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비 전도성 핀이 삽입된 전기수력학적 분사노즐을 구비한 미세 전도성라인 패터닝 장치 및 이를 이용한 전기수력학적 패터닝 방법

  • 기술번호 : KST2015125335
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 비 전도성 핀이 삽입된 전기수력학적 분사노즐, 이를 구비한 미세 전도성라인 패터닝 장치, 및 이를 이용한 전기수력학적 패터닝 방법에 관한 것으로, 전도성 소재로 이루어지며 분사단부측으로 갈수록 내경이 축소되는 유로(211)를 가지는 전극(210)을 통해, 전도성 입자가 포함된 용액(L)을 분사하는 전기수력학적 분사노즐(200)에 있어서, 비전도성 소재로 구성되며, 상기 전극(210)이 형성하는 유로(211)상에 상기 전극(210)의 내벽과 이격간격을 두고 설치되는 역류방지핀(220);을 포함하여 구성되는 비 전도성 핀이 삽입된 전기수력학적 분사노즐(200)을 기술적 요지로 하여, 전기수력학적 방법을 이용함에 있어서 원뿔형 액주의 중앙부에서 발생되는 용액의 역류현상을 완화시켜 액주형성의 안정도를 확보하고, 전위차를 무리하게 부여함에 따른 전력의 손실을 방지하며, 전압이나 전위차의 조정에 따른 액주의 굵기 조정 등이 신뢰성있게 이루어질 수 있어 패터닝 공정의 효율성을 보다 향상시킬 수 있는 비 전도성 핀이 삽입된 전기수력학적 분사노즐, 이를 구비한 미세 전도성라인 패터닝 장치, 및 이를 이용한 전기수력학적 패터닝 방법에 관한 것이다. 전기수력학, 노즐, 전극, 역류방지
Int. CL B05B 5/00 (2006.01)
CPC H01L 21/56(2013.01) H01L 21/56(2013.01) H01L 21/56(2013.01) H01L 21/56(2013.01)
출원번호/일자 1020080124689 (2008.12.09)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1011182-0000 (2011.01.20)
공개번호/일자 10-2010-0066052 (2010.06.17) 문서열기
공고번호/일자 (20110126) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.12.09)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황정호 대한민국 서울 용산구
2 김용 대한민국 서울특별시 광진구
3 김상윤 대한민국 서울특별시 마포구
4 박재홍 대한민국 서울특별시 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유)화우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***길 **, *층 (대치동, 삼호빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.12.09 수리 (Accepted) 1-1-2008-0847337-37
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.08.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.09.13 수리 (Accepted) 9-1-2010-0056097-44
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0436106-74
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2010-0780591-72
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.11.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0780495-97
7 등록결정서
Decision to grant		 2010.12.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0604475-47
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
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번호 청구항
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전도성 소재로 구성되고 분사단부측으로 갈수록 내경이 축소되는 유로(211)를 가지는 전극(210)과, 비전도성 소재로 구성되고 상기 전극(210) 내부에 이격간격을 두고 설치되는 역류방지핀(220) 사이로 전도성 입자가 포함된 용액(L)을 통과시키며 외부로 분사하는 전기수력학적 분사노즐(200); 상기 전기수력학적 분사노즐(200) 외부에 이격 설치되며, 상기 전기수력학적 분사노즐(200), 상기 용액(L)과의 사이에 형성되는 전기장에 의해 상기 전기수력학적 분사노즐(200) 하단에 맺힌 액적을 상기 전극(210)의 내경에 비해 보다 축소된 직경을 가지는 원뿔형상으로 변환시키는 외부전극(300); 상기 전기수력학적 분사노즐(200)과 외부전극(300)에 전위차를 두고 전압을 공급하는 전원공급장치(400); 및 상기 전기수력학적 분사노즐(200), 또는 상기 전기수력학적 분사노즐(200)에서 분사된 용액(L)이 패터닝되는 패터닝대상물(10), 또는 상기 전기수력학적 분사노즐(200)과 패터닝대상물(10)을 함께 지정경로로 이동시키며, 상기 용액(L)을 상기 패터닝대상물(10)의 표면에 패터닝시키는 이송로봇; 을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 미세 전도성라인 패터닝 장치
