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투명 전극 박막의 직접 패터닝 방법 및 이를 이용한 박막 회수 방법

  • 기술번호 : KST2015126085
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따라서 기판 상의 투명 전극 직접 패터닝 방법이 제공되는데, 상기 방법은 (a) 기판을 준비하는 단계와; (b) 상기 기판의 일면에 투명 전극층을 형성하는 단계와; (c) 상기 투명 전극층의 광파장에 대한 투과율 스펙트럼을 분석하는 단계와; (d) 상기 투과율 스펙트럼과 관련하여, 광흡수성을 나타내는 파장 대역 및 펄스 폭을 갖는 펄스 레이저를 사용자가 원하는 임의의 형태의 패턴으로 된 공간적 광 변조기를 통해 통과시켜, 상기 투명 전극층에 조사함으로써, 상기 공간적 광 변조기의 패턴에 대응되는 패턴을 상기 투명 전극층에 형성하는 투명 전극층 패터닝 단계로서, 상기 펄스 레이저 조사로 인한 급속 열팽창에 의해 상기 투명 전극층에 열탄성력을 야기하고, 이 열탄성력에 의해 상기 투명 전극층 일부가 기판으로부터 분리되어, 상기 패턴을 형성하는 것인, 투명 전극층 패터닝 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G02F 1/1343 (2006.01) G02F 1/13 (2006.01) C01G 19/00 (2006.01) C25C 1/14 (2006.01)
CPC G02F 1/13439(2013.01) G02F 1/13439(2013.01) G02F 1/13439(2013.01)
출원번호/일자 1020110007262 (2011.01.25)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0086050 (2012.08.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.01.25)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이명규 대한민국 서울 송파구
2 이진수 대한민국 서울특별시 서대문구
3 김성수 대한민국 울산광역시 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김승욱 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로 ***, ***호(서초동, 두산베어스텔)(아이피마스터특허법률사무소)
2 이채형 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** (대치동 동구빌딩 *층) Neo국제특허법률사무소

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2011-0059771-16
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.08.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2011-0073145-26
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.06.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0368910-17
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2012.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0795936-97
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 기판을 준비하는 단계와;(b) 상기 기판의 일면에 투명 전극층을 형성하는 단계와;(c) 상기 투명 전극층의 광파장에 대한 투과율 스펙트럼을 분석하는 단계와;(d) 상기 투과율 스펙트럼과 관련하여, 광흡수성을 나타내는 파장 대역 및 펄스 폭을 갖는 펄스 레이저를 사용자가 원하는 임의의 형태의 패턴으로 된 공간적 광 변조기를 통해 통과시켜, 상기 투명 전극층에 조사함으로써, 상기 공간적 광 변조기의 패턴에 대응되는 패턴을 상기 투명 전극층에 형성하는 투명 전극층 패터닝 단계로서, 상기 펄스 레이저 조사로 인한 급속 열팽창에 의해 상기 투명 전극층에 열탄성력을 야기하고, 이 열탄성력에 의해 상기 투명 전극층 일부가 기판으로부터 분리되어, 상기 패턴을 형성하는 것인, 투명 전극층 패터닝 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 상의 투명 전극 직접 패터닝 방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 투명 전극층은 ITO로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 상의 투명 전극 직접 패터닝 방법
3 3
청구항 2에 있어서, 상기 ITO가 광흡수성을 나타내는 약 1064 nm에 대응하는 파장 및 약 6ns의 펄스 폭을 갖는 펄스 레이저를 상기 ITO에 조사하여 패터닝을 수행하는 것을 특징으로 하는 기판 상의 투명 전극 직접 패터닝 방법
4 4
청구항 3에 있어서, 상기 ITO의 두께는 약 150 nm이고, 이 경우 약 0
5 5
기판 상에 패터닝되어 형성된 투명 전극을 회수하는 방법으로서, (a) 상기 투명 전극의 광파장에 대한 투과율 스펙트럼을 구하는 단계와;(b) 상기 투과율 스펙트럼 중 광흡수성을 나타내는 파장 대역의 펄스 레이저를 조사하는 과정을 수행하여, 상기 투명 전극을 분리하기 위한 임계 에너지 밀도를 구하는 단계와;(c) 상기 임계 에너지 밀도보다 큰 에너지 밀도의 펄스 에너지를 상기 투명 전극에 대해 조사하여, 상기 펄스 레이저 조사로 인한 급속 열팽창에 의해 상기 투명 전극층에 열탄성력을 야기하고, 이 열탄성력에 의해 상기 투명 전극을 상기 기판으로부터 분리하여 회수하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 전극 회수 방법
6 6
청구항 5에 있어서, 상기 기판은 광투과성 기판이고, 상기 투명 전극 아래에 회수 용기를 배치한 후, 상기 투명 전극이 형성된 표면과 반대쪽의 기판 표면에 상기 펄스 레이저를 조사하여, 상기 기판으로부터 분리되는 투명 전극을 상기 회수 용기에 회수하는 것을 특징으로 하는 투명 전극 회수 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 연세대학교 산학협력단 중견연구자 지원사업 투명소자 제조 응용을 위한 용액기반 산화물 투명전극 물질의 개발