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반도체 결정화 장치, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 반도체 결정화 방법

  • 기술번호 : KST2015125830
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  • 전화번호 :
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 비정질 실리콘의 국부적인 결정화가 가능한 결정화 장치를 개시한다. 결정화 장치는 외부로부터 발열 소스를 제공받아 열을 발산하는 발열부, 발열부를 지지하고, 발열 소스를 발열부로 제공하는 지지부, 및 발열부를 내부에 수납하고, 복수의 개구부가 형성되어 열을 대상물에 제공하는 롤러를 포함한다. 따라서, 기판의 손상없이 국부적으로 결정화를 할 수 있다.
Int. CL G02F 1/13 (2006.01) G02F 1/136 (2006.01) G02F 1/133 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020080098644 (2008.10.08)
출원인 삼성디스플레이 주식회사, 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1513245-0000 (2015.04.13)
공개번호/일자 10-2010-0039608 (2010.04.16) 문서열기
공고번호/일자 (20150421) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020140131458;
심사청구여부/일자 Y (2013.10.08)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성디스플레이 주식회사 대한민국 경기 용인시 기흥구
2 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황태형 대한민국 서울특별시 관악구
2 김현재 대한민국 서울특별시 종로구
3 김도경 대한민국 경기도 용인시 기흥구
4 정태훈 대한민국 서울특별시 강동구
5 정웅희 대한민국 서울특별시 서대문구
6 이충희 대한민국 서울특별시 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오세준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)(특허법인 고려)
2 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
3 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 삼성디스플레이 주식회사 대한민국 경기 용인시 기흥구
2 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.10.08 수리 (Accepted) 1-1-2008-0702243-33
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.21 수리 (Accepted) 4-1-2012-5132663-40
4 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2012.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0738249-11
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
7 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2013.10.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-0909439-91
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.04.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.05.13 수리 (Accepted) 9-1-2014-0037504-95
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0522253-66
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.09.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0934971-80
13 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2014.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-0934989-01
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-0934970-34
15 등록결정서
Decision to grant		 2015.01.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0052020-23
16 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-0398750-13
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2015-5104722-59
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5016605-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
외부로부터 발열 소스를 제공받아 열을 발산하는 발열부;상기 발열부를 지지하고, 상기 발열 소스를 상기 발열부로 제공하는 지지부; 및상기 발열부를 내부에 수납하고, 복수의 개구부가 형성되어 상기 열을 대상물에 제공하는 롤러를 포함하고,상기 발열부는 상기 개구부들 각각에 구비되어 상기 개구부들을 통해 열을 발산하는 것을 특징으로 하는 반도체 결정화 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 지지부는 상기 발열 소스로서 상기 발열부에 전원을 공급하는 전원 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 결정화 장치
3 3
제2 항에 있어서,상기 발열부는 상기 전원 라인에 양단부가 연결되는 팁 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 결정화 장치
4 4
삭제
5 5
제3 항에 있어서,상기 발열부는 텅스텐, 니켈-크롬 합금, 및 백금 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 결정화 장치
6 6
제1 항에 있어서,상기 발열부는 복수의 분사구가 형성된 파이프로 이루어지며, 상기 발열 소스로서 가스를 공급받아 분사하는 것을 특징으로 하는 반도체 결정화 장치
7 7
제1 항에 있어서,상기 발열부는 램프로 이루어지며, 상기 발열 소스로서 전원을 공급받아 펄스 레이저를 방사하는 것을 특징으로 하는 반도체 결정화 장치
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
복수의 개구부가 형성된 마스크를 롤 형태로 감아 롤러를 형성하는 단계;외부로부터 발열 소스를 공급받는 지지부에 상기 발열 소스를 공급받아 열을 발산하는 복수의 발열부를 결합하는 단계; 및상기 복수의 발열부가 상기 복수의 개구부에 각각 구비되도록 상기 롤러 내에 상기 지지부에 결합된 상기 복수의 발열부를 삽입하는 단계를 포함하는 반도체 결정화 장치의 제조 방법
12 12
제11 항에 있어서, 상기 지지부에 상기 발열 소스로서 전원을 공급하는 전원 라인을 형성하고, 상기 발열부들은 팁 형상으로 형성되어 상기 전원 라인에 양단부가 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 결정화 장치의 제조 방법
13 13
삭제
14 14
삭제
15 15
삭제
16 16
기판에 비정질 실리콘층을 형성하는 단계;상기 비정질 실리콘층을 패터닝하여 복수의 비정질 실리콘 패턴을 형성하는 단계;상기 기판 위에 결정화 장치를 배치하는 단계; 및상기 결정화 장치를 이용하여 상기 복수의 비정질 실리콘 패턴을 선택적으로 가열하여 결정화하는 단계를 포함하고,상기 결정화 장치는 외부로부터 발열 소스를 제공받아 열을 발산하는 발열부, 상기 발열부를 지지하고, 상기 발열 소스를 상기 발열부로 제공하는 지지부, 및 상기 발열부를 내부에 수납하고, 복수의 개구부가 형성되어 상기 열을 대상물에 제공하는 롤러를 포함하고, 상기 발열부는 상기 개구부들 각각에 구비되어 상기 개구부들을 통해 열을 발산하는 것을 특징으로 하는 반도체 결정화 방법
17 17
삭제
18 18
제16 항에 있어서, 상기 결정화하는 단계는,상기 롤러를 회전시키는 단계;상기 복수의 개구부를 상기 복수의 비정질 실리콘 패턴에 중첩하여 고정하는 단계; 및상기 복수의 비정질 실리콘 패턴에 열을 공급하여 결정화하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 결정화 방법
19 19
삭제
20 20
삭제
21 21
제16 항에 있어서,상기 기판은 연성의 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 결정화 방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101535268 KR 대한민국 FAMILY
2 US08785967 US 미국 FAMILY
3 US20100087051 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2010087051 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US8785967 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.