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기판;
상기 기판의 적어도 일부에 형성된 적어도 하나의 GMR 스핀 밸브;
상기 적어도 하나의 GMR 스핀 밸브와 연결되는 내부 전극;
상기 적어도 하나의 GMR 스핀 밸브 위에 형성된 미세 유로 채널
을 포함하는 것을 특징으로 하는 GMR 스핀 밸브를 이용한 세포 계수기
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제 1항에 있어서, 상기 GMR 스핀 밸브는 자유층, 사이층, 고정층 및 피닝층이 순차적으로 적층되는 것을 특징으로 하는 GMR 스핀 밸브를 이용한 세포 계수기
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3
제 2항에 있어서, 상기 GMR 스핀 밸브는 듀얼 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 GMR 스핀 밸브를 이용한 세포 계수기
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4
제 2항에 있어서, 상기 자유층 및 고정층은 강자성체로 구성되고, 상기 사이층은 비자성체로 구성되고, 상기 피닝층은 반자성체로 구성되는 것을 특징으로 하는 GMR 스핀 밸브를 이용한 세포 계수기
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5
제 2항에 있어서, 상기 자유층 및 고정층은 각각 NiFe 및 CoFe 중 적어도 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 GMR 스핀 밸브를 이용한 세포 계수기
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6
제 2항에 있어서, 상기 사이층은 Cu로 구성되는 것을 특징으로 하는 GMR 스핀 밸브를 이용한 세포 계수기
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7
제 2항에 있어서, 상기 피닝층은 IrMn으로 구성되는 것을 특징으로 하는 GMR 스핀 밸브를 이용한 세포 계수기
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8
제 1항에 있어서, 상기 GMR 스핀 밸브는 상기 자유층의 아래에 형성되는 NOL 층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 GMR 스핀 밸브를 이용한 세포 계수기
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9
제 1항 내지 8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 미세 유로 채널과 상기 GMR 스핀 밸브의 폭은 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 GMR 스핀 밸브를 이용한 세포 계수기
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10
제 1항 내지 8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 미세 유로 채널은 PDMS (Polydimethylsyloxane)로 구성되는 것을 특징으로 하는 GMR 스핀 밸브를 이용한 세포 계수기
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11
제 1항 내지 8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판은 Si를 주성분으로 구성되는 것을 특징으로 하는 GMR 스핀 밸브를 이용한 세포 계수기
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12
제 1항 내지 8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 내부 전극은 각각 Ti 및 Au 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 GMR 스핀 밸브를 이용한 세포 계수기
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13
제 1항 내지 8항 중 어느 한 항에 있어서, GMR 스핀 밸브의 위에는 상기 미세 유로 채널과 소정 거리 이격되어 형성되는 보호층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 GMR 스핀 밸브를 이용한 세포 계수기
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세포 계수기용 기판을 형성하는 단계;
상기 기판의 적어도 일면에 외부 전극을 형성하는 단계;
상기 외부 전극이 형성된 기판의 일면에 GMR 스핀 밸브를 형성하는 단계; 및
상기 GMR 스핀 밸브 위에 미세유로 채널을 형성하는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는 GMR 스핀 밸브를 이용한 세포 계수기의 제조 방법
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15
제 14항에 있어서, 상기 방법은 상기 미세 유로 채널이 형성된 상기 GMR 스핀 밸브 위에 상기 미세 유로 채널과 소정 거리 이격되도록 보호층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 GMR 스핀 밸브를 이용한 세포 계수기의 제조 방법
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제 15항에 있어서, 상기 스핀 밸브는 자유층, 사이층 및 고정층이 순차적으로 적층된 구성을 갖고, 상기 자유층, 사이층 및 고정층은 스퍼터링에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 GMR 스핀 밸브를 이용한 세포 계수기의 제조 방법
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제 14항 내지 16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 스핀 밸브를 형성하는 단계는 O2 플라즈마를 이용하여 상기 스핀 밸브를 표면 처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 GMR 스핀 밸브를 이용한 세포 계수기의 제조 방법
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제 14항 내지 16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 미세 유로 채널을 형성하는 단계는 포토리소그래피법을 이용하여 채널 패턴을 형성하는 단계와, 상기 채널 패턴 위에 실레인 막을 형성하는 단계; 및 상기 실레인 막이 형성된 채널 패턴에 PDMS 층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 GMR 스핀 밸브를 이용한 세포 계수기의 제조 방법
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제 14항 내지 16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 방법은 상기 채널 위에 보호층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 GMR 스핀 밸브를 이용한 세포 계수기의 제조 방법
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