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습도 센서 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015124684
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 습도의 변화에 따른 고주파 시스템의 성능을 예측 및 제어할 수 있도록 높은 안정성과 감도를 갖으며, 구조적 복잡성 또한 야기하지 않으면서 고주파 시스템에 집적이 가능한 습도센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 유리 기판, 상기 유리기판 상부에 형성되며, 중앙에 링(ring), 상기 링 외곽을 따라 일정간격을 형성하는 슬롯라인, 상기 슬롯라인에서 서로 반대방향으로 최단영역까지 연장된 한 쌍의 코플래나 웨이브 가이드(Coplanar Waveguide:CPW) 급전선으로 이루어진 공진기, 그리고 소수성(hydrophobic) 원소를 포함하지 않는 폴리이미드(polyimide)로 이루어져 상기 공진기를 덮고 있는 감습층(humidity sensing layer)으로 이루어지는 습도센서를 제공한다. 따라서 센서의 안정성 및 감도가 우수하고, 임피던스 매칭 등의 부가적 회로가 필요 없어 구조적 복잡성을 야기함 없이 용이하게 집적할 수 있으며, 간단한 제조과정을 통해 구현이 가능하여 저렴한 생산단가로 대량생산이 가능하다.습도센서, 폴리이미드, 고주파 공진기, CPW-to-slotline 링공진기, 마이크로스트립 패치형 안테나
Int. CL G01N 27/12 (2006.01)
CPC G01N 27/121(2013.01) G01N 27/121(2013.01) G01N 27/121(2013.01) G01N 27/121(2013.01) G01N 27/121(2013.01) G01N 27/121(2013.01)
출원번호/일자 1020050067183 (2005.07.25)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0684925-0000 (2007.02.13)
공개번호/일자 10-2007-0012931 (2007.01.30) 문서열기
공고번호/일자 (20070220) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020060103374;
심사청구여부/일자 Y (2005.07.25)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김용호 대한민국 인천 계양구
2 김용준 대한민국 서울 서초구
3 장기훈 대한민국 서울 서초구
4 윤영중 대한민국 서울 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이세진 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)(특허법인다나)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2005-0402761-10
2 보정요구서
Request for Amendment		 2005.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2005-0064348-19
3 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2006.04.26 수리 (Accepted) 1-1-2006-0291122-18
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.07.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.08.11 수리 (Accepted) 9-1-2006-0051648-13
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.08.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0485869-91
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.10.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0767680-59
8 의견서
Written Opinion		 2006.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0767665-74
9 특허분할출원서
Divisional Application of Patent		 2006.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0767917-85
10 등록결정서
Decision to grant		 2007.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0001655-44
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
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번호 청구항
1 1
유리 기판;상기 유리기판 상부에 형성되며, 중앙에 링(ring), 상기 링 외곽을 따라 일정간격을 형성하는 슬롯라인, 상기 슬롯라인에서 서로 반대방향으로 최단영역까지 연장된 한 쌍의 코플래나 웨이브 가이드(Coplanar Waveguide:CPW) 급전선으로 이루어진 공진기; 그리고소수성(hydrophobic) 원소를 포함하지 않는 폴리이미드(polyimide)로 이루어져 상기 공진기를 덮고 있는 감습층(humidity sensing layer)으로 이루어지는 습도센서
2 2
제 1 항에 있어서,상기 공진기는 알루미늄 또는 구리 중에서 적어도 하나로 이루어진 금속막을 가공하여 형성됨을 특징으로 하는 습도센서
3 3
유리기판 위에 금속막을 증착하는 단계;상기 금속막 중앙에 링(ring)을 형성하고, 상기 링 외곽을 따라 일정 간격을 갖도록 슬롯라인을 형성하며, 상기 슬롯라인에서 서로 반대방향으로 금속막 최단영역까지 연장된 한 쌍의 코플래나 웨이브 가이드(Coplanar Waveguide:CPW) 급전선을 형성하여 공진기를 제조하는 단계;상기 공진기를 포함하는 금속막 전면에 감습재료를 코팅하는 단계;상기 코팅된 감습재료 영역중 상기 공진기에 대응되는 영역에 마스크를 형성하는 단계; 그리고상기 마스크 영역을 제외한 나머지 영역의 감습재료를 제거한 후 마스크를 제거하는 단계를 포함하는 습도센서 제조방법
4 4
제 3 항에 있어서,상기 금속막은 알루미늄 또는 구리 중에서 하나를 진공 증착하여 이루어짐을 특징으로 하는 습도센서 제조방법
5 5
제 3 항에 있어서,상기 금속막에 공진기를 형성하는 단계는 사진묘화(Photo lithography) 과정을 통해 이루어짐을 특징으로 하는 습도센서 제조방법
6 6
제 3 항에 있어서,상기 감습재료는 소수성(hydrophobic) 원소를 포함하지 않는 폴리이미드(polyimide)인 것을 특징으로 하는 습도센서 제조방법
7 7
제 6 항에 있어서,상기 폴리이미드는 소수성 원소를 포함하지 않는 단량체인 ODA(oxidianiline)와 PMDA(m-pyromellitic dianhydride)를 극성용매인 NMP(N-methly-2-pyrolidone)에 용해 시켜 얻어지는 폴리아믹산(polyamic acid)을 열적 고분자화하여 생성됨을 특징으로 하는 습도센서 제조방법
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10 10
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11 11
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12 12
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13 13
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14 14
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.