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저잡음 2차원 광변조 어레이 장치 및 이를 이용한 고속 미세패턴 기록시스템

  • 기술번호 : KST2015124736
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 저잡음 2차원 광변조 어레이 장치는, 입사하는 광량을 조절하는 광량조절셀이 x축과 y축으로 배열되어 이루어진 공간 광변조부와, 광량조절셀을 통과한 광을 중심에서 투과도가 높고 가장자리에서 투과도가 낮게 통과시키는 투과 개구가 x축과 y축으로 배열되어 이루어진 투과 개구 어레이, 및 투과 개구를 통과한 광을 집속시키는 마이크로 렌즈가 x축과 y축으로 배열되어 이루어진 마이크로 렌즈 어레이를 포함한다. 리소그래피, 광변조기, 미세 패턴, 투과 개구, 스캐닝
Int. CL G02F 1/13 (2006.01)
CPC G03F 7/70383(2013.01) G03F 7/70383(2013.01) G03F 7/70383(2013.01) G03F 7/70383(2013.01)
출원번호/일자 1020030095081 (2003.12.23)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0588832-0000 (2006.06.05)
공개번호/일자 10-2005-0063857 (2005.06.29) 문서열기
공고번호/일자 (20060615) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.12.23)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한재원 대한민국 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장수현 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층(양재동, 영진빌딩)(두리암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2003-0490234-87
2 대리인 사임 신고서
Notification of resignation of agent		 2004.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2004-0394815-19
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.07.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.08.17 수리 (Accepted) 9-1-2005-0050784-01
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.11.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0562362-50
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.01.03 수리 (Accepted) 1-1-2006-0002536-17
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2006-0081173-11
8 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2006-0153628-16
9 의견서
Written Opinion		 2006.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2006-0234362-99
10 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.04.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0234363-34
11 등록결정서
Decision to grant		 2006.05.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0262836-76
12 출원인변경신고서
Applicant change Notification		 2006.05.17 수리 (Accepted) 1-1-2006-0343157-69
13 보정요구서
Request for Amendment		 2006.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2006-0074029-84
14 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2006.05.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0363249-29
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
입사하는 광량을 조절하는 광량조절셀이 x축과 y축으로 복수개 배열되어 이루어진 공간 광변조부;상기 공간 광변조부의 각 광량조절셀을 통과한 광을 중심에서 투과도가 높고 가장자리에서 투과도가 낮게 통과시켜 상기 마이크로 렌즈로 제공하는 투과 개구가 x축과 y축으로 복수개 배열되어 이루어진 투과 개구 어레이; 및상기 투과 개구 어레이의 각 투과 개구를 통과한 광을 집속시키는 마이크로 렌즈가 x축과 y축으로 복수개 배열되어 이루어진 마이크로 렌즈 어레이를 포함하는 저잡음 2차원 광변조 어레이 장치
3 3
청구항 2에 있어서,상기 공간 광변조부는 x축과 y축으로 배열된 액정 셀의 액정 배열 방향을 전압으로 조절하여 입사하는 광량을 조절하여 출력하는 액정 광변조기인 것을 특징으로 하는 저잡음 2차원 광변조 어레이 장치
4 4
청구항 2에 있어서,상기 공간 광변조부는 x축과 y축으로 배열된 마이크로 거울의 경사각을 조절하여 입사하는 광량을 조절하는 DMD(Digital Micromirror Device)인 것을 특징으로 하는 저잡음 2차원 광변조 어레이 장치
5 5
삭제
6 6
레이저 광을 방출하는 광원부;상기 레이저 광을 전송하는 광전송부;상기 광전송부에서 전송한 광을 평행광으로 만드는 평행광 생성렌즈;입사하는 광량을 조절하는 광량조절셀이 x축과 y축으로 복수개가 배열되어 이루어진 공간 광변조부, 상기 각 광량조절셀을 통과한 광을 중심에서 투과도가 높고 가장자리에서 투과도가 낮게 통과시켜 상기 마이크로 렌즈로 제공하는 투과 개구가 x축과 y축으로 복수개 배열되어 이루어진 투과 개구 어레이, 및 상기 각 투과 개구를 통과한 광을 집속시키는 마이크로 렌즈가 x축과 y축으로 배열되어 이루어진 마이크로 렌즈 어레이를 포함하는 저잡음 2차원 광변조 어레이 장치; 및연결된 장치를 x축과 y축 방향으로 이동시켜 상기 마이크로 렌즈 어레이에서 집속되어 조사된 광이 목표로 하는 패턴을 매체의 표면에 형성하게 하는 스캔 장치를 포함하는 고속 미세패턴 기록시스템
7 7
청구항 6에 있어서,상기 스캔 장치는 상기 2차원 광변조 어레이 장치와 연결되고 상기 2차원 광변조 어레이 장치를 x축과 y축 방향으로 스캔하는 것을 특징으로 하는 고속 미세패턴 기록시스템
8 8
청구항 6에 있어서,미세패턴이 기록될 상기 매체를 지지하는 지지장치를 더 포함하며, 상기 스캔 장치는 상기 지지장치와 연결되고 상기 지지장치를 x축과 y축 방향으로 스캔하는 것을 특징으로 하는 고속 미세패턴 기록시스템
9 9
청구항 6에 있어서,상기 공간 광변조부는 x축과 y축으로 배열된 액정 셀의 액정 배열 방향을 전압으로 조절하여 입사하는 광량을 조절하여 출력하는 액정 광변조기인 것을 특징으로 하는 저잡음 고속 미세패턴 기록시스템
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청구항 6에 있어서,상기 공간 광변조부는 x축과 y축으로 배열된 마이크로 거울의 경사각을 조절하여 입사하는 광량을 조절하는 DMD인 것을 특징으로 하는 고속 미세패턴 기록시스템
11 10
청구항 6에 있어서,상기 공간 광변조부는 x축과 y축으로 배열된 마이크로 거울의 경사각을 조절하여 입사하는 광량을 조절하는 DMD인 것을 특징으로 하는 고속 미세패턴 기록시스템
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.