉘 제조방법
|
| 5 |
5
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 다공성 모재입자의 크기는 200 ㎚ ~ 2 ㎜인 것을 특징으로 하는 다이아몬드 쉘 제조방법
|
| 6 |
6
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 다공성 모재입자는 SiO2, Al2O3, BaTiO3 중 적어도 하나를 포함한 금속산화물 또는 폴리머(polymer)로서, 다이아몬드 막 증착이 용이하고 화학약품에 의해 쉽게 에칭될 수 있는 유, 무기 재질인 것을 특징으로 하는 다이아몬드 쉘 제조방법
|
| 7 |
7
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 다이아몬드/모재입자 복합체를 제조하는 단계에서, 상기 다공성 모재입자 표면에 균일한 다이아몬드 막 증착을 위해, 일정 시간 합성한 후 모재입자를 재배치하여 다시 합성하는 다단계 합성을 하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 쉘 제조방법
|
| 8 |
8
제 7 항에 있어서, 상기 다공성 모재입자의 크기는 200 ㎚ ~ 5 ㎜인 것을 특징으로 하는 다이아몬드 쉘 제조방법
|
| 9 |
9
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 다공성 모재입자는 실리카(SiO2)를 포함하고, 상기 에칭액으로 불화수소산을 이용하여 상기 다공성 모재입자를 에칭시켜 제거하며, 상기 다공성 모재입자와 상기 다이아몬드 막 사이에 형성되는 다공성 실리콘카바이드 층을 잔류시키는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 쉘 제조방법
|
| 10 |
10
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 다공성 모재입자는 실리카(SiO2)를 포함하고, 상기 에칭액으로 끓는 무라카미 용액을 사용하여 상기 다공성 모재입자와 상기 다이아몬드 막 사이에 형성되는 다공성 실리콘카바이드 층과 상기 다공성 모재입자를 동시에 제거하는 다이아몬드 쉘 제조방법
|
| 11 |
11
제 2 항의 방법에 의해 제조된 구형 또는 다면체의 기하학적 모양을 갖는 중공형 다이아몬드 쉘을 준비하고,다이아몬드 합성 진공용기 내에 상기 중공형 다이아몬드 쉘을 모재입자로 장입시킨 후, 다이아몬드의 원료가스를 플라즈마 또는 열에너지로 분해하여 CVD법으로 다이아몬드 막을 합성하는 단계를 거침으로써, 쉘의 두께가 쉘 크기의 10% 이상으로 두꺼운 중공형 다이아몬드 쉘을 얻는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 쉘 제조방법
|
| 12 |
12
제 9 항의 방법에 의해 제조된 구형 또는 다면체 등의 기하학적 모양을 갖는 중공형 다이아몬드/실리콘카바이드 복합체 쉘을 준비하고,다이아몬드 합성 진공용기 내에 상기 중공형 다이아몬드/실리콘카바이드 복합체 쉘을 모재입자로 장입시킨 후, 다이아몬드의 원료가스를 플라즈마 또는 열에너지로 분해하여 CVD법으로 다이아몬드 막을 합성하는 단계를 거침으로써, 쉘의 두께가 쉘 크기의 10% 이상으로 두꺼운 중공형 다이아몬드/실리콘카바이드 복합체 쉘을 얻는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 쉘 제조방법
|
