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습도 센서 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015124839
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 습도의 변화에 따른 고주파 시스템의 성능을 예측 및 제어할 수 있도록 높은 안정성과 감도를 갖으며, 구조적 복잡성 또한 야기하지 않으면서 고주파 시스템에 집적이 가능한 습도센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 유리기판, 상기 유리기판 상부에 형성된 파장 변환기, 상기 파장 변환기 일측에 연결된 스트립 급전선(strip feeding line), 상기 파장 변환기 상부에 형성된 미앤더 패치(meander patch)로 이루어진 스트립 패치형 안테나, 그리고 상기 미앤더 패치 상부에 형성되며, 소수성(hydrophobic) 원소를 포함하지 않는 폴리이미드(polyimide)로 이루어진 감습층(humidity sensing layer)을 포함하여 구성되는 습도센서를 제공한다. 따라서 센서의 안정성 및 감도가 우수하고, 임피던스 매칭 등의 부가적 회로가 필요 없어 구조적 복잡성을 야기함 없이 용이하게 집적할 수 있으며, 간단한 제조과정을 통해 구현이 가능하여 저렴한 생산단가로 대량생산이 가능하다.습도센서, 폴리이미드, 고주파 공진기, CPW-to-slotline 링공진기, 마이크로스트립 패치형 안테나
Int. CL G01N 27/12 (2006.01)
CPC G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01)
출원번호/일자 1020060103374 (2006.10.24)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0753801-0000 (2007.08.24)
공개번호/일자 10-2007-0013249 (2007.01.30) 문서열기
공고번호/일자 (20070831) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자 10-2005-0067183 (2005.07.25)
관련 출원번호 1020050067183
심사청구여부/일자 Y (2006.10.24)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김용호 대한민국 인천 계양구
2 김용준 대한민국 서울 서초구
3 장기훈 대한민국 서울 서초구
4 윤영중 대한민국 서울 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이세진 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)(특허법인다나)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허분할출원서
Divisional Application of Patent		 2006.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0767917-85
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0001654-09
3 의견서
Written Opinion		 2007.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2007-0179113-47
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.03.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0179120-67
5 등록결정서
Decision to grant		 2007.07.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0372112-76
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
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번호 청구항
1 1
유리기판; 상기 유리기판 상부에 형성된 파장 변환기, 상기 파장 변환기 일측에 연결된 스트립 급전선(strip feeding line), 상기 파장 변환기 일측에 대응되는 타측에 형성된 미앤더 패치(meander patch)로 이루어진 스트립 패치형 안테나; 그리고 상기 미앤더 패치 상부에 형성되며, 소수성(hydrophobic) 원소를 포함하지 않는 폴리이미드(polyimide)로 이루어진 감습층(humidity sensing layer)을 포함하여 구성되는 습도센서
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 스트립 패치형 안테나는 알루미늄 또는 구리 중에서 적어도 하나로 이루어진 금속막을 가공하여 형성함을 특징으로 하는 습도센서
3 3
유리기판 위에 금속막을 증착하는 단계; 상기 금속막에 파장 변환기, 상기 파장 변환기 일측에 스트립 급전선(strip feeding line), 상기 파장 변환기 일측에 대응하는 타측에 미앤더 패치(meander patch)를 형성하여 스트립 패치형 안테나를 제조하는 단계; 상기 스트립 패치형 안테나를 포함하는 금속막 전면에 감습재료를 코팅하는 단계; 상기 코팅된 감습재료 영역중 상기 스트립 패치형 안테나에 대응되는 영역에 마스크를 형성하는 단계; 그리고 상기 마스크 영역을 제외한 나머지 영역의 감습재료를 제거한 후 마스크를 제거하는 단계를 포함하는 습도센서 제조방법
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 금속막은 알루미늄 또는 구리 중에서 하나를 진공 증착하여 이루어짐을 특징으로 하는 습도센서 제조방법
5 5
제 3 항에 있어서, 상기 금속막에 스트립 패치형 안테나를 형성하는 단계는 사진묘화(Photo lithography) 과정을 통해 이루어짐을 특징으로 하는 습도센서 제조방법
6 6
제 3 항에 있어서, 상기 감습재료는 소수성(hydrophobic) 원소를 포함하지 않는 폴리이미드(polyimide)인 것을 특징으로 하는 습도센서 제조방법
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 폴리이미드는 소수성 원소를 포함하지 않는 단량체인 ODA(oxidianiline)와 PMDA(m-pyromellitic dianhydride)를 극성용매인 NMP(N-methly-2-pyrolidone)에 용해 시켜 얻어지는 폴리아믹산(polyamic acid)을 열적 고분자화하여 생성됨을 특징으로 하는 습도센서 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.