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코일 인덕터;상기 코일 인덕터와 전기적으로 연결되어 상기 코일 인덕터와 함께 LC 공진 회로를 구성하는 캐패시터;하우징으로 둘러싸인 내부 공간을 사이에 두고 상기 코일 인덕터와 이격 배치되는 가요성 멤브레인; 및상기 코일 인덕터를 향한 상기 가요성 멤브레인의 일면에 고정된 압력 변위 부재를 포함하며,상기 가요성 멤브레인은 외부 압력에 의해 변형되어 상기 코일 인덕터에 대한 상기 압력 변위 부재의 거리를 변화시키고,상기 하우징은 상부와 하부가 개방된 내부 공간을 형성하는 제1 기판과 제2 기판의 적층 구조로 이루어지며,상기 가요성 멤브레인은 상기 내부 공간의 하부를 덮도록 상기 제2 기판의 하면에 고정되고, 생체 고분자로 제조된 탄성소재 막으로 이루어지는 생체용 압력 센서
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제1항에 있어서,상기 제1 기판과 상기 제2 기판은 실리콘을 포함하고,상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 표면에 실리콘 질화막이 위치하는 생체용 압력 센서
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제1항에 있어서,상기 제1 기판 위로 상기 내부 공간의 상부를 덮도록 절연막이 위치하고,상기 코일 인덕터와 상기 캐패시터는 상기 절연막의 외면에 위치하는 생체용 압력 센서
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제4항에 있어서,상기 코일 인덕터는 상기 절연막의 중앙에 위치하고,상기 캐패시터는 상기 코일 인덕터의 외측에 위치하는 생체용 압력 센서
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제4항에 있어서,상기 코일 인덕터는 내측 패드부, 외측 패드부, 및 상기 내측 패드부와 상기 외측 패드부를 연결하며 소용돌이 모양으로 배치된 일정 폭의 도선을 포함하는 생체용 압력 센서
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제6항에 있어서,상기 캐패시터는 유전체를 사이에 두고 적층된 상부 전극과 하부 전극을 포함하며,상기 상부 전극과 상기 하부 전극은 각각 상기 내측 패드부 및 상기 외측 패드부와 전기적으로 연결되는 생체용 압력 센서
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제4항에 있어서,상기 코일 인덕터와 상기 캐패시터는 보호막으로 덮이는 생체용 압력 센서
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제1항에 있어서,상기 압력 변위 부재는 페라이트를 포함하며, 상기 코일 인덕터와의 거리가 가까워질수록 상기 코일 인덕터의 인덕턴스를 증가시키는 생체용 압력 센서
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제1항에 있어서,상기 압력 변위 부재는 금속을 포함하며, 상기 코일 인덕터와의 거리가 가까워질수록 상기 코일 인덕터의 인덕턴스를 저감시키는 생체용 압력 센서
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제1 기판 위에 절연막을 형성하는 단계;상기 절연막 위에 LC 공진 회로를 구성하는 코일 인덕터와 캐패시터를 형성하는 단계;상기 제1 기판의 일부를 제거하여 내부 공간을 형성하는 단계;제2 기판 위에 가요성 멤브레인을 부착하는 단계;상기 제2 기판의 일부를 제거하여 내부 공간을 형성하는 단계;상기 가요성 멤브레인의 일면에 압력 변위 부재를 고정시키는 단계; 및상기 내부 공간을 사이에 두고 상기 절연막과 상기 압력 변위 부재가 서로 마주하도록 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 조립 및 접합시키는 단계를 포함하는 생체용 압력 센서의 제조 방법
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제12항에 있어서,상기 코일 인덕터와 상기 캐패시터를 형성한 다음 상기 코일 인덕터와 상기 캐패시터를 보호막으로 덮는 단계를 더 포함하는 생체용 압력 센서의 제조 방법
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제13항에 있어서,상기 절연막은 폴리이미드를 포함하고,상기 보호막은 폴리우레탄을 포함하는 생체용 압력 센서의 제조 방법
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제12항에 있어서,상기 가요성 멤브레인은 생체 고분자로 제조된 탄성소재막으로 이루어지는 생체용 압력 센서의 제조 방법
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제12항에 있어서,상기 압력 변위 부재는 페라이트를 포함하는 자성 물질과, 구리 또는 알루미늄을 포함하는 금속 물질 중 어느 하나를 포함하는 생체용 압력 센서의 제조 방법
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