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제6항에 있어서, 전도성 입자가 함유된 콜로이드 용액(L)을 수용하여 상기 전기수력학적 분사노즐(200)의 전극(210)과 역류방지핀(220) 사이로 가압전달하는 용액공급수단(100); 을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 미세 전도성라인 패터닝 장치
8 8
제6항에 있어서, 상기 이송로봇은, 상기 전기수력학적 분사노즐(200)에서 분사된 용액(L)이 패터닝되는 패터닝대상물(10)이 상면에 안착, 고정되며, 상기 패터닝대상물(10)을 지정경로로 이동시키며 상기 전기수력학적 노즐(200)에서 분사되는 용액(L)을 지정형상으로 패터닝시키는 스테이지(510); 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 미세 전도성라인 패터닝 장치
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제6항에 있어서, 상기 이송로봇은, 상기 전기수력학적 분사노즐(200)이 연결설치되며, 상기 전기수력학적 분사노즐(200)을 지정경로로 이동시키며 패터닝대상물(10)에 상기 전기수력학적 분사노즐(200)에서 분사되는 용액(L)을 지정형상으로 패터닝시키는 노즐 이송 암; 을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 미세 전도성라인 패터닝 장치
10 10
전도성 소재로 구성되고 분사단부측으로 갈수록 내경이 축소되는 유로(211)를 가지는 전극(210)과, 비전도성 소재로 구성되고 상기 전극(210) 내부에 삽입되는 역류방지핀(220) 사이로 전도성 입자가 포함된 용액(L)을 역류없이 통과시키며 상기 전극(210) 외부로 분사하는 정류분사단계; 상기 전극(210)과 역류방지핀(220) 사이를 통과하여 상기 전극(210) 하단에 도달되는 용액(L)을 원뿔형상의 첨부를 가지는 상기 역류방지핀(220)으로 가이드하는 액적가이드단계; 상기 역류방지핀(220)에 가이드되어 상기 전극(210) 하단에 맺힌 액적을, 상기 전극(210)과, 상기 전극(210) 외부에 이격 설치된 외부전극(300)과의 사이에 형성되는 전기장에 의해, 상기 전극(210)의 내경에 비해 보다 축소된 직경을 가지는 원뿔형상으로 변환시키는 액적변환단계; 및 상기 원뿔형상의 액적 하단부에 연결형성되는 액주를 패터닝대상물(10)측으로 분사함과 동시에 상기 용액(L)의 분사위치나 패터닝대상물(10)을 지정경로로 이동시키며, 상기 패터닝대상물(10)에 상기 용액(L)을 지정 패턴으로 부착하여 전도성 라인을 형성하는 패터닝단계; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 패터닝방법
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제10항에 있어서, 상기 정류분사단계는, 상기 역류방지핀(220)을, 상기 전극(210)이 제공하는 유로(211)의 단면적 축소에 따른 압력상승이나 양전하간의 반발력에 의한 역방향 유동이 발생되는 지점에 설치한 상태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 패터닝방법
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제10항에 있어서, 상기 정류분사단계는, 상기 전극(210)의 내벽과 동일한 횡방향 이격간격을 가지도록 상기 전극(210)의 내벽에 대응되는 외면형상을 가지는 상기 역류방지핀(220)을 사용하는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 패터닝방법
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제10항에 있어서, 상기 액적변환단계는, 상기 역류방지핀(220) 없이 상기 전극(210)만으로 형성된 유로(211)로 상기 용액(L)을 통과시키는 경우에 비해, 낮은 전위차로 상기 전극(210)과 외부전극(300)에 전압을 인가시키며 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 패터닝 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 학술진흥재단 bk21 나노마이크로응용기계기술인력양성사업단