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상대적인 움직임이 가능한 한쌍의 전극(10), 및 상기 전극(10) 사이의 접촉면에 각각 형성되며 상기 접촉면에 수직한 방향으로 증착된 탄소나노튜브 층(20)을 포함하는 가동 전기접속 구동체
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제1항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 층(20) 간의 기계적 접촉을 통하여 전기가 흐르는 것을 특징으로 하는 가동 전기접속 구동체
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제1항에 있어서, 상기 전극(10) 간의 상대적인 움직임이 스위치 방식 또는 미끄럼 방식으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가동 전기접속 구동체
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상대적인 움직임이 가능한 한쌍의 전극과 상기 전극 사이의 접촉면에 각각 형성된 탄소나노튜브 층을 포함하는 가동 전기접속 구동체의 제조방법에 있어서,
i) 상대적인 움직임이 가능한 한쌍의 전극을 준비하는 단계; 및
ⅱ) 상기 한쌍의 전극 사이의 접촉면에 각각 탄소나노튜브를 증착하여 탄소나노튜브 층을 형성하는 단계;
포함하는 가동 전기접속 구동체의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 전극이 DRIE(Deep Reactive Ion Etching)와 같은 벌크 마이크로머시닝(Bulk Micromachining) 또는 표면 마이크로머시닝(Surface Micro machining)을 이용하여 구현된 마이크로 전극인 것을 특징으로 하는 가동 전기접속 구동체의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 층이 촉매 화학 기상 증착법(Catalystic Chemical Vapor Deposition)을 통해 전극 표면에 직접 형성되는 것을 특징으로 하는 가동 전기접속 구동체의 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 층의 형성시 접촉 경계면이 자가정렬(self-alignment)되는 것을 특징으로 하는 가동 전기접속 구동체의 제조방법
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8
한쌍의 전극부(100), 상기 한쌍의 전극부(100) 사이에 위치하는 구동부(200), 상기 한쌍의 전극부(100)과 상기 구동부(200) 사이의 접촉면에 각각 형성되며 상기 접촉면에 수직한 방향으로 증착된 탄소나노튜브 층으로 이루어진 접속부(300)를 포함하며, 상기 접속부(300)의 탄소나노튜브 층들이 서로 기계적 접촉을 하고 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 위치 감지기
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9
제8항에 있어서, 상기 접속부(300)의 탄소나노튜브층들 간의 기계적 접촉면적이 상기 구동부(200)의 움직임에 의하여 변화하며, 상기 접촉면적의 변화에 의하여 상기 접속부(300)의 탄소나노튜브층들 간의 접촉 저항이 변화하는 것을 특징으로 하는 마이크로 위치 감지기
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10
제9항에 있어서, 상기 구동부(200)의 전극부(100)에 대한 상대적인 움직임이 미끄럼 방식으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 위치 감지기
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11
한쌍의 전극, 상기 한쌍의 전극 사이에 위치하는 가동 구동체, 상기 한쌍의 전극과 상기 가동 구동체 사이의 접촉면에 각각 형성되며 상기 접촉면에 수직한 방향으로 증착된 탄소나노튜브 층을 포함하는 마이크로 위치 감지기의 제조방법에 있어서,
i) 기판 상에 탄소나노튜브 층 형성 부분을 에칭하여 한쌍의 전극과 상기 한쌍의 전극 사이의 가동 구동체를 분리 형성하는 단계;
ⅱ) 상기 한쌍의 전극과 가동 구동체가 분리 형성된 기판 상에 촉매를 증착하는 단계;
ⅲ) 상기 한쌍의 전극과 가동 구동체 사이의 접촉면에 형성된 촉매만 남도록 상기 기판 상의 촉매 부분을 에칭하는 단계; 및
ⅳ) 상기 접촉면의 촉매 형성 부분에 탄소나노튜브 층을 형성하는 단계;
를 포함하는 마이크로 위치 감지기의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 전극과 가동 구동체 사이의 접촉면에 형성된 탄소나노튜브 층들이 서로 기계적 접촉을 하며, 접촉 경계면이 탄소나노튜브 층 형성시 자가정렬하는 것을 특징으로 하는 마이크로 위치 감지기의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 에칭이 DRIE(Deep Reactive Ion Etching)와 같은 벌크 마이크로머시닝(Bulk Micromachining) 또는 표면 마이크로머시닝(Surface Micro machining)을 이용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 위치 감지기의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 층의 형성이 촉매 화학 기상 증착법(Catalystic Chemical Vapor Deposition)을 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 위치 감지기의 제조방법
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