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다이아몬드상경질카본필름의합성법

  • 기술번호 : KST2015124410
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판에 탄소 공급원을 플라즈마 화학 증착하여 다이아몬드상 경질 카본 필름을 합성할 때, 100 KHz 내지 500KHz 대의 고주파 전원과 직류 전원을 중첩시켜 사용함으로써 플라즈마 전류와 기판의 바이어스 전압을 독립적으로 조절하여, 다이아몬드상 경질 카본 필름을 합성하는 방법이 기재되어 있다. 이에 따라 다이아몬드상 경질 카본 필름의 광범위한 구조와 특성 변화를 유도하는 것이 가능하여진다.
Int. CL C23C 16/26 (2006.01)
CPC C23C 16/52(2013.01) C23C 16/52(2013.01) C23C 16/52(2013.01)
출원번호/일자 1019940000201 (1994.01.07)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0109176-0000 (1996.12.12)
공개번호/일자 10-1995-0023737 (1995.08.18) 문서열기
공고번호/일자 1019960012316 (19960918) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1994.01.07)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이광렬 대한민국 서울특별시서초구
2 은광용 대한민국 서울특별시송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주성민 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)
2 김성택 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1994.01.07 수리 (Accepted) 1-1-1994-0000938-72
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1994.01.07 수리 (Accepted) 1-1-1994-0000940-64
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1994.01.07 수리 (Accepted) 1-1-1994-0000939-17
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1996.04.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0000479-10
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 1996.05.23 수리 (Accepted) 1-1-1994-0000941-10
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1996.06.22 수리 (Accepted) 1-1-1994-0000942-55
7 의견서
Written Opinion		 1996.06.22 수리 (Accepted) 1-1-1994-0000943-01
8 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1996.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0000480-56
9 등록사정서
Decision to grant		 1996.12.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0000481-02
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.05.26 수리 (Accepted) 4-1-1999-0075472-64
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

탄소 공급원을 플라즈마 화학 증착하여 기판에 다이아몬드상 경질 카본 필름을 형성하는 방법에 있어서, 100 내지 500KHz의 고주파 전원을 직류 전류가 100 내지 1,000mA이고 직류 전압이 0 내지 1,000V범위인 직류 전원과 동시에 인가함으로써 플라즈마 전류와 기판의 바이어스 전압을 독립적으로 조절하는 것이 특징인 다이아몬드상 카본 필름의 합성법

2 2

제l항에 있어서, 플라즈마 전류가 고주파 전압에 의하여 조절되고, 바이어스 전압이 직류 전압에 의해 조절되는 것인 방법

3 3

제1 또는 2항에 있어서, 플라즈마 전류 밀도가 30 내지 100mA/㎠의 범위내로 조절되고, 바이어스 전압이 0 내지 1,000V의 범위내로 조절되는 것인 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.