| 1 |
1
상부 연마 패드와 상기 상부 연마 패드 상에 배치된 상부 폴리싱 연마 플레이트를 구비하고, 중심축을 중심으로 회전가능한 상부 폴리싱 연마 블록;
하부 폴리싱 연마 플레이트와 상기 하부 폴리싱 연마 플레이트 상에 배치된 하부 연마 패드를 구비하고, 중심축을 중심으로 회전가능한 하부 폴리싱 연마 블록; 및
상기 상부 연마 폴리싱 블록과 하부 연마 폴리싱 블록 사이에 배치되고, 연마 대상 디스플레이 패널을 고정시키기 위한 지그 블록을 포함하고,
상기 상부 폴리싱 연마 블록 및 하부 폴리싱 연마 블록 내에는, 상기 지그 블록에 고정되는 연마 대상 디스플레이 패널에 화학적 연마제을 공급하기 위한 화학적 연마제 공급 통로와 기계적 연마제를 공급하기 위한 기계적 연마제 공급 통로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 박형화 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,
화학적 연마제가 상기 연마 대상 디스플레이에 공급될 때, 상기 지그 블록은 상기 연마 대상 디스플레이 패널을 상기 하부 연마 패드와 상부 연마 패드로부터 간격을 두고 이격된 위치에 고정시키는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 박형화 장치
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,
상기 화학적 연마제 공급 통로의 출구를 통해 화학적 연마제가 상기 연마 대상 디스플레이 패널의 상면 및 하면으로 분사되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 박형화 장치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,
상기 화학적 연마제 공급 통로의 출구와 상기 기계적 연마제 공급 통로의 출구는 상기 상부 및 하부 연마 패드의 연마면에 마련된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 박형화 장치
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,
상기 기계적 연마제가 상기 연마 대상 디스플레이에 공급될 때, 상기 연마 대상 디스플레이 패널의 상면 및 하면이 상기 상부 연마 패드 및 하부 연마 패드에 각각 접촉된 상태에서 상기 상부 폴리싱 연마 블록 및 하부 폴리싱 연마 블록이 회전하면서 기계적 연마를 수행하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 박형화 장치
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,
상기 화학적 연마제는 불산용액이고, 상기 기계적 연마제는 산화세슘인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 박형화 장치
|
| 7 |
7
디스플레이 패널을 고정한 상태에서 상기 디스플레이 패널의 상면 및 하면에 화학적 연마제를 공급하여 상기 디스플레이 패널을 화학적으로 연마하는 단계; 및
화학적으로 연마된 상기 디스플레이 패널의 상면 및 하면을 각각 상부 연마 패드와 하부 연마 패드에 접촉시킨 상태에서 상기 디스플레이 패널의 상면 및 하면에 기계적 연마제를 공급하면서 상기 상부 및 하부 연마 패드를 회전시켜 상기 디스플레이 패널을 기계적으로 연마하는 단계를 포함하는 평판 디스플레이 패널의 박형화 방법
|
| 8 |
8
제7항에 있어서,
상기 디스플레이 패널을 화학적으로 연마하는 단계와 상기 디스플레이 패널을 기계적으로 연마하는 단계 사이에, 상기 디스플레이 패널의 상면 및 하면에 남았는 화학적 연마제를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 박형화 방법
|
| 9 |
9
제7항에 있어서,
상기 화학적으로 연마하는 단계에서, 상기 디스플레이 패널은 지그 블록에 의해 상기 상부 및 하부 연마 패드로부터 간격을 두고 이격된 상태에서 고정되어 상기 상부 및 하부 연마 패드에 형성된 화학적 연마제 공급 통로의 출구로부터 화학적 연마제를 공급받는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 박형화 방법
|
| 10 |
10
제9항에 있어서,
상기 화학적 연마제는 상기 화학적 연마제 공급 통로의 출구를 통하여 상기 디스플레이 패널의 상면 및 하면으로 분사되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 박형화 방법
|
